JPH04194670A - 静電電圧測定機 - Google Patents
静電電圧測定機Info
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- JPH04194670A JPH04194670A JP32775290A JP32775290A JPH04194670A JP H04194670 A JPH04194670 A JP H04194670A JP 32775290 A JP32775290 A JP 32775290A JP 32775290 A JP32775290 A JP 32775290A JP H04194670 A JPH04194670 A JP H04194670A
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- JP
- Japan
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- electrostatic
- distance
- measured
- voltage
- electrostatic voltage
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は静電電圧測定機に関する。
静電電圧の測定電圧は、被測定物と測定機との距離に依
存する。
存する。
そこで、従来の静電電圧測定機は測定時の被測定物と測
定機との適正な距離を予め定めて靜を電圧を測定してい
た。
定機との適正な距離を予め定めて靜を電圧を測定してい
た。
上述した従来の静電電圧測定機は、測定機に固有の測定
距離があり、その予め定められた距離環境で測定した場
合は、正確な静電電圧値が測定できるが、実際には予め
定められた測定距離を一定に保つのは非常に困難なため
測定される静電電圧の測定誤差が大きくなるという欠点
がある。
距離があり、その予め定められた距離環境で測定した場
合は、正確な静電電圧値が測定できるが、実際には予め
定められた測定距離を一定に保つのは非常に困難なため
測定される静電電圧の測定誤差が大きくなるという欠点
がある。
また、静電電圧測定機の固定が可能な場合でも、予め定
められた距離に固定する必要性があるため、固定する位
置周辺の装置等の障害のため、所望の位置に設置するの
が困難である場合がある等の欠点がある。
められた距離に固定する必要性があるため、固定する位
置周辺の装置等の障害のため、所望の位置に設置するの
が困難である場合がある等の欠点がある。
本発明の静電電圧測定機は、被測定物と測定機間の距離
を測定する赤外線装置と、前記赤外線装置で測定した距
離から測定した静電電圧を補正する補正回路とを有して
いる。
を測定する赤外線装置と、前記赤外線装置で測定した距
離から測定した静電電圧を補正する補正回路とを有して
いる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例を示すブロック図である
。
。
第1図におt)て、本第1の実施例の静電電圧測定機は
、被測定物間の距離を測定する赤外線装置1と、測定し
た静電電圧と赤外線装置1で測定した距離から正確な電
圧に補正する補正回路2と、静電電圧を測定する静電誘
導型静電電圧計3と、補正された静電電圧値を表示する
表示部4とを有して構成している。
、被測定物間の距離を測定する赤外線装置1と、測定し
た静電電圧と赤外線装置1で測定した距離から正確な電
圧に補正する補正回路2と、静電電圧を測定する静電誘
導型静電電圧計3と、補正された静電電圧値を表示する
表示部4とを有して構成している。
次に、本実施例の動作について説明する。
赤外線装置1は赤外線ビームを被測定物(図示省略)に
照射しその反射から被測定物間の距離を測定する。
照射しその反射から被測定物間の距離を測定する。
静電誘導型静電電圧計3は接続されているプローブ(図
示省略)の誘導電位がプローブの周辺電場に比例し、周
辺電位が帯電体の表面電位に比例することを利用し、そ
の帯電体の電位、即ち静電電圧を測定する。
示省略)の誘導電位がプローブの周辺電場に比例し、周
辺電位が帯電体の表面電位に比例することを利用し、そ
の帯電体の電位、即ち静電電圧を測定する。
補正回路2は静電誘導型静電電圧計2からの電圧値を赤
外線装置1からの距離の値によって補正計算を行い、表
示部4にその値を表示する。
外線装置1からの距離の値によって補正計算を行い、表
示部4にその値を表示する。
第2図は本発明の第2の実施例を示すブロック図である
。
。
第2図において、本第2の実施例の静電電圧測定機は被
測定物間の距離を測定する赤外線装置5と、測定した静
電電圧と赤外線装置5で測定した距離から正確な電圧に
補正する補正回路6と、静電電圧を測定する音響型静電
電圧計7と、補正された靜を電圧値を表示する表示部8
とを有して構成している。
測定物間の距離を測定する赤外線装置5と、測定した静
電電圧と赤外線装置5で測定した距離から正確な電圧に
補正する補正回路6と、静電電圧を測定する音響型静電
電圧計7と、補正された靜を電圧値を表示する表示部8
とを有して構成している。
交第2の実施例が第1図に示す第1の実施例と異なる点
は静電電圧の測定に音響型静電電圧計7を使用している
点である。
は静電電圧の測定に音響型静電電圧計7を使用している
点である。
音響型静電電圧計7は接続するプローブ(図示省略)の
周辺電場の帯電体の電位が音響振動子から出力する電圧
に比例することを利用して靜tt圧を測定することを除
いて、本第2の実施例の動作は第1の実施例の動作と同
じである。
周辺電場の帯電体の電位が音響振動子から出力する電圧
に比例することを利用して靜tt圧を測定することを除
いて、本第2の実施例の動作は第1の実施例の動作と同
じである。
特に、本第2の実施例ではプローブが微小であるので、
狭くなった場所でも測定できる特徴がある。
狭くなった場所でも測定できる特徴がある。
以上説明したように本発明は、赤外線装置による距離の
測定機能とその距離によって読み取った電圧値の補正機
能を有することにより、測定機の設置場所に依存するこ
となく、正確な静電電圧を測定することができる効果が
ある。
測定機能とその距離によって読み取った電圧値の補正機
能を有することにより、測定機の設置場所に依存するこ
となく、正確な静電電圧を測定することができる効果が
ある。
第1図、第2図はそれぞれ本発明の第1.第2の実施例
を示すブロック図である。 1・・・赤外線装置、2・・・補正回路、3・・・静電
誘電型静電電圧計、4・・・表示部、5・・・赤外線装
置、6・・・補正回路、7・・・音響靜it圧計、8・
・・表示部。
を示すブロック図である。 1・・・赤外線装置、2・・・補正回路、3・・・静電
誘電型静電電圧計、4・・・表示部、5・・・赤外線装
置、6・・・補正回路、7・・・音響靜it圧計、8・
・・表示部。
Claims (1)
- 被測定物と測定機間の距離を測定する赤外線装置と、前
記赤外線装置で測定した距離から測定した静電電圧を補
正する補正回路とを有することを特徴とする静電電圧測
定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32775290A JPH04194670A (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 静電電圧測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32775290A JPH04194670A (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 静電電圧測定機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04194670A true JPH04194670A (ja) | 1992-07-14 |
Family
ID=18202592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32775290A Pending JPH04194670A (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 静電電圧測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04194670A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000230954A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Canon Inc | 電磁界測定装置および電磁界分布測定方法 |
JP2008057985A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 距離補正付き静電気測定器 |
WO2019139188A1 (ko) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | (주) 동일기연 | 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서 및 그 운용방법 |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP32775290A patent/JPH04194670A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000230954A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Canon Inc | 電磁界測定装置および電磁界分布測定方法 |
JP2008057985A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 距離補正付き静電気測定器 |
WO2019139188A1 (ko) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | (주) 동일기연 | 변위센서 복합형 정전기 측정 전위센서 및 그 운용방법 |
CN111566489A (zh) * | 2018-01-11 | 2020-08-21 | (株)东日技研 | 位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法 |
US11378607B2 (en) | 2018-01-11 | 2022-07-05 | Dong Il Technology Ltd. | Displacement sensor-combined electrostatic measurement potential sensor and operation method therefor |
CN111566489B (zh) * | 2018-01-11 | 2022-10-11 | (株)东日技研 | 位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法 |
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