JPH05215524A - レーザ式高さ測定装置 - Google Patents
レーザ式高さ測定装置Info
- Publication number
- JPH05215524A JPH05215524A JP32585491A JP32585491A JPH05215524A JP H05215524 A JPH05215524 A JP H05215524A JP 32585491 A JP32585491 A JP 32585491A JP 32585491 A JP32585491 A JP 32585491A JP H05215524 A JPH05215524 A JP H05215524A
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- Japan
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- transparent plate
- measured
- dimensional sensor
- height
- light
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高さ方向のキャリブレーションに高精度で高価
な基準ブロックを必要としない。 【構成】透明板１と、散乱光反射物質２と、載置台３
と、レーザ光源４と、投光レンズ５と、集光レンズ６
と、一次元センサ７と、マスク板８と、信号処理回路９
と、移動機構１０を含んで構成される。
な基準ブロックを必要としない。 【構成】透明板１と、散乱光反射物質２と、載置台３
と、レーザ光源４と、投光レンズ５と、集光レンズ６
と、一次元センサ７と、マスク板８と、信号処理回路９
と、移動機構１０を含んで構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ式高さ測定装置、
特に、半導体ＩＣのリ−ド形状のレーザ式高さ測定装置
に関する。
特に、半導体ＩＣのリ−ド形状のレーザ式高さ測定装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ式高さ測定装置について図
面を参照して詳細に説明する。図３は、従来の一例を示
す光路図である。
面を参照して詳細に説明する。図３は、従来の一例を示
す光路図である。
【０００３】図３に示すレーザ式高さ測定装置は、被検
査物１１を載せる透明板１と透明板１を固定支持する載
置台３と、レーザ光源４からのレーザビームを被測定物
１１に透明板１のななめ下方から投光するための投光レ
ンズ５と、被測定物１１からの反射光を集光する集光レ
ンズ６と、集光レンズ６による集光像位置を検出する一
次元センサ７と、一次元センサ７への透明板１からの正
反射光をカットするマスク板８と、一次元センサ７から
の出力信号を処理する信号処理回路９と、レーザ光源４
と投光レンズ５と集光レンズ６と一次元センサ７とマス
ク板８を移動させる移動機構１０とを含んで構成され
る。
査物１１を載せる透明板１と透明板１を固定支持する載
置台３と、レーザ光源４からのレーザビームを被測定物
１１に透明板１のななめ下方から投光するための投光レ
ンズ５と、被測定物１１からの反射光を集光する集光レ
ンズ６と、集光レンズ６による集光像位置を検出する一
次元センサ７と、一次元センサ７への透明板１からの正
反射光をカットするマスク板８と、一次元センサ７から
の出力信号を処理する信号処理回路９と、レーザ光源４
と投光レンズ５と集光レンズ６と一次元センサ７とマス
ク板８を移動させる移動機構１０とを含んで構成され
る。
【０００４】従来のレーザ式高さ測定装置は、載置台３
に固定支持された透明板１の上に被測定物１１を載せ、
レーザ光源４からのレーザビームを被測定物１１に透明
板１のななめ下方から投光レンズ５を使って投光し、被
測定物１１からの反射光を集光レンズ６により一次元セ
ンサ７上に集光し、その集光像位置を一次元センサ７で
検出し、一次元センサ７からの出力信号を信号処理回路
９で処理し被測定物の高さを測定するものであった。
に固定支持された透明板１の上に被測定物１１を載せ、
レーザ光源４からのレーザビームを被測定物１１に透明
板１のななめ下方から投光レンズ５を使って投光し、被
測定物１１からの反射光を集光レンズ６により一次元セ
ンサ７上に集光し、その集光像位置を一次元センサ７で
検出し、一次元センサ７からの出力信号を信号処理回路
９で処理し被測定物の高さを測定するものであった。
【０００５】図４は従来のキャリブレーション方法を示
す光路図である。高さ方向のキャリブレーションは、透
明板１の上に表面の平面度を高精度にだした基準ブロッ
ク１２を載せ、その高さを測定することで行っていた。
す光路図である。高さ方向のキャリブレーションは、透
明板１の上に表面の平面度を高精度にだした基準ブロッ
ク１２を載せ、その高さを測定することで行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレーザ
式高さ測定装置は、透明板の汚れ等により透明板を交換
したときの高さ方向のキャリブレーションを透明板の上
に表面の平面度を高精度にだした基準ブロックを載せ、
その高さを測定することで行っていたので、高精度で高
価な基準ブロックを必要とし、また、透明板と基準ブロ
ックの間にゴミが入った場合に誤った基準面にキャリブ
レーションされるという欠点があった。
式高さ測定装置は、透明板の汚れ等により透明板を交換
したときの高さ方向のキャリブレーションを透明板の上
に表面の平面度を高精度にだした基準ブロックを載せ、
その高さを測定することで行っていたので、高精度で高
価な基準ブロックを必要とし、また、透明板と基準ブロ
ックの間にゴミが入った場合に誤った基準面にキャリブ
レーションされるという欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第１の発明のレーザ式高
さ測定装置は、被測定物を載せる透明板と、前記透明板
の被測定物搭載面の一部分に付着させた光を照射すると
散乱光を反射させる手段と、前記透明板を固定支持する
載置台と、レーザ光源からのレーザビームを前記被測定
物に透明板のななめ下方から投光するための投光レンズ
と、前記被測定物からの反射光を集光する集光レンズ
と、前記集光レンズによる集光像位置を検出する一次元
センサと、前記一次元センサへの前記透明板からの正反
射光をカットするマスク板と、一次元センサからの出力
信号を処理する信号処理回路と、レーザ光源と投光レン
ズと集光レンズと一次元センサとマスク板を移動させる
移動機構とを含んで構成される。
さ測定装置は、被測定物を載せる透明板と、前記透明板
の被測定物搭載面の一部分に付着させた光を照射すると
散乱光を反射させる手段と、前記透明板を固定支持する
載置台と、レーザ光源からのレーザビームを前記被測定
物に透明板のななめ下方から投光するための投光レンズ
と、前記被測定物からの反射光を集光する集光レンズ
と、前記集光レンズによる集光像位置を検出する一次元
センサと、前記一次元センサへの前記透明板からの正反
射光をカットするマスク板と、一次元センサからの出力
信号を処理する信号処理回路と、レーザ光源と投光レン
ズと集光レンズと一次元センサとマスク板を移動させる
移動機構とを含んで構成される。
【０００８】第２の発明のレーザ式高さ測定装置は、被
測定物を載せる透明板と、前記透明板の被測定物搭載面
の一部分にコーティングされた金属膜と、前記透明板を
固定支持する載置台と、レーザ光源からのレーザビーム
を前記被測定物に透明板のななめ下方から投光するため
の投光レンズと、前記被測定物からの反射光を集光する
集光レンズと、前記集光レンズによる集光像位置を検出
する一次元センサと、前記一次元センサへの前記透明板
からの正反射光をカットするマスク板と、一次元センサ
からの出力信号を処理する高さ信号処理回路と、前記載
置台に固定され前記金属膜との距離を測定する距離計
と、前記距離計からの出力信号を処理する距離測定回路
と、高さ信号処理回路と距離測定回路の出力信号から高
さ信号を演算する高さ補正回路とを含んで構成される。
測定物を載せる透明板と、前記透明板の被測定物搭載面
の一部分にコーティングされた金属膜と、前記透明板を
固定支持する載置台と、レーザ光源からのレーザビーム
を前記被測定物に透明板のななめ下方から投光するため
の投光レンズと、前記被測定物からの反射光を集光する
集光レンズと、前記集光レンズによる集光像位置を検出
する一次元センサと、前記一次元センサへの前記透明板
からの正反射光をカットするマスク板と、一次元センサ
からの出力信号を処理する高さ信号処理回路と、前記載
置台に固定され前記金属膜との距離を測定する距離計
と、前記距離計からの出力信号を処理する距離測定回路
と、高さ信号処理回路と距離測定回路の出力信号から高
さ信号を演算する高さ補正回路とを含んで構成される。
【０００９】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。図１は、本発明の第１の実施例を示す光路図
である。
説明する。図１は、本発明の第１の実施例を示す光路図
である。
【００１０】図１に示すレーザ式高さ測定装置は、透明
板１と、散乱光反射物質２と、載置台３と、レーザ光源
４と、投光レンズ５と、集光レンズ６と、一次元センサ
７と、マスク板８と、信号処理回路９と、移動機構１０
を含んで構成されている。
板１と、散乱光反射物質２と、載置台３と、レーザ光源
４と、投光レンズ５と、集光レンズ６と、一次元センサ
７と、マスク板８と、信号処理回路９と、移動機構１０
を含んで構成されている。
【００１１】次に、動作について説明する。載置台３に
固定支持された透明板１の上に被測定物１１を載せ、レ
ーザ光源４からのレーザビームを被測定物１１に透明板
１のななめ下方から投光レンズ５を使って投光し、被測
定物１１からの反射光を集光レンズ６により一次元セン
サ７上に集光し、その集光像位置を一次元センサ７で検
出し、一次元センサ７からの出力信号を信号処理回路９
で処理し被測定物の高さを測定する。透明板１の汚れ等
により透明板１を交換したときの高さ方向のキャリブレ
ーションを行うばあいは、透明板１の被測定物搭載面の
一部分に付着させた光を照射すると散乱光を反射する物
質２を被測定物１１を測定する代わりに測定する。それ
によって、透明板１の被測定物搭載面の高さを間接的に
測定することができる。
固定支持された透明板１の上に被測定物１１を載せ、レ
ーザ光源４からのレーザビームを被測定物１１に透明板
１のななめ下方から投光レンズ５を使って投光し、被測
定物１１からの反射光を集光レンズ６により一次元セン
サ７上に集光し、その集光像位置を一次元センサ７で検
出し、一次元センサ７からの出力信号を信号処理回路９
で処理し被測定物の高さを測定する。透明板１の汚れ等
により透明板１を交換したときの高さ方向のキャリブレ
ーションを行うばあいは、透明板１の被測定物搭載面の
一部分に付着させた光を照射すると散乱光を反射する物
質２を被測定物１１を測定する代わりに測定する。それ
によって、透明板１の被測定物搭載面の高さを間接的に
測定することができる。
【００１２】図２は、本発明の第２の実施例を示す光路
図である。図２に示すレーザ式高さ測定装置は、透明板
１と、金属膜１０２と、載置台３と、レーザ光源４と、
投光レンズ５と、集光レンズ６と、一次元センサ７と、
マスク板８と、高さ信号処理回路１０９と、距離計１１
０と、距離測定回路１１１と、高さ補正回路１１２を含
んで構成されている。
図である。図２に示すレーザ式高さ測定装置は、透明板
１と、金属膜１０２と、載置台３と、レーザ光源４と、
投光レンズ５と、集光レンズ６と、一次元センサ７と、
マスク板８と、高さ信号処理回路１０９と、距離計１１
０と、距離測定回路１１１と、高さ補正回路１１２を含
んで構成されている。
【００１３】次に、動作について説明する。載置台３に
固定支持された透明板１の上に被測定物１１３を載せ、
レーザ光源４からのレーザビームを被測定物１１３に透
明板１のななめ下方から投光レンズ５を使って投光し、
被測定物１１３からの反射光を集光レンズ６により一次
元センサ７上に集光し、その集光像位置を一次元センサ
７で検出し、一次元センサ７からの出力信号を高さ信号
処理回路１０９で処理し被測定物１１３の高さを測定す
る。透明板１の汚れ等により透明板１を交換したときの
高さ方向のキャリブレーションを行うばあいは、透明板
１の被測定物搭載面の一部分にコーティングされた金属
膜１０２までの距離を載置台３に固定された距離計１１
０と距離測定回路１１１を使って測定する。初めに１回
は基準ブロックによりキャリブレーションする必要があ
るが、その時の距離計１１０の値との差から、一次元セ
ンサ７からの出力信号を高さ信号処理回路１０９で処理
し得られた高さ信号を高さ補正回路１１２で補正し被測
定物の高さを高精度で測定することができる。
固定支持された透明板１の上に被測定物１１３を載せ、
レーザ光源４からのレーザビームを被測定物１１３に透
明板１のななめ下方から投光レンズ５を使って投光し、
被測定物１１３からの反射光を集光レンズ６により一次
元センサ７上に集光し、その集光像位置を一次元センサ
７で検出し、一次元センサ７からの出力信号を高さ信号
処理回路１０９で処理し被測定物１１３の高さを測定す
る。透明板１の汚れ等により透明板１を交換したときの
高さ方向のキャリブレーションを行うばあいは、透明板
１の被測定物搭載面の一部分にコーティングされた金属
膜１０２までの距離を載置台３に固定された距離計１１
０と距離測定回路１１１を使って測定する。初めに１回
は基準ブロックによりキャリブレーションする必要があ
るが、その時の距離計１１０の値との差から、一次元セ
ンサ７からの出力信号を高さ信号処理回路１０９で処理
し得られた高さ信号を高さ補正回路１１２で補正し被測
定物の高さを高精度で測定することができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明のレーザ式高さ測定装置は、高さ
方向のキャリブレーション用の金属膜を被測定物を載せ
る透明板上にコーティングする構成にしたので、高精度
で高価な基準ブロックを必要とせず、作業者の手間を大
幅に省くことができ、またゴミ等による基準ブロックの
浮きが原因の不正確なキャリブレーションを防ぐことが
できるという効果がある。
方向のキャリブレーション用の金属膜を被測定物を載せ
る透明板上にコーティングする構成にしたので、高精度
で高価な基準ブロックを必要とせず、作業者の手間を大
幅に省くことができ、またゴミ等による基準ブロックの
浮きが原因の不正確なキャリブレーションを防ぐことが
できるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示す光路図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す光路図である。
【図３】従来の一例を示す光路図である。
【図４】従来のキャリブレーション方法を示す光路図で
ある。
ある。
１ 透明板 ２ 散乱光反射物質 ３ 載置台 ４ レーザ光源 ５ 投光レンズ ６ 集光レンズ ７ 一次元センサ ８ マスク板 ９ 信号処理回路 １０ 移動機構 １１ 被測定物 １２ 基準ブロック
Claims (2)
- 【請求項１】被測定物を載せる透明板と、前記透明板の
被測定物搭載面の一部分に付着させた光を照射すると散
乱光を反射させる手段と、前記透明板を固定支持する載
置台と、レーザ光源からのレーザビームを前記被測定物
に透明板のななめ下方から投光するための投光レンズ
と、前記被測定物からの反射光を集光する集光レンズ
と、前記集光レンズによる集光像位置を検出する一次元
センサと、前記一次元センサへの前記透明板からの正反
射光をカットするマスク板と、一次元センサからの出力
信号を処理する信号処理回路と、レーザ光源と投光レン
ズと集光レンズと一次元センサとマスク板を移動させる
移動機構とを含むことを特徴とするレーザ式高さ測定装
置。 - 【請求項２】被測定物を載せる透明板と、前記透明板の
被測定物搭載面の一部分にコーティングされた金属膜
と、前記透明板を固定支持する載置台と、レーザ光源か
らのレーザビームを前記被測定物に透明板のななめ下方
から投光するための投光レンズと、前記被測定物からの
反射光を集光する集光レンズと、前記集光レンズによる
集光像位置を検出する一次元センサと、前記一次元セン
サへの前記透明板からの正反射光をカットするマスク板
と、一次元センサからの出力信号を処理する高さ信号処
理回路と、前記載置台に固定され前記金属膜との距離を
測定する距離計と、前記距離計からの出力信号を処理す
る距離測定回路と、高さ信号処理回路と距離測定回路の
出力信号から高さ信号を演算する高さ補正回路とを含む
ことを特徴とするレーザ式高さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32585491A JPH05215524A (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | レーザ式高さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32585491A JPH05215524A (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | レーザ式高さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215524A true JPH05215524A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=18181364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32585491A Withdrawn JPH05215524A (ja) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | レーザ式高さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05215524A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002107116A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Susumu Nakatani | 平坦度等測定装置 |
| JP2021021627A (ja) * | 2019-07-26 | 2021-02-18 | 株式会社 コアーズ | 測定装置 |
-
1991
- 1991-12-10 JP JP32585491A patent/JPH05215524A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002107116A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Susumu Nakatani | 平坦度等測定装置 |
| JP2021021627A (ja) * | 2019-07-26 | 2021-02-18 | 株式会社 コアーズ | 測定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |