CN116661166A - 一种平行度调节装置及光学检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种平行度调节装置及光学检测设备，其包括：基体，基体设有半透半反镜和反射镜，反射镜位于半透半反镜的反射光路上；基体于半透半反镜透射的一侧设置有透射零点，并于半透半反镜反射的一侧设置有反射零点；当光机模组发出的入射光线照射至半透半反镜时，通过调节平行度调节装置的位置，使透射光线移动至透射零点，并根据反射光线经反射镜后与反射零点之间的偏移距离，调整光机模组的角度使光机模组与载物平台平行。本发明涉及的一种平行度调节装置及光学检测设备，通过简单的结构就可以调平，且不需用到特别昂贵的材料和加工方法，制作成本和难度较低。

Description

一种平行度调节装置及光学检测设备

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种平行度调节装置及光学检测设备。

背景技术

在半导体检测领域里光机模组的安装精度要求越来越高，尤其是高倍率成像装置，有一点倾斜都会导致成像画面整体不均匀，清晰度不一致等问题，导致缺陷检出困难。

相关技术中，一般采用相机等拍摄装置来辅助调整光机模组的角度，使光机模组与被测物所在平台保持水平。但是，采用相机等拍摄装置进行调整的方式结构复杂且制作成本较高。

因此，有必要设计一种新的平行度调节装置及光学检测设备，以克服上述问题。

发明内容

本发明实施例提供一种平行度调节装置及光学检测设备，以解决相关技术中采用相机等拍摄装置进行调整的方式结构复杂且制作成本较高的问题。

第一方面，提供了一种平行度调节装置，其包括：基体，所述基体设有半透半反镜和反射镜，所述反射镜位于所述半透半反镜的反射光路上；所述基体于所述半透半反镜透射的一侧设置有透射零点，并于所述半透半反镜反射的一侧设置有反射零点；当光机模组发出的入射光线照射至所述半透半反镜时，通过调节所述平行度调节装置的位置，使透射光线移动至所述透射零点，并根据反射光线经所述反射镜后与所述反射零点之间的偏移距离，调整光机模组的角度使光机模组与载物平台平行。

一些实施例中，所述基体上设有间隔设置的多个所述反射镜，自所述半透半反镜反射出的光线依次经多个所述反射镜反射后照射至所述反射零点附近。

一些实施例中，当反射光线经所述反射镜照射至所述反射零点时，所述光机模组与所述载物平台平行；当反射光线经所述反射镜照射至所述反射零点周围的其他位置时，通过所述半透半反镜上的反射位置到所述反射零点之间的距离以及所述偏移距离，计算所述光机模组的调整角度。

一些实施例中，所述基体于所述反射零点的周围排列有多个反射偏移点，每个所述反射偏移点上标注有刻度，当反射光线照射至其中一个所述反射偏移点时，通过该反射偏移点对应的刻度值计算所述光机模组的调整角度。

一些实施例中，所述透射零点、所述反射零点以及所述反射偏移点的位置均设置有光敏传感器。

一些实施例中，所述基体上设置有标定板，所述标定板设置有两个标定面，其中一个标定面设置于所述半透半反镜透射的一侧，且该标定面上设置有所述透射零点，另一个标定面设置于所述半透半反镜反射的一侧，且该标定面上设置有所述反射零点。

一些实施例中，所述基体上设置有至少两个标定板，至少一个标定板设置于所述半透半反镜透射的一侧，且该标定板上设置有所述透射零点，另一个标定板设置于所述半透半反镜反射的一侧，且该标定板上设置有所述反射零点。

一些实施例中，所述基体内设有空腔，所述半透半反镜和所述反射镜均设置于所述空腔内；所述空腔于光线入射处贯穿所述基体，并在所述基体的贯穿处安装有透明板以将所述空腔的内部密封，所述半透半反镜相对于所述透明板倾斜布置；所述平行度调节装置还包括透镜，所述透镜安装于所述透明板。

第二方面，提供了一种光学检测设备，其包括：载物平台，所述载物平台上设置有上述的平行度调节装置。

一些实施例中，基体上设置有标定板，透射零点和反射零点均设置于所述标定板，所述标定板于所述反射零点的周围还设置有多个反射偏移点，所述透射零点、所述反射零点以及所述反射偏移点的位置均设置有光敏传感器；所述光学检测设备还包括控制器，所述控制器与所述光敏传感器信号连接，所述控制器用于根据所述光敏传感器的信号获取反射光线与所述反射零点之间的偏移距离，并基于所述偏移距离算出光机模组的调整角度。

本发明提供的技术方案带来的有益效果包括：

本发明实施例提供了一种平行度调节装置及光学检测设备，由于在基体上设置了半透半反镜和反射镜，且反射镜位于半透半反镜的光路上，光机模组发出的入射光线可以经半透半反镜部分透射至透射零点，同时，部分光线从半透半反镜处反射至反射镜，并经反射镜反射，最终根据反射光线经反射镜后与反射零点之间的偏移距离，可以将光机模组与载物平台调整平行，因此，通过简单的结构就可以调平，且不需用到特别昂贵的材料和加工方法，制作成本和难度较低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种平行度调节装置的立体结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种平行度调节装置的主视示意图；

图3为本发明实施例提供的同轴光透射和反射简易示意图；

图4为本发明实施例提供的一种平行度调节装置设置反光镜的简易示意图。

图中：

1、基体；11、基准平面；2、半透半反镜；3、透射零点；4、反射零点；5、标定板；6、透明板；7、同轴光；8、反射镜。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种平行度调节装置及光学检测设备，其能解决相关技术中采用相机等拍摄装置进行调整的方式结构复杂且制作成本较高的问题。

参见图1和图4所示，为本发明实施例提供的一种平行度调节装置，所述平行度调节装置可以针对高精度带内同轴光7的光机模组进行辅助调节，所述平行度调节装置可以包括：基体1，所述基体1可以设有半透半反镜2和反射镜8，其中，所述反射镜8位于所述半透半反镜2的反射光路上，且所述基体1可以是一个平板结构，也可以是框架结构等多种结构形式，能够对半透半反镜2和反射镜8进行支撑即可，具体结构形式在此不做限定；所述基体1于所述半透半反镜2透射的一侧设置有透射零点3，并于所述半透半反镜2反射的一侧设置有反射零点4，也即透射零点3和反射零点4分布于半透半反镜2的相反两侧，其中，所述透射零点3和反射零点4可以是直接设置在基体1上的，也可以是间接固定在基体1上的；当光机模组发出的入射光线(也即同轴光7)照射至所述半透半反镜2时，通过调节所述平行度调节装置的位置，可以使透射光线移动至所述透射零点3，并根据反射光线经所述反射镜8后与所述反射零点4之间的偏移距离，调整光机模组的角度使光机模组与载物平台平行。其中，当反射光线对准反射零点4时，反射光线与反射零点4之间的偏移距离为零。

进一步，所述透射零点3和所述反射零点4可以配置为当光机模组发出的入射光线垂直基体1入射至所述半透半反镜2且部分光线透射至对准所述透射零点3时，部分光线反射至反射镜8，并经反射镜8反射至对准反射零点4。也就是说，当入射光线透射至对准透射零点3，但是反射光线未照射至对准反射零点4时，说明此时入射光线是不与基体1垂直的，也即光机模组与载物平台不平行。

其中，在使用该平行度调节装置时，可以将基体1的表面放置在与载物平台平行的位置，也可以是在基体1上设置一个基准平面11，在使用平行度调节装置时，将该基准平面11调整成与载物平台平行，此时，以该基准平面11为准，当入射光线垂直于基准平面11时，将透射光线在对准透射零点3时，反射光线也对准反射零点4，当入射光线与基准平面11不垂直(也即光机模组与载物平台不平行)时，将透射光线对准透射零点3时，反射光线相对反射零点4存在偏移，此时需要。

本实施例中，由于在基体1上设置了半透半反镜2和反射镜8，且反射镜8位于半透半反镜2的光路上，光机模组发出的入射光线可以经半透半反镜2部分透射至透射零点3，当透射光线未照射至透射零点3时，可以通过移动基体1的位置，使透射光线照射至透射零点3，同时，部分光线从半透半反镜2处反射至反射镜8，并经反射镜8反射照射至反射零点4附近，最终根据反射光线经反射镜8后与反射零点4之间的偏移距离，可以计算出光机模组需要调整的角度，进而将光机模组与载物平台调整平行。

并且，本发明不需要制作相机等拍摄装置来进行测量调整，通过设置基体1、半透半反镜2以及透射零点3和反射零点4即可，使得装置的结构相对简单，通过简单的结构就可以测出光机模组是否与载物平台平行，且不需用到特别昂贵的材料和加工方法，制作成本和难度较低。同时，该平行度调节装置不需要培训和学习便可使用，操作起来也极为方便；且装置体积小，可以在大部分场景下使用，节约了空间，方便携带摆放。

进一步，由于在半透半反镜2的反射光路上设置了反射镜8，部分光线从半透半反镜2反射后，可以在经过一段距离后照射至反射镜8上，并经反射镜8的反射之后再照射至反射零点4附近，与从半透半反镜2直接反射至反射零点4相比，本实施例设置的反射镜8可以改变光路方向使光线走的光路更长，放大误差，进而可以在不增加平行度调节装置的长度的情况下提升检测精度，能够适用于空间不足的场景中。

优选的，所述基体1上可以设有间隔设置的多个所述反射镜8，多个反射镜8间隔设置且方向不同，自所述半透半反镜2反射出的光线可以依次经多个所述反射镜8反射后照射至所述反射零点4附近。也就是说，部分光线从半透半反镜2反射出来后，可以在经过一段距离后照射至第一个反射镜8上，然后经第一个反射镜8反射后再照射至第二个反射镜8上，再经第二个反射镜8反射后照射至第三个反射镜8上，以此类推，最终从最后一个反射镜8照射至反射零点4附近。本实施例通过设置多个方向不同的反射镜8，使得反射光线需要经过多次反射才能到达反射零点4附近，能够最大化的延长反射光线的光路，进一步提升精度。

进一步，所述基准平面11既可以是一个水平面，也可以是倾斜的平面，也即与水平面具有一定的夹角，并且，基准平面11可以是基体1的上、下表面，也可以是透射零点3所在的平面，还可以是基体1其他位置的平面；保证在使用所述平行度调节装置时，将所述平行度调节装置放置或者安装在使基准平面11与载物平台平行的状态即可使用。

优选的，所述半透半反镜2与所述基准平面11(可以为基体1的上表面)之间的夹角可以为45°，此时当入射光线垂直基准平面11时，透射光线与反射光线之间的夹角为90度，也即透射光线与反射光线垂直，如此设置，可以将基准平面11设置为水平面，入射光线垂直向下入射至半透半反镜22即可，这样平行度调节装置的结构相对容易制作，且可以直接将平行度调节装置放置在被测物所在平台上即可实现基准平面11与被测物所在平台平行。

当然，在其他实施例中，半透半反镜2也可以与基准平面11之间的夹角设置为30°或者60°等其他角度，在将平行度调节装置放置或者安装于平台上时，保证基准平面11与被测物所在平台平行即可。

在一些实施例中，当反射光线经所述反射镜8照射至所述反射零点4时，所述光机模组与所述载物平台平行；当反射光线经所述反射镜8照射至所述反射零点4周围的其他位置时，通过所述半透半反镜2上的反射位置到所述反射零点4之间的距离以及所述偏移距离，计算所述光机模组的调整角度。其中，在计算光机模组需要调整的角度时，可以通过以下公式来计算：

θ＝arctan(x/L)，式中，θ为光机模组的调整角度，x为偏移距离，L为第一次反射位置(也即半透半反镜2上的反射位置)到最终反射零点4的距离。

参见图2和图3所示，在一些可选的实施例中，所述基体1于所述反射零点4的周围可以排列有多个反射偏移点，每个所述反射偏移点上可以标注有刻度，当反射光线照射至其中一个所述反射偏移点时，通过该反射偏移点对应的刻度值计算所述光机模组的调整角度。本实施例中，每个反射偏移点分别对应朝向不同方向倾斜的入射光线，可以根据经验，将通常容易偏移的方向以及角度进行标定，以在反射零点4的周围形成多个反射偏移点，如此设置，在使用的过程中，直接根据每个反射偏移点上标注的刻度，即可较便捷快速的获得光机模组需要调整的角度。

优选在反射零点4的周围设置8个方向的刻度，这8个方向的刻度对应着光机模组不同方向偏移的角度，反射零点4对应的刻度为0点位置，当反射光线没有照射至反射零点4，而是照射至其中一个反射偏移点时，此时可以根据这个反射偏移点对应的标定偏移方向和偏移角度来对光机模组进行调整，能够更加快速的将光机模组调整至与载物平台平行的状态。当然，在其他实施例中，也可以根据实际需要，在反射零点4周围设置更多或者更少数量的反射偏移点。

优选的，在所述透射零点3、所述反射零点4以及所述反射偏移点的位置均可以设置有光敏传感器。本实施例中，通过在各点位添加光敏传感器可以自动检测光信号，使得装置更加自动化，也更加准确。在其他实施例中，也可以是在需要的部分点位设置光敏传感器，部分点位不设置光敏传感器。

进一步，在一些可选的实施例中，也可以在透射零点3的周围也设置多个偏移点。

在一些实施例中，参见图2和图3所示，所述基体1上可以设置有标定板5，所述标定板5设置有两个标定面，标定面可以是平面，也可以是曲面，本实施例中，优选设置平面，两个所述标定面分别设置于所述半透半反镜2的相反两侧，也即其中一个标定面设置于所述半透半反镜2透射的一侧，且该标定面上可以设置有所述透射零点3，另一个标定面设置于所述半透半反镜2反射的一侧，且该标定面上设置有所述反射零点4。本实施例中，标定板5的数量可以为一个，一个整体的标定板5上可以设置两个标定面，用来设置透射零点3和反射零点4，其中，两个标定面之间的夹角可以为90°，也可以为120°等其他角度，两个标定面之间的夹角根据半透半反镜2的倾斜角度而定，当半透半反镜2与基准平面11之间的夹角为45°时，两个标定面之间的夹角为90°，当半透半反镜2与基准平面11之间的夹角为30°时，两个标定面之间的夹角为120°。

在一些可选的实施例中，所述基体1上可以设置有至少两个标定板5，至少两个标定板5分别位于半透半反镜2的相反两侧，其中，至少一个标定板5设置于所述半透半反镜2透射的一侧，且该标定板5上设置有所述透射零点3，另一个标定板5设置于所述半透半反镜2反射的一侧，且该标定板5上设置有所述反射零点4。也即将半透半反镜2两侧的标定板5分成两块单独设置，一个标定板5上设置透射零点3，另一个标定板5上设置反射零点4。本实施例将标定板5分成两小块，能够根据实际需求调整每一块标定板5的大小，且两个标定板5之间的区域不需设置标定板5，更加节省材料，标定板5的利用率较高。

当然，在其他实施例中，也可以不设置标定板5，直接将所述透射零点3和反射零点4设置在基体1上也可以。

在上述技术方案的基础上，所述标定板5的材质可以有很多种，其中，所述标定板5的材质可以为玻璃、石英、陶瓷、哑光铝板或者菲林等，本实施例中，标定板5的材质优选为透明玻璃。

在一些实施例中，参见图1和图2所示，所述基体1内可以设有空腔，也即，基体1可以是一个框架结构，所述半透半反镜2和所述反射镜8均设置于所述空腔内，将这些部件设置在基体1的内部，基体1可以在外部对这些关键部件进行保护，降低关键部件被碰坏的风险；所述空腔于光线入射处贯穿所述基体1，并在所述基体1的贯穿处安装有透明板6以将所述空腔的内部密封，所述半透半反镜2相对于所述透明板6倾斜布置；本实施例中，在光线入射处安装透明板6，入射光线可以经透明板6照射至基体1内部的半透半反镜2上，同时，透明板6可以将基体1内部的空腔封住，防止灰尘或者其他杂质或者物品落入基体1内，对测量造成影响。

进一步，本发明实施例提供的平行度调节装置可调空间大，针对不同的需求，可以对装置进行改造。比如，所述平行度调节装置还可以包括透镜，所述透镜安装于所述透明板6。在透明板6上光线入射处设置透镜，入射光线可以穿过透镜照射至半透半反镜2和透射零点3上，添加的透镜能够使入射光斑更小，进而有利于提升测量结果的精准性。

当然，在一些可选的实施例中，也可以将基体1设置为框架结构，可以不在光线入射处安装透明板6。

在一些实施例中，还可以通过增加基体1的长度，使测量结果更精准，也即可以增加半透半反镜2与反射零点4之间的距离。

参见图2所示，给出了一种实施例，该实施例中，基准平面11为水平面，半透半反镜2与基准平面11之间的夹角为45°。从图中可以看出，同轴光7(入射光线)从光机模组射出穿过透明板6照射到半透半反镜2上，一半沿着原本光路继续行进达到下方的标定板5上，另一半发生反射打到另一块标定板5上。入射光线照射到该平行度调节装置后通过调节该平行度调节装置的位置可以使下方标定板5上的透射光线移动到标定板5的零点位置(也即透射零点3)，如果入射光线垂直于该平行度调节装置(也即垂直于基准平面11)，则侧面的标定板5上的反射光线也应处于0点位置(也即反射零点4)。如图3所示，如果光机模组与载物平台不平行，则侧面的标定板5上的反射光线不会出现在反射零点4位置，则需要根据计算出来的偏移角度对光机模组进行调整。图3中示出来的-1可以是其中一个反射偏移点的位置。

本发明实施例还提供了一种光学检测设备，其可以包括：载物平台，所述载物平台用于承载被测物；所述载物平台上设置有上述的平行度调节装置。其中，当平行度调节装置设置于所述载物平台上时，所述平行度调节装置的表面与所述载物平台的上表面平行。本实施例提供的光学检测设备可以采用上述任一实施例中的平行度调节装置，在此不再赘述。

为了在安装时方便调整光机模组，使光机模组与载物平台保持水平，本发明提供了一种平行度调节装置及光学检测设备，该平行度调节装置无需用相机等拍摄装置，只需用同轴光7(也即入射光线)照射到该平行度调节装置上即可判断水平度偏差，从而对光机模组进行水平度调整。

优选的，基体1上设置有标定板5，透射零点3和反射零点4均设置于所述标定板5，其中，标定板5可以是一个整体结构，也可以分成两个独立的板，两个独立的板互相垂直，透射零点3设置于其中一个板上，反射零点4设置于另一个板上，所述标定板5于所述反射零点4的周围还设置有多个反射偏移点，所述透射零点3、所述反射零点4以及所述反射偏移点的位置均设置有光敏传感器；所述光学检测设备还可以包括控制器，所述控制器与所述光敏传感器信号连接，所述控制器用于根据所述光敏传感器的信号获取反射光线与所述反射零点4之间的偏移距离，并基于所述偏移距离算出所述光机模组的调整角度。

在检测时，可以使同轴光7透过半透半反镜2，照射至对准透射零点3，而反射光线可能与反射零点4对准，也可能偏离反射零点4，控制器可以根据光敏传感器反馈的信号还获知反射光线是刚好照射至反射零点4的位置还是照射到反射偏移点的位置，当反射光线照射至反射零点4时，偏移距离为0，当反射光线照射至其他光敏传感器(也即反射偏移点所在光敏传感器)的位置时，偏移距离则是其他相应的值，进而根据该偏移距离可以计算出光机模组需要调整的角度。

其中，在计算光机模组需要调整的角度时，可以通过以下公式来计算：

θ＝arctan(x/L)，式中，θ为光机模组的调整角度，x为偏移距离，L为第一次反射位置(也即半透半反镜2上的反射位置)到最终反射零点4的距离。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

需要说明的是，在本发明中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本发明的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种平行度调节装置，其特征在于，其包括：

基体(1)，所述基体(1)设有半透半反镜(2)和反射镜(8)，所述反射镜(8)位于所述半透半反镜(2)的反射光路上；所述基体(1)于所述半透半反镜(2)透射的一侧设置有透射零点(3)，并于所述半透半反镜(2)反射的一侧设置有反射零点(4)；

当光机模组发出的入射光线照射至所述半透半反镜(2)时，通过调节所述平行度调节装置的位置，使透射光线移动至所述透射零点(3)，并根据反射光线经所述反射镜(8)后与所述反射零点(4)之间的偏移距离，调整光机模组的角度使光机模组与载物平台平行。

2.如权利要求1所述的平行度调节装置，其特征在于：

所述基体(1)上设有间隔设置的多个所述反射镜(8)，自所述半透半反镜(2)反射出的光线依次经多个所述反射镜(8)反射后照射至所述反射零点(4)附近。

3.如权利要求1所述的平行度调节装置，其特征在于：

当反射光线经所述反射镜(8)照射至所述反射零点(4)时，所述光机模组与所述载物平台平行；

当反射光线经所述反射镜(8)照射至所述反射零点(4)周围的其他位置时，通过所述半透半反镜(2)上的反射位置到所述反射零点(4)之间的距离以及所述偏移距离，计算所述光机模组的调整角度。

4.如权利要求1所述的平行度调节装置，其特征在于：

所述基体(1)于所述反射零点(4)的周围排列有多个反射偏移点，每个所述反射偏移点上标注有刻度，当反射光线照射至其中一个所述反射偏移点时，通过该反射偏移点对应的刻度值计算所述光机模组的调整角度。

5.如权利要求4所述的平行度调节装置，其特征在于：

所述透射零点(3)、所述反射零点(4)以及所述反射偏移点的位置均设置有光敏传感器。

6.如权利要求1所述的平行度调节装置，其特征在于：

所述基体(1)上设置有标定板(5)，所述标定板(5)设置有两个标定面，其中一个标定面设置于所述半透半反镜(2)透射的一侧，且该标定面上设置有所述透射零点(3)，另一个标定面设置于所述半透半反镜(2)反射的一侧，且该标定面上设置有所述反射零点(4)。

7.如权利要求1所述的平行度调节装置，其特征在于：

所述基体(1)上设置有至少两个标定板(5)，至少一个标定板设置于所述半透半反镜(2)透射的一侧，且该标定板(5)上设置有所述透射零点(3)，另一个标定板(5)设置于所述半透半反镜(2)反射的一侧，且该标定板(5)上设置有所述反射零点(4)。

8.如权利要求1所述的平行度调节装置，其特征在于：

所述基体(1)内设有空腔，所述半透半反镜(2)和所述反射镜(8)均设置于所述空腔内；

所述空腔于光线入射处贯穿所述基体(1)，并在所述基体(1)的贯穿处安装有透明板(6)以将所述空腔的内部密封，所述半透半反镜(2)相对于所述透明板(6)倾斜布置；

所述平行度调节装置还包括透镜，所述透镜安装于所述透明板(6)。

9.一种光学检测设备，其特征在于，其包括：

载物平台，所述载物平台上设置有如权利要求1-8任一项所述的平行度调节装置。

10.如权利要求9所述的光学检测设备，其特征在于：

基体(1)上设置有标定板(5)，透射零点(3)和反射零点(4)均设置于所述标定板(5)，所述标定板(5)于所述反射零点(4)的周围还设置有多个反射偏移点，所述透射零点(3)、所述反射零点(4)以及所述反射偏移点的位置均设置有光敏传感器；

所述光学检测设备还包括控制器，所述控制器与所述光敏传感器信号连接，所述控制器用于根据所述光敏传感器的信号获取反射光线与所述反射零点(4)之间的偏移距离，并基于所述偏移距离算出光机模组的调整角度。