KR200158121Y1 - 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로 - Google Patents
노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로 Download PDFInfo
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Abstract
본 고안은 반도체 제조 공정시 사용되는 노광기 간섭계의 레이저 출력을 측정하여 측정된 전압의 변화를 디스플레이(Display)화할 수 있도록 함으로써, 규정치 이하의 레이저 출력이 출력될 경우 적기에 레이저를 교체할 수 있도록 한 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로에 관한 것이다.
Description
본 고안은 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정시 사용되는 노광기 간섭계의 레이저 출력을 측정하여 측정된 전압의 변화를 디스플레이(Display)화할 수 있도록 함으로써, 규정치 이하의 레이저 출력이 출력될 경우 적기에 레이저를 교체할 수 있도록 한 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에 있어서, 포토 리소그라피(Photo lithography) 공정의 노광기(stepper)에서 스텝(step) 및 리피트(repeat) 방식에 의해 웨이퍼 전면의 노광을 위해서는 스테이지(stage)가 일정하게 정해진 좌표에 따라 움직인다. 이때, 스테이지 좌표 측정을 위해 간섭계 레이저(HE-NE Laser)를 사용하는데 레이저의 출력은 스테이지의 정밀도에 상당한 영향을 미치게 된다.
이러한 레이저 출력을 기존에는 검출 수단의 전압 모니터링 단자에서 디지털 볼트 미러(DVM)로 전압을 체크하여 그에 상응된 조치를 취함으로써, 체크하기가 불편하였고, 적기에 레이저를 교체해 주지 못함으로써, 스테이지의 신뢰도가 저하되는 단점이 있다.
따라서, 본 고안은 검출 수단의 전압 변화를 쉽게 모니터링하여 디스플레이화 할 수 있는 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안은 레이저 빔을 입력으로 하여 전기적인 신호로 변환시키는 검출 수단과, 상기 검출 수단에 의해 변환된 전기적인 신호를 모니터링하기 위한 표시 수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
제1도는 본 고안에 따른 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로의 블럭도.
제2도는 제1도의 디스플레이(Display) 수단의 상세 회로도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 검출 수단부 2 : 디스플레이 수단부
11 : 검출 수단 12 : 입력 앰프
13 : 고 이득 앰프 14 : 증폭 레벨 쉬프트 수단
15 : 라인 드라이버 16 : 인터페이스 인쇄 회로 기판
17 : 피크 검출 수단 18 : 비교 수단
21 : 전압 디바이더 22 : 비교 수단
23 : 표시 수단
본 고안을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제1도는 본 고안에 따른 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로의 블럭도로서, 검출 수단(receiver)부(1)와 디스플레이 수단(2)부로 구성되게 된다.
상기 검출 수단부(1)는 레이저 빔을 입력으로 하여 전기적인 신호(펄스 및 전압)로 변환시키게 된다. 펄스화 된 신호는 인터페이스 인쇄 회로 기판(16)에서 기준 전압과 비교되어 좌표 측정용으로 사용된다. 한편, 전압으로 변환된 신호는 레이저 출력 측정용으로 사용된다. 이때, 전압은 레이저 출력에 따라 변동되게 된다.
상기 디스플레이 수단부(2)는 상기 검출 수단부(1)로 부터 출력되는 레이저 출력 전압을 표시 수단을 통해 모니터링하게 된다.
상기 검출 수단부(1)를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
레이저 출력 신호는 검출 수단(11)에 의해 검출되어 펄스 또는 전압으로 변환된다. 상기 검출 수단(11)에 의해 변환된 전압은 입력 앰프(12)로 입력되어 증폭된 후 고 이득 앰프(13)를 통해 고전압으로 변환되다. 상기 고 이득 앰프(13)를 통해 변환된 고전압은 증폭 레벨 쉬프트 수단(14)으로 입력되어 라인 드라이버(15) 및 피크 검출 수단(17)으로 각각 입력되게 된다. 상기 라인 드라이버(15)의 출력 신호는 인터페이스 인쇄 회로 기판(16)에서 기준 펄스와 비교되어 좌표 측정용으로 사용된다. 또한, 피크 검출 수단(17)의 출력 신호는 비교 수단(18)을 통해 디스플레이 수단부(2)로 입력되어 전압 레벨에 해당되는 표시 수단을 점등하게 된다.
상기 디스플레이 수단부(2)를 제2도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
검출 수단부(1)로 부터 출력된 레이저 출력 전압은 전압 디바이더(21)로 입력되어 다수의 전압 레벨로 출력되게 된다. 상기 전압 디바이더(21)로 부터 출력된 다수의 전압 레벨은 비교 수단(22)을 통해 상기 검출 수단부(1)로 부터 출력된 레이저 출력 전압에 해당하는 표시 수단(23)을 선택적으로 점등시키게 된다.
상술한 바와 같이 본 고안에 의하면 반도체 제조 공정시 사용되는 노광기 간섭계의 레이저 출력을 측정하여 측정된 전압의 변화를 디스플레이화할 수 있도록 함으로써, 다음과 같은 탁월한 효과가 있다.
1. 레이저 출력 체크를 자동으로 수행함으로써, 보유 장비가 많을 경우 공수저람의 효과가 있다.
2. 레이저의 불량을 쉽게 체크할 수 있어 적절한 시기에 교체가 가능하여 장비의 다운(down) 시간을 줄일 수 있으므로 인해 생산성을 향상시킬 수 있다.
3. 스테이지의 신뢰도 향상으로 웨이퍼의 패턴 중첩의 정밀도를 일정하게 유지할 수 있어 미스 얼라인먼트(mis aligment)를 방지할 수 있다.
Claims (3)
- 레이저 빔을 입력으로 하여 전기적인 신호로 변환시키는 검출 수단과, 상기 검출 수단에 의해 변환된 전기적인 신호를 모니터링 하기 위한 표시 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로.
- 제1항에 있어서, 상기 검출 수단은 레이저 출력 신호를 입력으로 하여 전기적인 신호로 변환하는 검출 수단과, 상기 검출 수단에 의해 변환된 전기적인 신호를 입력으로 하여 증폭하는 입력 앰프와, 상기 입력 앰프로부터 증폭된 신호를 입력으로 하여 고전압으로 변환하는 고 이득 앰프와, 상기 고 이득 앰프를 통해 변환된 고전압을 입력으로 하는 증폭 레벨 쉬프트 수단과, 상기 증폭 레벨 쉬프트 수단으로부터 출력되는 전압을, 입력으로 하는 라인 드라이버 및 피크 검출 수단과, 상기 라인 드라이버의 출력 펄스를 입력으로 하여 기준 펄스와 비교해 좌표 측정용 신호를 출력하도록 하는 인터페이스인쇄 회로 기판과, 상기 피크 검출 수단의 출력 전압을 입력으로 하여 상기 레이저 출력 신호에 해당하는 출력 전압을 출력하도록 하는 비교 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로.
- 제1항에 있어서, 상기 디스플레이 수단은 상기 검출 수단으로부터 출력된 레이저 출력 전압을 입력으로 하여 전압을 출력하도록 하는 전압 디바이더와, 상기 전압 디바이더의 출력 전압을 입력으로 하여 상기 검출 수단으로 부터 출력되는 레이저 출력 전압에 해당하는 전압을 출력하도록 하는 비교 수단과, 상기 비교 수단으로부터 출력되는 전압을 모니터링 하기 위한 표시 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 노광기 간섭계의 레이저 출력 측정 회로.
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| KR19980046886U (ko) | 1998-09-25 |
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