KR960029488A - 원통형 마그네트론 차폐 구조물 및 침착 방법 - Google Patents

원통형 마그네트론 차폐 구조물 및 침착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판상에 필름을 침착하기 위한 스퍼터링 장치에 사용하는 차폐 구조물에 관한 것이다. 원통형 스퍼터링 타겟의 단부 위로 연장하는 원통형 차폐 구조물은 차폐부의 외부면 둘레를 연장하는 적어도 하나의 환형 구조물을 갖는다. 환형 구조물은 외부면을 가로질러 이동하는 아크의 이동을 차단 또는 억제하기 위한 크기를 갖는다. 양호한 실시예에서, 환형 구조물은 아크를 내부에서 차단하여 탈출하는 것이 방지될 수 있는 홈이다. 또다른 양호한 실시예에서, 차폐 구조물은 양극화 하는것이 방지되도록 전기적으로 절연된다. 이에 의하면, 전기적으로 절연된 차폐 구조물은 구조물과 음극 타겟 사이의 아크 생성을 억제한다. 또한, 아크 억제환형 구조물에 의하면, 전기적으로 절연된 차폐 구조물은 지지 블럭, 진공실 또는 다른 양극을 향하여 차폐부표면을 가로질러 이동하는 아크의 이동을 억제한다.

Description

원통형 마그네트론 차폐 구조물 및 침착 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 원통형 스퍼터링 타겟 마그네트론의 사시도, 제2도는 본 발명에 따른 제1도의 타겟 조립체의 일부 단면도, 제3도는 본 발명에 따른 제1도의 타겟 조립체의 일부를 분해 도시하는 등척도.

Claims (11)

  1. 진공실 내부의 가스 분위기에서, 각각의 지지불럭(16, 18)에 의하여 대향 단부(42,44)에서 회전가능하게 지지되는 원통형 타겟(14)으로부터 재료를 스퍼터링하여 기판(22)상에 필름을 침착하는 장치(10)로서, 상기 타겟은 타겟의 길이를 따라 연장하는 스퍼터링 영역을 설정하기 위하여 내부에 비회전식으로 유지되는 자석을 구비하여, 상기 장치는 타겟과 전기 연통하는 전원 공급부(36)와, 적어도 하나의 지지 블럭에 의하여 지지되고 또한 그 사이의 공간(50)과 관련된 적어도 하나의 타겟 단부위를 연장하는 적어도 하나의 원통형 차폐 구조물(38 및/또는 40)을 구비하며, 상기 차폐 구조물은 외부면(62)둘레를 연장하는 적어도 하나의 환형 구조물(52)을 구비하며, 상기 적어도 하나의 환형 구조물은 외부면을 가로질러 이동하는 아크(56)의 이동을 차단할 수 있는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 환형 구조물은 환형 구조물의 인접부에서 발생하는 플라즈마 생성을 차단할 수 있는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 적어도 하나의 환형 구조물은 진공실 내부의 가스 평균 자유통로의 절반보다 작고 아크의 폭(D)보다 큰 폭(B,B´,B˝ 또는 B˝´)을 가지며, 상기 환형 구조물은 반경방향 연장부(C,C´,C˝또는 C˝´)가 환형 구조물의 폭보다 크도록 외부면에 대하여 반경방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 환형 구조물은 거의 직사각형이며, 상기 환형 구조물의 폭(B 또는 B´)과 반경방향 연장부(C 또는 C´)는 직사각형의 인접 측변을 형성하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 환형 구조물은 거의 삼각형이며, 상기 환형 구조물의 폭(B˝ 또는 B´˝)은 삼각형의 밑변을 형성하고 상기 반경방향 연장부(C˝ 또는 C´˝)는 삼각형의 높이를 형성하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 환형 구조물은 홈이며, 상기 반경방향 연장부(C´ 또는 C´˝)를 외부면에 대하여 내부로 향하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 환형 구조물은 릿지이며, 상기 반경방향 연장부(C´ 또는 C´˝)를 외부면에 대하여 외부로 향하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 차폐 구조물은 적어도 하나의 지지 블럭의 전위 또는 접지 전위와 전기적으로 절연되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 상기 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 원통형 차폐 구조물은 지지 블럭 각각에 의하여 지지되는 원통형 단일 차폐부를 구비하며, 상기 단일 차폐부는 스퍼터링 영역의 외부에 위치하는 타겟의 원주변 일부 둘레를 연장하며 적어도 스퍼터링 영역만큼 큰 개구를 가지며, 상기 개구는 스퍼터링 영역 내부에 위치하는 원주변 일부 둘레를 연장하며 타겟의 대향 단부간의 거리 보다 작은 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 원통형 차폐 구조물은 제1 및 제2지지 블럭에 의하여 각각 지지되는 제1 및 제2원통형 차폐부(38,40)를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 상기 타겟은 타겟의 길이를 따라 연장하는 스퍼터링 영역을 설정하기 위하여 내부에 비회전식으로 유지되는 자석을 구비하며, 상기 장치(10)는 타겟과 전기 연통하는 전원 공급부(36)와, 적어도 하나의 지지 블럭에 의하여 지지되고 또한 그 사이의 공간(50)과 관련된 적어도 하나의 타겟 단부위를 연장하는 적어도 하나의 원통형 차폐 구조물(38 및/또는 40)을 구비하며, 진공실과 내부의 가스 분위기를 갖는 장치에서, 각각의 지지블럭(16,18)에 의하여 대향 단부(42,44)에서 회전가능하게 지지되는 원통형 타겟(14)으로 부터 재료를 스퍼터링하여 기판상에 유전체 또는 절연필름을 침착하는 방법에 있어서, 상기 차폐 구조물은 외부면(62)을 가로질러 이동하는 어떠한 아크(56)의 이동도 적어도 하나의 환형 구조물(52)을 이용하여 차단하는 단계를 포함하며, 상기 적어도 하나의 환형 구조물은 외부면을 둘레를 연장하며 상기 아크의 이동을 차단할 수 있는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 침착 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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