JP4473054B2 - 位置測定器の光源を調整するための方法及び装置 - Google Patents

位置測定器の光源を調整するための方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4473054B2
JP4473054B2 JP2004186662A JP2004186662A JP4473054B2 JP 4473054 B2 JP4473054 B2 JP 4473054B2 JP 2004186662 A JP2004186662 A JP 2004186662A JP 2004186662 A JP2004186662 A JP 2004186662A JP 4473054 B2 JP4473054 B2 JP 4473054B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reference value
light source
dependent
light
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004186662A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005070032A (ja
JP2005070032A5 (ja
Inventor
エルマール・マイヤー
ヨハン・オーバーハウザー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JP2005070032A publication Critical patent/JP2005070032A/ja
Publication of JP2005070032A5 publication Critical patent/JP2005070032A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4473054B2 publication Critical patent/JP4473054B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

本発明は、請求項1の上位概念による位置測定器内の光源を調整するための装置及び請求項6による相応の方法に関する。
位置測定器にあっては、しばしば光源が使用され、この光源の光は、位置に依存して、例えばスケール又はインデックスディスクの形の相応の測定基準器によって変調される。変調された光は、通常、光検出器によって電気的な光電流へと変換され、従って、光源と測定基準器との間の相対的な位置は、位置に依存したこれらの光電流から算定することができる。
このような位置測定器の場合、光強度が時間と共に変化することが、例えば光強度が、運転時間の経過中の光源の老化によって低下することが生じる。光検出器によって感知される光強度が変化するために、しばしば測定品質を改善するために光源の調整が行なわれる。
特許文献1には、このような光源の調整をするための方法及び相応の装置が記載されている。この目的のため、そこでは、調整回路内で光強度の実測値として位置に依存した光電流の和が形成される。更に、この実測値は、固定して設定された不変の基準値と比較され、これにより、光源を調整するための調整差を算定する。このような調整装置は、汚れがある場合、特に測定基準器の汚れが大面積である場合、位置測定が何ら可能でないか、不正確又は不安定な位置測定しか可能でないという欠点を有する。
英国特許第2054135号明細書
従って、本発明の基本にある課題は、確実で、頑丈な、特に汚れに対して敏感でない高い精度を有する位置測定が可能である装置及び方法を提供することである。
この課題は、本発明によれば、請求項1もしくは請求項6の特徴によって解決される。
本発明によれば、光源を調整するために重要な基準値が、位置に依存した光電流に基づいて発生させられ、その際、位置に依存した光電流は、変調された光源の光を光検出器によって変換することによって生じる。光源の調整をするための調整差を設定するために更に必要な実測値は位置に依存しない光電流に基づいて形成される。
光検出器及び基準値を発生させるための手段が、1つの同じASICに収容されていると有利である。
本発明の優れた形成にあっては、基準値を発生させるために、先ず、アナログ−デジタルコンバータで、位置に依存した光電流に基づく電気信号がデジタル化される。その後、これらのデジタルの値は次の処理を受ける。
本発明の有利な形成は、従属請求項から分かる。
位置測定器の光源を調整するための本発明による方法及び相応の装置の更なる詳細及び利点を、添付図を基にした実施例の後続の説明から明らかにする。
実施例の説明において、明瞭であるために同じ作用をする部品は、同じ符号を備えている。
図1に、概略的に、本発明を説明するために役立つ、調整装置を有する位置測定器の構造が示されている。この場合、このではLED1として形成されている光源が図示されている。LED1の向かい側に、透明なスケール2の形の測定基準器が存在し、このスケール上に、光透過性の目盛り線が取り付けられている。更に、位置測定器は4つの光検出器3を備え、その際、スケール2は、光検出器3とLED1の間に存在する。光検出器3は、示された例では、半導体要素、特にASICに統合されている。
このでは、比較的簡単な光学要素の形成が説明される。発明は、当然、本質的に複雑な光学装置を有する位置測定器にも適用できる
スケール2は、図1及び2における2重矢印の方向にLED1に対して相対的に摺動可能であり、その際、位置測定器によってスケール2とLED1の間の相対位置が測定される。この目的のため、LED1から放出された光は、スケール2によって位置に依存して変調され、光検出器3において位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°へと変換される。この方法で発生させられた位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°は、理想的にサイン波形の経過を備え、それぞれ90°の位相ズレを有する。その後、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°は、図1及び2には図示されてない評価用電子機器において次の処理を受け、従って、この評価用電子機器から最終的に設定すべき位置データが発生させられる。本発明は、正確に4つの光検出器3が使用されるか、もしくは4つの光電流I0°,I90°,I180°,I270°が評価される装置に限定されていない。ここでは、例えば2つ又は3つの光検出器も、その際相応に2つ又は3つの位置に依存した光電流も評価のために考慮することができる。
全ての位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°の和から形成される平均の光電流は、理想的な場合には一定である。しかしながら例えばLED1の強度が低下した場合、平均の光電流も低下する。しかしながら、特に、例えば液膜によってスケール2が汚れている場合、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°の平均値が、理想的な場合に対してほとんど変化しないままであり、しかしながら、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°の変調度が著しく低下していることがあり得る。即ち、理想的な場合にはほとんど光が入射しない、即ち暗くなくてはならない領域は、例えば散乱効果のために今やより明るいのである。これに対し、それ自身明るい領域は、汚れによってより暗くなる。即ち、平均の光電流からの位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°の極値の逸脱は、より少なくなるか、もしくは変調度は低下させられる。低下させられた変調度は、より悪いもしくはより少ない測定信号振幅へと通じる。まさに変調度の低下へと通じる汚れと関係して、従来の位置測定器は著しい欠点を備える。
図1に示されたでは和発生器4でもってアナログの方法によって位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°に基づいて和電圧が形成され、この和電圧は、同時に実測値Uとして、LED1の強度を調整するための調整回路において使用される。その際、この実測値Uは、差増幅器6の形で形成されているコンパレータに供給され、そこでLED1の調整のための実測値として使用される。
LED1の強度を調整するために必要な基準値Uは、基準値Uを発生させるための手段によって、示されたこの例では回路5によって設定される。物理的に、基準値Uは、電圧と見ることができる。示されたこの例では、その他に回路5が同じASIC上に存在し、このASIC上には、光検出器3も配設されている。
回路5及びその要素の機能方法を以下で説明する。先ず、位置測定器を接続した後、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°は、電流−電圧コンバータ5.1において光電圧U0°,U90°,U180°,U270°に変換される。従って、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°に基づく光電圧U0°,U90°,U180°,U270°の形のこれらの電気信号は、次に、アナログ−デジタルコンバータ5.2においてデジタル化され、即ちデジタルの値に変換される。光電圧U0°,U90°,U180°,U270°に相当するこれらのデジタルの値から、第1の差A=U0°−U180°と第2の差B=U90°−U270°が形成される。これらの差A及びBは、計算モジュール5.3において2乗され、相応の2乗の和が設定される。その後、2乗の和から平方根が算定され、従って、この変換の結果として、位置測定器の作動中に実際に存在する指針長さS(S=√(A+B)が設定される。
次のステップでは、メモリ要素から、ここではEPROM5.4であるが、既に記憶されている基準指針長さSLの値が読み出される。示された実施例では、基準指針長さSLが、既に位置測定器のシステム構成において、即ち本来の測定開始の前に、継続的に記憶される。その際、基準指針長さSLの値は、位置測定器の全寿命にわたってもはや変更されない。
従って、基準指針長さSLの所定の値は、実際に存在する指針長さSから差形成器5.5において減算され、従って、差Δ=S−SLが計算される。
その後、コンパレータ5.6において、差Δが所定の限界内に位置するか、しないかが点検される。即ち、Δが予め設定された下限Lよりも大きいか、またΔが予め設定された上限Lよりも小さいかが確かめられる。一般に、ここでは、第1の反復ステップにおいて、許容できないほど大きいが存在し、従って、基準値Y(第1の反復ステップでは、ここではディフォルト値が設定されている)に対して、値Δが限界LもしくはLの上又は下に位置するかに応じて、値Yiが加算又は減算される。次に、新しい基準値Y’=Y±Yiは、基準値メモリ5.7内に登録される。この新しい基準値Y’は、次にデジタル−アナログコンバータ5.8においてアナログの基準値U(電圧)に変換され、この基準値は、上で述べたように、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°に基づく。
実際に存在する指針長さSを設定するためのこの方法に対して選択的に、例えば、指針長さSが位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°の和に基づいて算定されるいわゆる和電流方法を使用することもできる。
アナログの基準値Uは、その後、差増幅器6に供給され、そこで基準値は、実測値Uと比較され、従って、LED1の強度を調整するための調整差が発生させられる。物理的に見て同様に電圧である調整差は、調整成分、示された実施例では、トランジスタ7、特にトランジスタ7のベースに印加される。この調整差に応じて、電流の高さもしくは振幅が生じ、この電流は、LED1へと供給される。LED1から放出される光の強度は、公知のように、LED1に供給された電流の高さの関数である。
このようにして行なわれる光強度の変化に応じて、位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°の振幅も変化する。その際、これは、更にまた実際に存在する指針長さSの値の変化に通じる。
コンパレータ5.6によって1つ又は複数の反復ステップを通過した後、差形成器5.5において実際に存在する指針長さSと基準指針長さSLの所定の値の差Δが、所定の限界内に位置することが確定されるやいなや、相応の基準値Yが基準値メモリ5.7内に一定の時間にわたって記憶される。示されたこの例では、基準値Yが、位置測定器の次の接続に至るまで変化しないままになる。即ち、この時点から次の位置測定器の接続工程に至るまで破線で図示された回路要素は、もはやアクティブではない。即ち、この実施例では、それぞれ位置測定器の接続により基準値Uが点検され、場合によっては複数の反復ステップにより相応の値Yが記憶され、従って、基準値Uは、次の接続工程に至るまでLED1の強度を調整するための調整回路において変化しないままである。
しかしながらまた、本発明の変形例にあっては、基準値Yが、永続的に位置測定器の運転の間点検することもできる。この場合、支点に依存した基準値Yの算定は、所定の時間間隔で、例えばトータル68μsで行なうことができるか、しかしながらまた位置に依存して行なうこともでき、例えば基準値Yは、トータル100信号周期を設定することができる。
しかしながらまた、調整は、コンパレータ5.6が、運転の間、非常に大きな差Δを実際に存在する指針長さSと基準指針長さSLの所定の値の間で確定する場合、運転の間、単にアラームだけが作動させるようにシステム構成することもできる。アラームの場合、その際、位置測定器は、新しくスタートさせることができ、従って、変更された基準値Yの新たな確定もしくは記憶が、基準値メモリ5.7においてスタートプロシージャによって行なわれる。
図2に、本発明の実施例が示されている。この場合、光検出器3;8は、光検出器の部分数によってスケール2により変調された光が位置に依存した光電流I0°,I90°,I180°,I270°へと変換されるように配設されている。即ち、基準値Uの算定は、光検出器、即ち光検出器3の部分数の光電流I0°,I90°,I180°,I270°だけに基づく。更に、この実施例では、基準値Uが、図1の例と同じ回路5で算定される。
図1の例に対する本質的な相違点は、この実施例では、変調されないLED1の光が、光検出器8によって光電流に変換され、その際、この光電流が実測値Uのための基礎である点にある。即ち、LED1の強度を調整するために、実測値Uが使用され、この実測値が最終的に光検出器8によって発生させられ、この光検出器が、LED1から放出された光を感知し、この光が、スケール2によって位置に依存して変調されないのである。
次に、実測値Uは、図1の例でもそうであったように、差増幅器6に供給され、そこで実測値Uと基準値Uの比較が実施され、従って、LED1の強度を調整するための調整差が算定される。この場合、ここでも調整差は、電圧の形でトランジスタ7のベースに印加され、従って、LED1は、最終的にその高さが調整差に依存する電流を供給される。
この実施例では、実測値Uを算定するために複数の光電流による和形成何ら行なう必要はなく、ここでは、直接一定の光の割合が光検出器8によって設定される。
示されたこれらの実施例では、基準値Uが、それぞれデジタルの方法によって設定される。しかしながらまた、本発明は、基準値Uがアナログ回路によって算定される装置及び方法も含む。
調整装置を有する位置測定器の例の概略図を示す。 本発明による調整装置を有する位置測定器の実施例の概略図を示す。
1 LED
2 スケール
3 光検出器
4 差発生器
5 回路
5.1 電流−電圧コンバータ
5.2 アナログ−デジタルコンバータ
5.3 計算モジュール
5.4 EPROM
5.5 差形成器
5.6 コンパレータ
5.7 基準値メモリ
5.8 デジタル−アナログコンバータ
6 差増幅器
7 トタンジスタ
Δ 差
A 第1の差
B 第2の差
下限
上限
S 指針長さ
SL 基準指針長さ
実測値
基準値
Y 基準値
Y’ 新しい基準値
Yi 値
0°,I90°,I180°,I270° 位置に依存した光電流
0°,U90°,U180°,U270° 光電圧

Claims (11)

  1. 光源(1)に対して相対的に摺動可能なスケール(2)を有し、
    複数の光検出器(3;8)を有し、この光検出器によって、光源(1)から放出された光が、光電流(I0°,I90°,I180°,I270°;I)へと変換可能であり、光検出器少なくとも1つ(8)の光電流( )が、実測値( )を形成するための基礎として使用可能であり光検出器(3)の部分数によってスケール(2)により変調された光が位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)へと変換可能であるように光検出器(3)が配設されており、
    基準値(U)を発生させるための手段(5)を有し、そして、
    コンパレータ(6)を有し、このコンパレータによって、光源(1)の強度を調整するための調整差を発生させるために、実測値( )と基準値(U)の比較が実施可能である
    位置測定器の光源(1)を調整するための装置において、
    手段(5)によって、位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)に基づい基準値(U発生可能であり、実測値(U )が、光源(1)から放出された、スケール(2)によって位置に依存して変調されない光を感知する光検出器(8)によって発生可能であることを特徴とする装置。
  2. 基準値(U)を発生させるための手段(5)が、位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)に基づく信号の指針長さ(S)を形成するための計算モジュール(5.3)を備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 基準値(U)を発生させるための手段(5)が、位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)に基づく信号をデジタル化するためのアナログ−デジタルコンバータ(5.2)を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
  4. 基準値(U)を発生させるための手段(5)が、アナログの基準値(U)を準備するためのデジタル−アナログコンバータ(5.8)を備えることを特徴とする請求項3に記載の装置。
  5. 光検出器(3;8)及び基準値(U)を発生させるための手段(5)が、半導体要素に統合されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の装置。
  6. 放出された光の少なくとも一部が、光源(1)に対して相対的に摺動可能なスケール(2)によって変調され、これにより、変調された光によって光検出器(3)の部分数により位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)が発生させられる、光源(1)から放出される光を光検出器(3;8)によって光電流(I0°,I90°,I180°,I270°;I)へと変換するステップと、
    光電流少なくとも1つ(I に基づいて実測値( )を発生させるステップと、
    位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)に基づいて基準値(U)を発生させるステップと、そして、
    光源(1)の強度を調整するための調整差を発生させるために基準値(U)と実測値( )を比較するステップと、
    を有し、
    使用される実測値(U )が、光源(1)から放出された、スケール(2)によって位置に依存して変調されない光を感知する光検出器(8)によって発生される、
    位置測定器の光源(1)を調整するための方法。
  7. 実測値( )が、アナログの方法によって発生させられることを特徴とする請求項6に記載の方法。
  8. 基準値(U)を発生させるため、位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)に基づく電気信号がデジタル化されることを特徴とする請求項6又は7に記載の方法。
  9. 基準値(U)を発生させるため、位置に依存した光電流(I0°,I90°,I180°,I270°)に基づく電気信号の指針長さ(S)が形成されることを特徴とする請求項6〜のいずれか1つに記載の方法。
  10. 所定の値を有する指針長さ(S)が、基準指針長さ(SL)と比較され、指針長さ(S)と基準指針長さ(SL)の差(Δ)が所定の限界内に位置するまでの間、基準値(U)が変更されることを特徴とする請求項に記載の方法。
  11. デジタル化の後及びデジタル化された値の次処理の後、基準値(U)を準備するためにデジタル−アナログ変換が行なわれることを特徴とする請求項10のいずれか1つに記載の方法。
JP2004186662A 2003-08-27 2004-06-24 位置測定器の光源を調整するための方法及び装置 Expired - Fee Related JP4473054B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10339366A DE10339366A1 (de) 2003-08-27 2003-08-27 Verfahren und Vorrichtung zur Regelung einer Lichtquelle eines Positionsmessgerätes

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005070032A JP2005070032A (ja) 2005-03-17
JP2005070032A5 JP2005070032A5 (ja) 2007-04-05
JP4473054B2 true JP4473054B2 (ja) 2010-06-02

Family

ID=34089208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004186662A Expired - Fee Related JP4473054B2 (ja) 2003-08-27 2004-06-24 位置測定器の光源を調整するための方法及び装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7235776B2 (ja)
EP (1) EP1510790B1 (ja)
JP (1) JP4473054B2 (ja)
CN (1) CN100408978C (ja)
AT (1) ATE371169T1 (ja)
DE (2) DE10339366A1 (ja)
ES (1) ES2293118T3 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005291734A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Univ Nagoya 森林内光環境測定装置
DE102008008584A1 (de) 2008-02-12 2009-08-13 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Gleitlagerschale
US8772705B2 (en) * 2010-12-01 2014-07-08 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Interpolation circuitry for optical encoders
DE102012108815A1 (de) 2012-09-19 2014-03-20 Ic-Haus Gmbh Verfahren zur Einstellung des Arbeitspunkts einer Positionsmessvorrichtung und Schaltungsanordnung
CN103148779B (zh) * 2013-01-30 2016-01-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 位置测量设备中光源的调整装置
DE102013222383A1 (de) 2013-02-06 2014-08-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmesseinrichtung

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2730056A1 (de) * 1977-07-02 1979-01-18 Int Standard Electric Corp Regler fuer einen lichtsender
GB2054135B (en) 1979-07-19 1984-03-14 Burroughs Corp Photo-electric displacement transducer
US4593194A (en) * 1983-10-05 1986-06-03 Quantum Corporation Optical encoder with digital gain compensation controlling source intensity
US5015836A (en) * 1990-02-05 1991-05-14 Bei Electronics, Inc. Source intensity adjustment apparatus for optical channel
JPH05256665A (ja) 1992-03-13 1993-10-05 Canon Inc エンコーダー
JP3312045B2 (ja) * 1992-09-25 2002-08-05 オリンパス光学工業株式会社 ファインダー光学系の接眼レンズ
JP3170902B2 (ja) * 1992-09-30 2001-05-28 キヤノン株式会社 信号処理方法及びそれを用いたエンコーダ
JPH0783612A (ja) 1993-09-17 1995-03-28 Canon Inc 光学式変位センサ
WO2000068646A1 (fr) * 1999-05-10 2000-11-16 Citizen Watch Co., Ltd. Dispositif de mesure de dimensions
US6344641B1 (en) * 1999-08-11 2002-02-05 Agilent Technologies, Inc. System and method for on-chip calibration of illumination sources for an integrated circuit display
JP2001311630A (ja) 2000-02-22 2001-11-09 Mitsutoyo Corp 光学式エンコーダ
US6380352B1 (en) * 2000-08-29 2002-04-30 Eastman Chemical Company Polyester precursor purification process
US20030234351A1 (en) * 2002-06-25 2003-12-25 Chong-Hin Chee Brightness independent optical position sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US20050052641A1 (en) 2005-03-10
DE502004004708D1 (de) 2007-10-04
EP1510790B1 (de) 2007-08-22
JP2005070032A (ja) 2005-03-17
US7235776B2 (en) 2007-06-26
ES2293118T3 (es) 2008-03-16
CN100408978C (zh) 2008-08-06
EP1510790A1 (de) 2005-03-02
CN1590968A (zh) 2005-03-09
ATE371169T1 (de) 2007-09-15
DE10339366A1 (de) 2005-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5777899A (en) Horizontal position error correction mechanism for electronic level
US8325066B2 (en) Photoelectric encoder
US8618467B2 (en) Absolute encoder that detects an absolute position of an object
JP3404605B2 (ja) 電界センサ
CN105182000B (zh) 光学mems加速度计中三光路信号补偿系统及其方法
JPH0213735B2 (ja)
JP4473054B2 (ja) 位置測定器の光源を調整するための方法及び装置
JP6533360B2 (ja) 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置及び撮影装置
JPH01202614A (ja) アクティブ測距装置
US6211505B1 (en) Method and apparatus for checking shape
ATE398277T1 (de) Kontrollvorrichtung einer positionsmesseinrichtung
JP2005070032A5 (ja)
CN204832242U (zh) 一种光学mems加速度计中三光路信号补偿系统
WO1999005471A1 (fr) Instrument de mesure des longueurs
JP3270176B2 (ja) 三角測距式光電センサ
JP2003294489A (ja) 計測器及び当該計測器の基準値調整方法
SU1053124A1 (ru) Устройство дл измерени параметров кодовых дисков
JPH0572145A (ja) 異物検査装置
JPS58118909A (ja) 光電型エンコ−ダ
WO2006025134A1 (ja) ジッタ測定機能付き半導体集積回路
JP3127010B2 (ja) 測距装置
KR960029770A (ko) 다수의 수광부를 이용한 광 검출기
Navikas et al. Optoelectronic eye tracking system
JPH0575461A (ja) 信号処理装置
JPH06265319A (ja) 外形測定装置及びその被測定物配置方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070215

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090818

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091110

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100202

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100304

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4473054

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees