KR0155203B1

KR0155203B1 - 다수의 수광부를 이용한 광 검출기

Info

Publication number: KR0155203B1
Application number: KR1019950000548A
Authority: KR
Inventors: 김성욱
Original assignee: 이대원; 삼성항공산업주식회사
Priority date: 1995-01-13
Filing date: 1995-01-13
Publication date: 1998-12-01
Also published as: KR960029770A

Abstract

반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 장치에 있어서, 빛이 조사되는 스테이지 상에 장작되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 다수의 수광 센서로 이루어진 수광 수단과; 상기 수광 수단에서 출력되는 신호를 처리하여, 처리된 신호에 해당하는 디지탈 신호를 출력하는 신호 처리 수단과; 상기 신호 처리 수단에서 출력되는 수광 수단의 측정 신호에 따라 스테이지 상에 조사되는 광의 균일도를 산출하고, 상기 수광 수단이 장착된 스테이지를 이동시키기 위한 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 신호에 따라 상기 수광 수단이 장착된 스테이지를 설정된 경로에 따라 이동시키는 스테이지 구동 수단으로 이루어지는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기는, 다수의 수광부를 이용하여 조사되는 광량을 측정하므로써, 광의 균일성 산출의 정확성을 높이고 조사되는 노광면의 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있으며, 빛을 단속하는 블라인더의 정렬 상태를 보정할 수 있다.

Description

다수의 수광부를 이용한 광 검출기

제1도는 종래의 1개의 수광부를 이용한 광검출기의 실시도이고,

제2도는 종래의 1개의 수광부를 이용한 광균일도 검사 동작을 나타내는 사시도이고,

제3도는 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 노광 장치의 구조 사시도이고,

제4도는 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 광균일도 검사동작을 나타내는 사시도이고,

제5도는 이 발명의 실시예에 따른 블라인더부의 구조를 나타내는 사시도이고,

제6도는 이 발명의 실시예에 따른 블라인더면의 위치 정렬 동작을 나타내는 사시도이고,

제7도는 이 발명의 실시예에 따른 블라인더부 및 스테이지의 구조를 나타내는 사시도이고,

제8도는 이 발명의 실시예에 따른 레티클 스테이지의 구조를 나타내는 사시도이고,

제9도는 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 광검출기의 구성 블록도이고,

제10도는 이 발명의 실시예에 따른 제어부의 구성 블록도이다.

이 발명은 다수의 수광부를 이용한 광검출기에 관한 것으로 더욱 상세하게 말하자면, 반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 과정에 있어서, 요구되는 광의 균일성과 함께 빛의 정확한 단속을 수행하기 위한 다수의 수광부를 이용한 광검출기에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼위에 전자 회로를 생성하거나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 생성시키기 위해서는 전자 회로를 새긴 패턴이 필요한데, 상기와 같은 패턴이 새겨져 있는 유리 원판을 레티클(reticle)이라고 한다.

상기 레티클상에는 여러 가지의 패턴들이 새겨져 있는데 이들 패턴을 작업 순서에 따라 순차적으로 새겨주기 위해서는, 1개의 레티클상에 있는 여러 개의 패턴 중에서 순서에 해당하는 패턴을 제외한 나머지 패턴들은 인위적으로 가려줘야 한다.

상기와 같이 레티클상에 패턴을 새기는 작업 순서에 따라 해당하는 패턴을 투영되는 광으로부터 인위적으로 가져주는 장치를 블라인더(blinder) 장치라고 하며, 상기한 바와 같이 레티클상의 패턴을 반도체 웨이퍼위나 액정 표시장치 기판위에 새기는 장치를 노광 장치라고 한다.

일정한 광량의 빛을 이용하여 레티클위의 패턴을 상기 반도체 기판위나 액정 표시 장치 기판위에 새기는 노광 과정에서, 원하는 패턴을 대상면 전체에 정확하고 균일하게 조사하기 위해서는 레티클에 조사되는 광의 균일도를 검사해 주는 장치와, 조사되는 광이 노광하고자 하는 패턴만을 정확하게 가려서 노광되도록 해주는 블라인더의 초기 위치 정렬를 수행하는 장치가 각가 필요하게 된다.

종래에 상기한 레티클에 조사되는 광의 균일도를 검사하기 위하여 레티클스테이지의 광 균일도를 검사하는 광검출기를 레티클 스테이지에 장착하여 사용하였다.

종래의 광검출기는 첨부한 제1도에 도시되어 있듯이 레티클 스테이지 (1)의 빛에 의하여 노광되는 노광면(3)뒤에 하나의 수광부(2)를 장착하여, 조사되는 광의 균일도를 감지하였다.

그러나, 종래에는 하나의 수광부(2)로 레티클 스테이지 전반에 걸친 광균일도를 검사하기 위하여, 장착된 수광부(2)가 노광을 위한 광이 도달하는 노광면(3) 전체를 제2도에 도시되어 있는 바와 같이 스캔(scan)하여야 한다.

즉, 반도체 웨이퍼나 액정 표시 장치의 기판용 레티클이 놓여지게 되는 스테이지에 장착된 수광부(2)는 스테이지(1)의 구동을 통하여 광원으로부터 조사되는 빛이 도달하는 노광면(3) 전체를 검사하게 된다.

이 때, 스테이지(1)의 구동에 따른 수광부(2)의 위치는 #1→#2→…#N의 순서로 전체를 검사하면서, 각 지점의 광강도를 측정하고 그 결과를 도시하지 않은 제어 장치인 컴퓨터로 출력한다. 각 지점의 광강도 정보를 받은 컴퓨터는 이를 토대로 하여 전체 노광면의 광균일도를 산출하게 된다.

따라서, 상기에서 레티클 스테이지(1)에 장착된 수광부(2)가 첨부한 제2도에 도시되어 있는 경로에 따라 노광면(3) 전체를 스캔하여야 하므로, 스캔 경로에 따른 이동거리가 길어져 검출 시간이 증가하게 된다.

또한, 1개의 수광부를 이용하여 스테이지 전반에 걸치는 광을 검출하므로써, 검출 신호의 신뢰성이 낮아지게 되는 단점이 발생한다.

또한, 종래에는 조사되는 광이 노광하고자 하는 패턴만을 정확하게 노광시키기 위하여 그 외의 패턴을 정확하게 가려주는 블라인더 장치의 초기 위치정렬은, 노광 장비의 조립 단계에서 현미경 등을 이용하여 기구적인 정렬을 수행하였다.

상기와 같이 블라인더면의 초기 위치 정렬이 노광 장비 조립 단계에서 이루어지므로, 노광 장비의 사용 중에 발생되는 정렬의 어긋남이나 틀어짐을 미리 감지하지 못하여, 기계의 파손 및 불량률 증가를 야기하여 전체적으로 공정의 지연과 수율 저하를 초래하는 단점이 있다.

그러므로, 이 발명의 목적은 상기한 종래의 단점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 과정에 있어서, 다수의 수광부를 이용하여 요구되는 광의 균일성과 함께 빛의 정확한 단속을 수행하기 위한 다수의 수광부를 이용한 광검출기를 제공하고자 하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 이 발명의 구성은,

반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 장치에 있어서,

빛이 조사되는 스테이지 상에 장착되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 다수의 수광센서로 이루어진 수광 수단과;

상기 수광 수단에서 출력되는 신호를 처리하여, 처리된 신호에 해당하는 디지탈 신호를 출력하는 신호 처리 수단과;

상기 신호처리 수단에서 출력되는 수광 수단의 측정 신호에 따라 스테이지 상에 조사되는 광의 균일도를 산출하고, 상기 수광 수단이 장착된 스테이지를 이동시키기 위한 신호를 출력하는 제어 수단과;

상기 제어 수단에서 출력되는 신호에 따라 상기 수광 수단이 장착된 스테이지를 설정된 경로에 따라 이동시키는 스테이지 구동 수단으로 이루어진다.

상기 구성에 의한 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 설명하면 다음과 같다.

첨부된 제9도에 도시되어 있듯이 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한광검출기의 구성은, 레티클 스테이지 상에 장착되어 레티클 패턴위로 조사되는 광의 강도를 측정하여 해당하는 전류 신호를 출력하는 제1수광부(10)와, 제2수광부(15)와, 상기 수광부(10, 15)의 출력단에 연결되어 인가되는 전류신호를 처리하여 해당하는 전압 신호를 출력하는 신호 처리부(8)와, 상기 신호 처리부(8)의 출력단에 연결되어 인가되는 신호에 따라 조사되는 광의 균일도를 산출하고, 블라인더 면의 어긋남을 검출하여 그에 해당하는 에러 표시 신호를 출력하는 제어부(80)와, 상기 제어부(80)의 출력단에 인가되어 블라인더면이 어긋남을 사용자에게 표시하는 정보 표시부(90)와, 상기 제어부(80)의 출력단에 연결되어 수광부(10, 15)가 장착되어 있는 레티클 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동부(100)로 이루어진다.

상기 신호 처리부(8)는 상기 수광부(10, 15)에서 출력되는 전류 신호를 전압 신호로 변환하여 출력하는 전류/전압 변환부(20)와, 상기 전류/전압 변환부(20)의 출력단에 연결되어 인가되는 전압 신호를 증폭하여 출력하는 전압 증폭부(30)와, 상기 전압 증폭부(30)의 출력단에 연결되어 인가되는 증폭된 전압신호를 반전시켜 출력하는 반전 증폭부(40)와, 상기 전압 증폭부(30)와 반전 증폭부(40)의 출력단에 연결되어 인가되는 전압신호의 차등 전압을 증폭하여 출력하는 차등 증폭부(50)와, 상기 차등 증폭부(50)의 출력단에 연결되어 잡음을 제거하기 위한 필터링을 수행하는 저역 통과 필터부(60)와, 상기 저역 통과 필터부(60)의 출력단에 연결되어 인가되는 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하여 출력하는 A/D(Analog/Digital) 변환부(70)로 이루어진다.

첨부한 제10도에 도시되어 있듯이, 상기 제어부(80)의 구성은, 데이터 및 제어 신호를 전송하는 버스(84)와, 신호 처리부(8)로부터 인가되는 제1수광부 및 제2수광부 신호를 받아 들여 버스(84)상으로 출력하는 입력 포트(81)와, 상기 버스(84)상에 연결되어 입력 포트(81)를 통하여 입력된 신호에 따라 블라인더 장치의 경계면의 정렬 상태를 판단하고, 블라인더 장치의 정렬 상태를 표시하기 위한 다수 제어 신호를 버스(84)상으로 출력하는 CPU(이하 중앙 처리부로 명명함)(82)와, 상기 중앙 처리부U(82)의 동작에 필요한 클락 신호를 출력하는 발진부(85)와, 상기 중앙 처리부(82)의 기본 동작에 필요한 운용 프로그램이 저장되어 있는 ROM(86)과, 블라인더 장치의 정렬을 위한 데이터가 저장되어 있는 RAM(87)과, 상기 버스(84)상에 연결되어 인가되는 다수 제어 신호를 정보 표시부(90)로 출력하는 출력 포트(88)로 이루어집니다.

상기 구성에 의한 이 발명의 실시예에 따른 다수의 수광부를 이용한 광검출기의 작용은 다음과 같다.

빛을 이용하여 레티클의 패턴을 반도체 웨이퍼위에나 액정 표시 장치의 기판위에 새기는 노광 장치에 있어서, 조사되는 빛의 균일성과 노광시키고자 하는 패턴이외 부분에 대한 빛의 정확한 단속이 가장 중요한 요소로 작용된다.

따라서, 빛의 군일성 검사와 블라인더 면의 위치 정렬은 장비에 필히 포함되어야 하며, 상기한 기능의 필요성과 함께 빛의 균일성 검사와 블라인더 면의 위치 정렬에서 별도의 추가 시간이 소요되지 않아야 한다.

그러므로, 이 발명에서는 첨부한 제3도와 제4도에 도시되어 있는 바와 같이 광원으로부터 발광되어 블라인더면을 통과한 빛을 레티클 스테이지 상에 서로 65mm 이격되어 설치된 2개의 수광부가 수광하도록 한다.

이 발명의 실시예에 따른 블라인더 장치는 첨부한 제5도에 도시되어 있는 바와 같다. 블라인더는 선단이 경사 가공된 4개의 철편이 리니어 스텝 모터(LSM : Linear step Motor) 위에 부착되어 각각 2조씩 상하로 기계적으로 결합되어 있다.

따라서, 조립되는 구조상 4개의 리니어 스텝모터의 스테이터(stator) 부분이 한 플레이트 위에 고정되어 있으므로, 1개의 블라인더면 정렬만으로 2조의 블라인더면이 모두 정렬된다.

그러므로, 1개의 블라인더면의 검사 결과만으로도 4개의 블라인더면의 정렬 상태를 알 수가 있는 구조로 설계되어 있다.

첨부한 제6도에 도시되어 있듯이 도시하지 않은 광원으로부터 레티클의 패턴을 도시하지 않은 반도체 기판이나 액정 표시 장치의 기판위로 새기기 위한 빛이 조사가 되면, 블라인더(5)에 의하여 빛이 단속되어 레티클위로 조사된다.

다시 말하자면, 레티클의 상단에 위치하여 레티클상의 패턴 중 반도체 기판이나 액정 표시 장치의 기판위로 노광시키고자 하는 패턴에 해당하는 빛만 통과시키고, 그 외의 부분으로 조사되는 빛은 차단시키도록 노광 장치 초기의 조립 단계에서 위치가 정렬된 블라인더(5)에 의하여, 도시하지 않은 광원으로부터 조사된 빛은 도시된 노광면(4)으로만 조사가 된다.

일반적으로 광균일도를 검사하는 경우에 레티클 스테이지(1) 상에 레티클을 놓지 않고 조사되는 광의 균일도를 측정한다.

상기에서 도시하지 않은 광원으로부터 빛이 조사되면 레티클 스테이지(1) 상에 장착된 제1수광부(10)와 제2수광부(15)는 레티클 스테이지(1)의 구동에 따라 첨부한 제4도에 도시되어 있는 바와 같이 노광면(4)을 스캔하게 된다.

상기 제어부(80)의 중앙 처리부(82)가 빛이 조사됨에 따라, 도시하지 않은 광원 구동부에서 인가되는 신호(A)에 따라 스테이지 구동부(90)를 작동시키기 위한 작동 신호를 버스(84)상으로 출력하면, 출력 포트(88)는 상기 작동 신호를 스테이지 구동부(90)로 출력한다.

상기 스테이지 구동부(90)는 레티클이 놓여져 있는 레티클 스테이지(1)를 구동시켜, 레티클 스테이지(1)상에 장착된 제1수광부(10)와 제2수광부(15)가 조사되는 빛의 광량을 측정하도록 한다.

상기 제1수광부(10)와 제2수광부(15)는 수광 감지 센서로 이루어져, 상기 레티클 스테이지(1)의 구동에 따라 첨부한 제4도에 도시되어 있는 바와 같이 노광면(4)을 스캔한다.

상기에서 레티클 스테이지(1)의 구동에 따라 제1수광부(10)와 제2수광부(15)는, #1→#2→…→#N의 순서로 노광면(4) 전체를 검사한다.

상기 제1수광부(10)와 제2수광부(15)는 상기 스캔 동작에 따라 감지되는 광강도 즉, 광량에 따라 해당하는 전기적인 신호값인 전류를 출력한다.

상기 수광부(10, 15)에서 측정된 전류신호는 신호 처리부(8)로 입력되어, 전류/전압 변환부(20)를 통하여 인가되는 전류 신호에 비례하는 전압으로 변환된 다음, 전압 증폭부(30)를 통하여 일정 전압으로 증폭된 다음, 차동 증폭부(50)와 반전 증폭부(40)로 입력된다.

상기 반전 증폭부(40)로 입력된 전압은 반전되어 차동 증폭부(50)로 입력된다. 상기 차동 증폭부(50)는 전압 증폭부(30)와 반전 증폭부(40)에서 출력되는 전압의 차동값을 증폭하여 저역 통과 필터(60)를 통하여 필터링된 다음 디지탈 신호로 변환되어 제어부(80)로 입력된다.

상기 제어부(80)로 입력된 수광부(10, 15)로부터의 신호는 입력 포트(81)를 통하여 중앙 처리부(82)로 입력되고, 중앙 처리부(82)는 스캔 동작에 따라 입력되는 각 지점의 광신호에 따라 노광면(4) 전체에 해당하는 광균일도를 산출한다.

상기의 스캔 과정에서 2개의 수광부(10, 15)를 이용한 스캔 동작이 이루어짐에 따라 #3→#4부터 #N-3→#N-2의 스캔 구간에서는 2개의 수광부(10, 15)로 측정되는 광강도 즉, 광량의 정보가 중첩되게 된다.

따라서, 상기 제어부(80)의 중앙 처리부(82)는 상기의 광량 정보 중첩에 따른 정보를 토대로 하여 2개의 수광부(10, 15)간의 감도 오차값을 산출하여 저장한 다음, 스캔 동작에 따라 2개의 수광부(10, 15)로부터 입력되는 신호에 따라 광균일도를 산출할 때 상기 오차값을 보정하여 준다.

상기에서 조사되는 광의 노광면(4)에 대한 균일도를 산출한 다음, 제어부(80)의 중앙 처리부(82)는 광균일도가 설정된 범위를 만족하지 않는 경우에는 도시하지 않은 광원 구동부로 보정 신호를 출력하여, 조사되는 광량을 적절하게 가변시킨다.

또한, 상기에서 65mm 간격으로 이격되어 있는 2개의 수광부(10, 15)로 블라인더의 경계면을 스캔하면서, 2개의 수광부(10, 15)를 연결한 축과 블라인더면과의 틀어짐을 검출한다.

다시 말하자면, 광원으로부터 조사된 광은 블라인더(5)를 통하여 레티클 스테이지(1)상에 조사되므로, 레티클 스테이지(1)에서 조사되는 노광 영역의 경계면은 블라인더(5)의 경계면과 동일하게 된다.

예를 들어, 블라인더(5)의 경계면이 틀어진 경우에는, 상기 제1수광부(10)에서 측정되는 광량과 제2수광부(15)에서 측정된 광량이 각각 다르게 측정이 된다.

따라서, 신호 처리부(8)의 차동 증폭부(50)를 통하여 출력되는 전압값에 차이가 발생하게 된다.

그러므로, 제어부(80)의 중앙 처리부(82)는 차동 증폭부(50)를 통하여 인가되는 신호에 따라 현재 블라인더(5)의 초기 위치가 정확하게 정렬되었는지를 판단하여, 상기 2개의 수광부(10, 15)에서 감지되는 신호차가 일정값 이상인 경우에는 블라인더(5)의 경계면이 어긋난 것으로 판단하여 이에 해당하는 신호를 버스(84)상에 출력한다. 상기 신호는 출력 포트(88)를 통하여 정보 표시부(90)로 입력된다.

상기 정보 표시부(90)는 제어부(80)에서 인가되는 신호에 따라 작동 상태가 가변되어, 현재 블라인더(5)의 초기 위치 정렬이 정확하게 이루어지지 않고 있음을 사용자에게 표시한다.

사용자는 정보 표시부(90)에서 표시되는 상태를 확인하여 블라인더(5)의 위치 정렬이 정확히 이루어지지 않고 있는 경우에는, 첨부한 제7도에 도시되어 있는 조정핀(7)을 조작하여 블라인더(5)의 위치를 다시 정렬시킨다.

이 발명의 다른 실시예에 따라 상기 광원으로부터 레티클상으로 조사되는 광을 감지하는 수광부(10, 15)를 상기한 실시예와 달리 레티클 스테이지(1)의 하단에 장착하여, 조사되는 광의 균일도를 검사한다.

이 때, 상기한 레티클 스테이지(1)는 빛을 투과하는 성질을 가지는 재질로 이루어진다.

또한, 조사되는 광의 광량을 측정하는 수광부를 3개로 장착하여 산출되는 광균일도의 정확성을 높일 수 있다.

이상에서와 같이 이 발명이 실시예에 따라 반도체 웨이퍼위나 액정 표시장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 과정에 있어서, 다수의 수광부를 이용하여 조사되는 광량을 측정하므로써, 광의 균일성 산출의 정확성을 높일 수 있으며, 조사되는 노광면의 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 다수의 수광부를 이용하여 조사되는 빛을 단속하는 블라인더 면의 위치 정렬 상태를 판단하여 보정가능하므로써, 노광 장비의 사용 중에 발생되는 정렬의 어긋남이나 틀어짐을 미리 감지하여 기계의 파손 및 불량률 증가를 방지함으로써, 전체적으로 공정의 지연과 수율 저하를 초래를 방지할 수 있는 효과를 가지는 다수의 수광부를 이용한 광검출기를 제공할 수 있다.

Claims

반도체 웨이퍼위나 액정 표시 장치 기판위에 전자 회로를 옮기는 노광 장치에 있어서, 빛이 조사되는 스테이지 상에 장착되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 다수의 수광센서로 이루어진 수광 수단과; 상기 수광 수단에서 출력되는 신호를 처리하여, 처리된 신호에 해당하는 디지탈 신호를 출력하는 신호 처리 수단과; 상기 신호 처리 수단에서 출력되는 수광 수단의 측정 신호에 따라 스테이지 상에 조사되는 광의 균일도를 산출하고, 상기 수광 수단이 장착된 스테이지를 이동시키기 위한 신호를 출력하는 제어 수단과; 상기 제어 수단에서 출력되는 신호에 따라 상기 수광 수단이 장착된 스테이지를 설정된 경로에 따라 이동시키는 스테이지 구동 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광 검출기.
제1항에 있어서, 상기한 수광 수단이, 빛이 조사되는 스테이지 상에 장착되어, 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 제1수광부와; 상기 제1수광부와 일정 간격을 두고 상하로 스테이지 상에 장착되어 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 제2수광부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제2항에 있어서, 상기한 제1수광부와 제2수광부를 상하로 연결한 축이, 노광장치에 있어서 스테이지로 조사되는 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면과 일치하도록 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제2항에 있어서, 상기 제2수광부와 일정 간격을 두고 상하로 스테이지 상에 장착되어 스테이지의 이동 상태에 따라 조사되는 빛의 광량을 측정하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 제3수광부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제2항에 있어서, 상기한 제어 수단은, 상기 신호 처리 수단으로부터 출력되는 제1수광부 및 제2수광부의 신호를 받아 들이는 입력 포트와, 상기 입력 포트를 통하여 입력된 신호를 처리하고, 해당 제어 신호를 출력하는 중앙 처리부와, 상기 중앙 처리부로부터의 제어 신호를 출력하는 출력 포트와, 상기 입력 포트와 중앙 처리부와 출력 포트간에 신호를 전송하는 버스를 포함하여 이루어지고, 상기 중앙 처리부는 입력 포트를 통하여 입력되는 상기 제1수광 부와 제2 수광부의 신호간의 차이량을 산출하고, 산출된 차이량에 따라 스테이지로 조사되는 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면의 어긋남을 판단하는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 가지는 광검출기.
제1항에 있어서, 스테이지로 조상되는 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면의 정렬 상태를 표시하기 위한 표시 수단을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제5항 또는 6항에 있어서, 상기 제어 수단의 입력 포트는 상기 제1수광부 및 제2수광부의 신호를 중앙 처리부로 출력하고, 상기 중앙 처리부는 제1수광부와 제2수광부의 신호간의 차이량이 일정값 이상인 경우에, 빛을 단속하는 블라인더 장치의 경계면의 정렬이 어긋난 것으로 판단하여, 블라인더 장치의 경계면 상태가 어긋났음을 표시하기 위한 표시 신호를 출력하고, 상기 출력 포트는 상기 중앙 처리부로부터의 표시 신호를 상기 표시 수단으로 출력하는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제1항에 있어서, 상기한 신호 처리 수단은, 상기 수광 수단에서 출력되는 전류 신호를 전압 신호로 변환하여 출력하는 전류/전압 변환부와; 상기 전류/전압 변환부의 출력단에 연결되어 인가되는 전압 신호를 증폭하여 출력하는 전압 증폭부와; 상기 전압 증폭부의 출력단에 연결되어 인가되는 증폭된 전압신호를 반전시켜 출력하는 반전 증폭부와; 상기 전압 증폭부와 반전 증폭부의 출력단에 연결되어 인가되는 전압신호의 차등 전압을 증폭하여 출력하는 차동 증폭부와; 상기 차동 증폭부의 출력단에 연결되어 잡음을 제거하기 위한 필터링을 수행하는 저역 통과 필터부와; 상기 저역 통과 필터부의 출력단에 연결되어 인가되는 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하여 출력하는 A/D 변환부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제1항에 있어서, 상기한 수광 수단이 빛이 조사되는 스테이지의 하단에 장착되는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.
제2항에 있어서, 상기 중앙 처리부는 스테이지를 노광면의 상단에서 하단으로 순차적으로 이동시키기 위한 제어 신호를 출력하고, 상기 출력 포트는 상기 제어 신호를 스테이지 구동 수단으로 출력하고, 상기 입력 포트는 스테이지 이동에 따라 신호 처리 수단으로부터 출력되는 제1수광부 및 제2수광부의 신호를 중앙 처리부로 출력하고, 상기 중앙 처리부는 스테이지 이동에 따라 출력되는 상기 제1수광부 및 제2수광부의 신호에 따라 노광면의 광균일도를 산출하고, 상기 제1수광부 및 제2수광부의 신호간의 중첩 정보에 따라 상기 광균일도를 보정하는 것을 특징으로 하는 다수의 수광부를 이용한 광검출기.