JP2511637Y2 - 光学式測定機器 - Google Patents

光学式測定機器

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JP2511637Y2
JP2511637Y2 JP1989056229U JP5622989U JP2511637Y2 JP 2511637 Y2 JP2511637 Y2 JP 2511637Y2 JP 1989056229 U JP1989056229 U JP 1989056229U JP 5622989 U JP5622989 U JP 5622989U JP 2511637 Y2 JP2511637 Y2 JP 2511637Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この考案は光学式測定機器に関し、特に拡大視された
被測定物の像の端部を検出し、その検出結果をケーブル
によって光学式測定機本体の外部の演算表示部におくっ
て前記端部の位置を演算表示する場合に、その演算処理
の結果がケーブルの振動に影響を受けることのない光学
式測定機器に関する。
[従来の技術] 従来、光学式測定機器の一つである投影機1aはその構
成を第3図に示すように、スクリーン7aからの光を検出
器13aが受けて電流型の検出信号に光電変換し、その電
流型の検出信号をケーブル15aを介して演算表示部3aに
送っていた。又、上記の検出信号を増幅するための増幅
回路14aは、演算表示部3aに組込まれていた。
[考案が解決しようとする課題] 投影機1aでは、ケーブル15aに測定者の身体が触れた
り載置台が移動すること等によって、ケーブル15aに振
動や屈曲が生じたり衝撃が加わると、ケーブル15a内に
おいて芯線(導体)と被覆(絶縁体)との間で摩擦が生
じて静電気電流が発生する。この発生した静電気電流は
検出信号に対して雑音となり得、従って検出信号は雑音
を伴ったまま演算回路16aで演算処理され、結果的に被
測定物の像の端部の正しい位置が得られない場合が生じ
るという問題がある。
又、この問題が生じにくいようにするためには、ケー
ブル15aの長さをできるだけ短くして振動、屈曲、衝撃
の発生を極力押える方法が考えられる。しかし、この方
法では、ケーブル15aの長さに制限が加えられるという
他の問題が生じる。
この考案は上記の事情に鑑みてなされたものであり、
検出部と演算表示部を接続するケーブルに振動や屈曲が
生じたり衝撃が加わっても、被測定物の像の端部の位置
を正しく検出することができ、しかもケーブルの長さに
制限が加わらない光学式測定機器を提供するものであ
る。
[課題を解決するための手段] この考案は、検出部が被測定物の像の端部を光電変換
によって検出し、且つその検出した旨を伝える検出信号
を増幅し、加えてその増幅した信号の出力インピーダン
スを例えば1Ω以下といった低いものにさせた後にケー
ブルを介して演算表示部に送るように構成される光学式
測定機器である。
その詳細な構成は、被測定物を拡大視させ得る拡大視
手段と、その拡大視手段によって拡大視される被測定物
の像の受像側において被測定物の像の端部を検出する検
出部と、その検出部からの検出信号に基づき被測定物の
端部の位置を演算して表示する演算表示部と、検出部か
らの検出信号を演算表示部に送るケーブルとを備え、前
記検出部で得られる検出信号を検出部において増幅し、
且つ低インピーダンス化した信号に変換し、その後にケ
ーブルを介して演算表示部に送ることを特徴とする光学
式測定機器である。
[作用] 検出器の光電変換作用によって検出された被測定物の
像の端部を示す検出信号が増幅され、且つそのインピー
ダンスが低いものに変換されると、ケーブル内の検出信
号のレベルはケーブル内で発生する雑音のレベルに対し
てより大きく、且つケーブル内の検出信号はより安定し
たものになる。
[実施例] この考案を、第1〜2図に示す実施例に基づき詳述す
る。しかし、この実施例によってこの考案が限定される
ものではない。
光学式測定機器である投影機1は第1図に示すよう
に、投影機本体2と演算表示部3とがセパレート状態に
なって構成されている。
投影機本体2には、被測定物4を載置するための載置
台5と、投影レンズ6を含み、載置台5に載置された被
測定物4を拡大視する拡大視手段(図示省略)と、その
拡大視手段によって拡大視された被測定物4の像を映出
するためのスクリーン7が備えられている。
載置台5には、被測定物4を載置支持するステージ8
と、ステージ8を投影機本体2に対して水平面上で直交
するX方向及びY方向に移動させ得、その移動の量をコ
ード化させ得るエンコーダ9及び10が備えられている。
スクリーン7の隣接部分には、スクリーン7に映出さ
れる被測定物4の拡大像の端部を検出するための検出部
11が配設されている。12は、検出部11をスクリーン7に
略接触状態で保持するための取付け板である。
検出部11は、受光素子からなる検出器13と、検出器13
からの検出信号を増幅し、且つインピーダンスの低いも
のにするための増幅回路14が備えられている(第2図を
参照)。
検出部11の増幅回路14と演算表示部3は、ケーブル15
によって接続されている。
演算表示部3は、検出信号を所定の演算処理する演算
回路16と、演算回路16からの結果を示すデジタル表示部
17が設けられている。又、演算表示部3の前面は、操作
パネル18となっている。
投影機1は、上述したように構成されている。ここ
で、投影機1を作動させて被測定物4の形状を測定す
る。検出部11がスクリーン7に映出された被測定物4の
像の端部と対向すると、検出器13はこの状態を検出し光
電変換による検出信号を増幅回路14に出力する。増幅回
路14では、検出器13からの検出信号を電流型から電圧型
に変換し、且つ増幅することにより、増幅回路14からの
出力インピーダンスの低い信号(1Ω以下)に変換した
後に、ケーブル15を介して演算表示部3に送る。演算表
示部3では、ケーブル15を通って来た検出信号を所定通
りに演算処理し、得られた結果をデジタル表示部17に表
示する。尚、第2図に、投影機1の作動を説明する構成
説明図を示す。
この測定の際に、ケーブル15に振動や屈曲が生じたり
或いは衝撃が与えられると、ケーブル15の芯線(図示省
略)と被覆(図示省略)との間で摩擦が生じて、ケーブ
ル15内で静電気電流が発生する。この発生した静電気電
流は、検出信号が流れている芯線に流れ込む。しかし、
ケーブル15内を通っている検出信号は増幅され、低イン
ピーダンスの信号に変換されていて、前記静電気電流に
よる雑音のレベルに対して極めて大きく、且つ安定した
信号になっている。従って、演算回路16はケーブル15か
らの検出信号を実質的に雑音の含まない状態で入力し、
所定通りに演算処理をおこなう。よって、その演算処理
によって得られる結果には、雑音による影響は含まれな
い。測定者は、デジタル表示部17から信頼できる測定結
果を読取ることができる。又、測定結果がケーブル15の
振動、屈曲及び衝撃に影響されないから、振動、屈曲及
び衝撃が生じないように敢てケーブル15の長さを短くす
る必要がなく、ケーブル15は所望通りの長さを選ぶこと
ができる。
尚、増幅回路14の増幅率は、雑音の大きさを考慮して
適宜決めるのが望ましい。
投影機1では、エンコーダ9及び10との組合わせによ
って、被測定物の像の端部の位置を移動量としてデジタ
ル表示する構成になっている。この他に、単に被測定物
の像の端部の位置を検出するだけの位置合せメータを備
えた構成であってもよい。
上述して来た実施例では光学式測定機器として投影機
を挙げたが、他にこの考案の対象として顕微鏡が挙げら
れる。
[考案の効果] この考案は、被測定物の像の端部を検出して得られる
検出信号を増幅し、且つインピーダンスを低くさせてか
らケーブルを介して演算表示部に送る構成としたことに
より、ケーブルに振動、屈曲及び衝撃が生じてケーブル
内に静電気電流が発生しても信頼の確保された検出結果
が得られる光学式測定機器である。
又、ケーブルの長さが制約されないという効果が得ら
れている。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第2図はこ
の実施例の作動を示す構成説明図、第3図は従来例の第
2図相当図である。 1;投影機(光学式測定機器)、2;投影機本体、3;演算表
示部、4;被測定物、5;載置台、7;スクリーン、11;検出
部、13;検出器、14;増幅回路、15;ケーブル、16;演算回
路。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定物を拡大視させ得る拡大視手段と、
    その拡大視手段によって拡大視される被測定物の像の受
    像側において被測定物の像の端部を検出する検出部と、
    を備えた本体と、 前記本体の検出部からの検出信号に基づき被測定物の端
    部の位置を演算して表示する演算表示部と、 前記本体と演算表示部とを結び、検出部からの検出信号
    を演算表示部に送る可撓性ケーブルと、 を備え、 前記本体の検出部は、検出信号を増幅し且つ低インピー
    ダンス化した信号に変換する増幅回路を有したことを特
    徴とする光学式測定機器。
JP1989056229U 1989-05-16 1989-05-16 光学式測定機器 Expired - Lifetime JP2511637Y2 (ja)

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JP1989056229U JP2511637Y2 (ja) 1989-05-16 1989-05-16 光学式測定機器

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JP1989056229U JP2511637Y2 (ja) 1989-05-16 1989-05-16 光学式測定機器

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Publication Number Publication Date
JPH02146303U JPH02146303U (ja) 1990-12-12
JP2511637Y2 true JP2511637Y2 (ja) 1996-09-25

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0656286B2 (ja) * 1985-04-09 1994-07-27 松下電器産業株式会社 位置検出装置

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JPH02146303U (ja) 1990-12-12

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