JP2693960B2 - マグネトロンスパッタリングカソード装置 - Google Patents
マグネトロンスパッタリングカソード装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 （１） 発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、マグネトロンスパッタリングカソード装置
に関し、特にターゲットを回転駆動するための駆動部材
を分解することなく、ターゲットの交換を実行できるマ
グネトロンスパッタリングカソード装置に関するもので
ある。
に関し、特にターゲットを回転駆動するための駆動部材
を分解することなく、ターゲットの交換を実行できるマ
グネトロンスパッタリングカソード装置に関するもので
ある。
［従来の技術］ 従来この種のマグネトロンスパッタリングカソード装
置としては、ターゲットの回転駆動軸をその両端部でハ
ウジングに保持せしめるものが提案されていた。
置としては、ターゲットの回転駆動軸をその両端部でハ
ウジングに保持せしめるものが提案されていた。
［解決すべき問題点］ しかしながらこれでは、ターゲットの交換に際し、ハ
ウジング内に収容された駆動部材を分解し再び組み立て
なければならず、ターゲットの交換作業が煩雑化しかつ
長時間を要する欠点があった。
ウジング内に収容された駆動部材を分解し再び組み立て
なければならず、ターゲットの交換作業が煩雑化しかつ
長時間を要する欠点があった。
そこで本発明は、この欠点を解決するために、ターゲ
ットを回転駆動するための駆動部材を分解することなく
ターゲットの交換を実行できるマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置を提供せんとするものである。
ットを回転駆動するための駆動部材を分解することなく
ターゲットの交換を実行できるマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置を提供せんとするものである。
（２） 発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の解決手段は、 「（ａ） 真空槽周壁の内面に対して配置された中空の
保持部材と、 （ｂ） 前記保持部材に対し一端部が保持されており、
かつ他端部が前記保持部材の内部から真空槽内へ延長さ
れたマグネット保持用パイプと、 （ｃ） 前記マグネット保持用パイプの周面に配置され
たマグネットと、 （ｄ） 前記マグネット保持用パイプの他端部に配置さ
れたハブ部材に対し一端部が固定されており、前記マグ
ネットを包囲するターゲットと、 （ｅ） 前記ターゲットの他端部に固定されており、前
記マグネット保持用パイプにそって前記保持部材の内部
へ延長された他のハブ部材と、 （ｆ） 前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材
と、 （ｇ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
マグネット保持用パイプに対し連通された冷却水供給管
と、 （ｈ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
保持部材の内部空間に対し連通された冷却水排水管と、 （ｉ） 前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられ
た負電圧を前記ターゲットに供給するブラシ部材と を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置」 である。
保持部材と、 （ｂ） 前記保持部材に対し一端部が保持されており、
かつ他端部が前記保持部材の内部から真空槽内へ延長さ
れたマグネット保持用パイプと、 （ｃ） 前記マグネット保持用パイプの周面に配置され
たマグネットと、 （ｄ） 前記マグネット保持用パイプの他端部に配置さ
れたハブ部材に対し一端部が固定されており、前記マグ
ネットを包囲するターゲットと、 （ｅ） 前記ターゲットの他端部に固定されており、前
記マグネット保持用パイプにそって前記保持部材の内部
へ延長された他のハブ部材と、 （ｆ） 前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材
と、 （ｇ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
マグネット保持用パイプに対し連通された冷却水供給管
と、 （ｈ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
保持部材の内部空間に対し連通された冷却水排水管と、 （ｉ） 前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられ
た負電圧を前記ターゲットに供給するブラシ部材と を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置」 である。
［作用］ 本発明にかかるマグネトロンスパッタリングカソード
装置は、真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保
持部材によってマグネット保持用パイプの一端部を保持
し、かつマグネット保持用パイプに保持されたマグネッ
トを包囲するように配設されたターゲットを固定するハ
ブ部材に連結された駆動部材をその保持部材内に収容し
ているので、（ｉ）ハブ部材から固定手段を取り外すの
みでターゲットを取り外すことを可能とする作用をな
し、ひいては（ii）ターゲットの交換作業を簡潔化ない
し迅速化する作用をなし、併せて（iii）マグネット保
持用パイプを冷却水の循環路として利用でき、ターゲッ
トの内周面の全域をターゲットの延長方向に左右される
ことなく全体として冷却可能とする作用をなす。
装置は、真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保
持部材によってマグネット保持用パイプの一端部を保持
し、かつマグネット保持用パイプに保持されたマグネッ
トを包囲するように配設されたターゲットを固定するハ
ブ部材に連結された駆動部材をその保持部材内に収容し
ているので、（ｉ）ハブ部材から固定手段を取り外すの
みでターゲットを取り外すことを可能とする作用をな
し、ひいては（ii）ターゲットの交換作業を簡潔化ない
し迅速化する作用をなし、併せて（iii）マグネット保
持用パイプを冷却水の循環路として利用でき、ターゲッ
トの内周面の全域をターゲットの延長方向に左右される
ことなく全体として冷却可能とする作用をなす。
［実施例］ 次に本発明について、添付図面を参照しつつ具体的に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明にかかるマグネトロンスパッタリン
グカソード装置の一実施例を示す断面図である。
グカソード装置の一実施例を示す断面図である。
まず本発明にかかるマグネトロンスパッタリングカソ
ード装置の一実施例について、その構成を詳細に説明す
る。
ード装置の一実施例について、その構成を詳細に説明す
る。
10は本発明にかかるマグネトロンスパッタリングカソ
ード装置であって、マグネトロン装置の真空槽周壁12の
内面に対し、電気絶縁板14を介して取り付けられた中空
の保持部材16を包有している。保持部材16には、その一
端部開口16aを閉鎖するよう、マグネット保持用パイプ1
8の一端部18aを保持するための保持板20が取り付けられ
ている。マグネット保持用パイプ18は、保持部材16の内
部空間を延長されたのち、その他端部開口16bから外方
すなわち真空槽12A内へ延長されている。
ード装置であって、マグネトロン装置の真空槽周壁12の
内面に対し、電気絶縁板14を介して取り付けられた中空
の保持部材16を包有している。保持部材16には、その一
端部開口16aを閉鎖するよう、マグネット保持用パイプ1
8の一端部18aを保持するための保持板20が取り付けられ
ている。マグネット保持用パイプ18は、保持部材16の内
部空間を延長されたのち、その他端部開口16bから外方
すなわち真空槽12A内へ延長されている。
マグネット保持用パイプ18の周面には、保持部材16の
外側において、マグネット22が装着されている。マグネ
ット22の周面には、適度の間隔をおいて筒状などの適宜
の形状のターゲット24が配置されている。ターゲット24
の一端部24aは、マグネット保持用パイプ18の延長方向
に配置されたネジ部材26によってハブ部材28に対し固着
されている。ハブ部材28は、支承部材30を介してマグネ
ット保持用パイプ18の他端部18bに対し支承されてい
る。ターゲット24の他端部24bは、マグネット保持用パ
イプ18の延長方向に向けて配置された他のネジ部材32に
よってハブ部材34に対し固着されている。
外側において、マグネット22が装着されている。マグネ
ット22の周面には、適度の間隔をおいて筒状などの適宜
の形状のターゲット24が配置されている。ターゲット24
の一端部24aは、マグネット保持用パイプ18の延長方向
に配置されたネジ部材26によってハブ部材28に対し固着
されている。ハブ部材28は、支承部材30を介してマグネ
ット保持用パイプ18の他端部18bに対し支承されてい
る。ターゲット24の他端部24bは、マグネット保持用パ
イプ18の延長方向に向けて配置された他のネジ部材32に
よってハブ部材34に対し固着されている。
ハブ部材34は、マグネット保持用パイプ18にそって保
持部材16の内部延長されており、支承部材36,37を介し
てその内部空間に保持されている。ハブ部材34の端部に
は、ウォームホィール38がネジ部材など（図示せず）に
よって固着されている。
持部材16の内部延長されており、支承部材36,37を介し
てその内部空間に保持されている。ハブ部材34の端部に
は、ウォームホィール38がネジ部材など（図示せず）に
よって固着されている。
ウォームホィール38の内周面は、マグネット保持用パ
イプ18の周面との間に適度の距離をおいて対向されてい
る。ウォームホィール38は真空槽周壁12,電気絶縁板14
および保持部材16を貫通して保持部材16の内部空間まで
延長されたウォームシャフト40の先端部に配設されたウ
ォーム（図示せず）に対し噛み合わされている。
イプ18の周面との間に適度の距離をおいて対向されてい
る。ウォームホィール38は真空槽周壁12,電気絶縁板14
および保持部材16を貫通して保持部材16の内部空間まで
延長されたウォームシャフト40の先端部に配設されたウ
ォーム（図示せず）に対し噛み合わされている。
42は冷却水排水管であって、ウォームシャフト40を包
囲しつつ、真空槽周壁12に、電気絶縁板14および保持部
材16を貫通して保持部材16の内部空間まで延長されてい
る。冷却水排水管42と真空槽周壁12との間には、電気絶
縁体（図示せず）が配置されている。
囲しつつ、真空槽周壁12に、電気絶縁板14および保持部
材16を貫通して保持部材16の内部空間まで延長されてい
る。冷却水排水管42と真空槽周壁12との間には、電気絶
縁体（図示せず）が配置されている。
44は冷却水供給管であって、真空槽周壁12,電気絶縁
板14および保持部材16を貫通して保持部材16の内部空間
まで延長されたのち、その先端部がマグネット保持用パ
イプ18に対して連通されている。冷却水供給管44と真空
槽周壁12との間には、電気絶縁体46が配置されている。
板14および保持部材16を貫通して保持部材16の内部空間
まで延長されたのち、その先端部がマグネット保持用パ
イプ18に対して連通されている。冷却水供給管44と真空
槽周壁12との間には、電気絶縁体46が配置されている。
48は排気管であって、真空槽周壁12,電気絶縁板14お
よび保持部材16を貫通して真空槽の内部空間12Aまで延
長されている。排気管48と真空槽周壁12との間には、電
気絶縁体50が配置されている。排気管48は、負電圧供給
線としても利用されており、保持部材16に取り付けら
れ、かつターゲット24の周面に当接されたブラシ部材52
を介してターゲット24の周面に対し負電圧を供給してい
る。
よび保持部材16を貫通して真空槽の内部空間12Aまで延
長されている。排気管48と真空槽周壁12との間には、電
気絶縁体50が配置されている。排気管48は、負電圧供給
線としても利用されており、保持部材16に取り付けら
れ、かつターゲット24の周面に当接されたブラシ部材52
を介してターゲット24の周面に対し負電圧を供給してい
る。
54はターゲット24の周面に配置されたシールド部材で
あって、真空槽周壁12の内面に対しブラケット56によっ
て保持されており、適宜の手段により正電圧が供給され
ている被加工部材58に対向する部分のみが開口にされて
いる。
あって、真空槽周壁12の内面に対しブラケット56によっ
て保持されており、適宜の手段により正電圧が供給され
ている被加工部材58に対向する部分のみが開口にされて
いる。
60は保持部材16の周囲に配置されたシールド部材であ
って、真空槽周壁12の内面に対して適宜の手段によって
取り付けられており、保持部材16の異常放電を防止して
いる。
って、真空槽周壁12の内面に対して適宜の手段によって
取り付けられており、保持部材16の異常放電を防止して
いる。
更に本発明にかかるマグネトロンスパッタリングカソ
ード装置の一実施例について、その作用を詳細に説明す
る。
ード装置の一実施例について、その作用を詳細に説明す
る。
（スパッタリング動作） 排気ポンプ（図示せず）により真空槽の内部空間12A
内を排気し、所定の真空度とする。
内を排気し、所定の真空度とする。
真空槽の内部空間12A内が所定の真空度となったの
ち、排気管48を介して保持部材16内の支承部材36,37間
を排気し、次いで冷却水供給管44を介して冷却水をマグ
ネット保持用パイプ18に供給する。冷却水は、マグネッ
ト保持用パイプ18内を矢印方向に移動したのち、他端部
18bの周面に形成されたの開孔19からハブ部材34の内面
へ移動する。そののち冷却水は、ターゲット24の内面画
にそって矢印方向に移動し、ハブ部材34の内面に到達す
る。
ち、排気管48を介して保持部材16内の支承部材36,37間
を排気し、次いで冷却水供給管44を介して冷却水をマグ
ネット保持用パイプ18に供給する。冷却水は、マグネッ
ト保持用パイプ18内を矢印方向に移動したのち、他端部
18bの周面に形成されたの開孔19からハブ部材34の内面
へ移動する。そののち冷却水は、ターゲット24の内面画
にそって矢印方向に移動し、ハブ部材34の内面に到達す
る。
ハブ部材34に到達した冷却水は、ハブ部材34の内周面
とマグネット保持用パイプ18の周面との間の空間を矢印
方向に移動し、保持部材16の内部空間へ到達する。更に
冷却水は、冷却水排出管42を介して真空槽の外部に排出
される。
とマグネット保持用パイプ18の周面との間の空間を矢印
方向に移動し、保持部材16の内部空間へ到達する。更に
冷却水は、冷却水排出管42を介して真空槽の外部に排出
される。
ターゲット24の内周面への冷却水の供給に並行して、
ウォームシャフト40が真空槽の外部に配置された適宜の
駆動装置（図示せず）によって回転され始める。これに
よりウォームホィール38が、マグネット保持用パイプ18
を中心として回転され始める。ウォームホイール18には
ハブ部材34が連結されているので、ターゲット24がマグ
ネット保持用パイプ18を中心としてマグネット22の周囲
を回転され始める。
ウォームシャフト40が真空槽の外部に配置された適宜の
駆動装置（図示せず）によって回転され始める。これに
よりウォームホィール38が、マグネット保持用パイプ18
を中心として回転され始める。ウォームホイール18には
ハブ部材34が連結されているので、ターゲット24がマグ
ネット保持用パイプ18を中心としてマグネット22の周囲
を回転され始める。
更に、排気管48,保持部材16およびブラシ部材52を介
してターゲット24の周面に負電圧が供給され、また被加
工部材58に適宜の手段（図示せず）を介して正電圧が供
給される。
してターゲット24の周面に負電圧が供給され、また被加
工部材58に適宜の手段（図示せず）を介して正電圧が供
給される。
以上によりターゲット24の周面から被加工部材58の表
面に向け、シールド部材54の開口を介して矢印の如くス
パッタリングが開始される。
面に向け、シールド部材54の開口を介して矢印の如くス
パッタリングが開始される。
（ターゲット交換動作） シールド部材54、60を取り外したのち、保持部材16の
側面16Aにそってドライバ（図示せず）を挿入し、ター
ゲット24を回転せしめつつ、ネジ部材32を順次取り外
す。ネジ部材32を取り外し終えたのち、マグネット保持
用パイプ18にそってターゲット24を移動してネジ部材34
およびマグネット保持用パイプ18から取り外す。更にネ
ジ部材26を取り外し、ターゲット24からハブ部材28を取
り外す。
側面16Aにそってドライバ（図示せず）を挿入し、ター
ゲット24を回転せしめつつ、ネジ部材32を順次取り外
す。ネジ部材32を取り外し終えたのち、マグネット保持
用パイプ18にそってターゲット24を移動してネジ部材34
およびマグネット保持用パイプ18から取り外す。更にネ
ジ部材26を取り外し、ターゲット24からハブ部材28を取
り外す。
そののちターゲット24を新たなターゲット24と交換
し、上述とは逆の手順で当初の状態（すなわち第１図に
図示した状態）に組み立てる。
し、上述とは逆の手順で当初の状態（すなわち第１図に
図示した状態）に組み立てる。
なお上述においては、ターゲット24をハブ部材26,34
に取り付ける手段としてネジ部材26,32を採用している
が、本発明は、これれに限定されるものではなく、他の
所望の取付手段を採用してもよい。
に取り付ける手段としてネジ部材26,32を採用している
が、本発明は、これれに限定されるものではなく、他の
所望の取付手段を採用してもよい。
（３） 発明の効果 上述より明らかなように本発明にかかるマグネトロン
スパッタリングカソード装置は、 （ａ） 真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保
持部材と、 （ｂ） 前記保持部材に対し一端部が保持されており、
かつ他端部が前記保持部材の内部から真空槽内へ延長さ
れたマグネット保持用パイプと、 （ｃ） 前記マグネット保持用パイプの周面に配置され
たマグネットと、 （ｄ） 前記マグネット保持用パイプの他端部に配置さ
れたハブ部材に対し一端部が固定されており、前記マグ
ネットを包囲するターゲットと、 （ｅ） 前記ターゲットの他端部に固定されており、前
記マグネット保持用パイプにそって前記保持部材の内部
へ延長された他のハブ部材と、 （ｆ） 前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材
と、 （ｇ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
マグネット保持用パイプに対し連通された冷却水供給管
と、 （ｈ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
保持部材の内部空間に対し連通された冷却水供給管と、 （ｉ） 前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられ
た負電圧を前記ターゲットに供給するブラシ部材と を備えているので、 （ｉ） 保持部材ないし保持部材内に配置された駆動部
材を分解することなく、他のハブ部材から取付手段を取
り外すのみでターゲットを分解できる効果 を有し、ひいては （ii） ターゲットの交換作業を簡潔化ないし迅速化で
きる効果 を有し、併せて、 （iii） マグネット保持用パイプを冷却水の循環路と
して利用でき、ターゲットの内周面の全域をターゲット
の延長方向に左右されることなく全体として冷却可能と
できる効果 を有する。
スパッタリングカソード装置は、 （ａ） 真空槽周壁の内面に対して配置された中空の保
持部材と、 （ｂ） 前記保持部材に対し一端部が保持されており、
かつ他端部が前記保持部材の内部から真空槽内へ延長さ
れたマグネット保持用パイプと、 （ｃ） 前記マグネット保持用パイプの周面に配置され
たマグネットと、 （ｄ） 前記マグネット保持用パイプの他端部に配置さ
れたハブ部材に対し一端部が固定されており、前記マグ
ネットを包囲するターゲットと、 （ｅ） 前記ターゲットの他端部に固定されており、前
記マグネット保持用パイプにそって前記保持部材の内部
へ延長された他のハブ部材と、 （ｆ） 前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材
と、 （ｇ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
マグネット保持用パイプに対し連通された冷却水供給管
と、 （ｈ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
保持部材の内部空間に対し連通された冷却水供給管と、 （ｉ） 前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられ
た負電圧を前記ターゲットに供給するブラシ部材と を備えているので、 （ｉ） 保持部材ないし保持部材内に配置された駆動部
材を分解することなく、他のハブ部材から取付手段を取
り外すのみでターゲットを分解できる効果 を有し、ひいては （ii） ターゲットの交換作業を簡潔化ないし迅速化で
きる効果 を有し、併せて、 （iii） マグネット保持用パイプを冷却水の循環路と
して利用でき、ターゲットの内周面の全域をターゲット
の延長方向に左右されることなく全体として冷却可能と
できる効果 を有する。
第１図は、本発明にかかるマグネトロンスパッタリング
カソード装置の一実施例を示す断面図である。10 ……マグネトロンスパッタリングカソード装置 12……真空槽周壁 14……電気絶縁板 16……保持部材 16a……一端部開口 16b……他端部開口 18……マグネット保持用パイプ 20……保持板 22……マグネット 24……ターゲット 26……ネジ部材 28……ハブ部材 30……支承部材 32……ネジ部材 34……ハブ部材 36,37……支承部材 38……ウォームホィール 40……ウォームシャフト 42……冷却水排水管 44……冷却水供給管 46……電気絶縁体 48……排気管 50……電気絶縁体 52……ブラシ部材 54……シールド部材 56……ブラケット 58……被加工部材 60……シールド部材
カソード装置の一実施例を示す断面図である。10 ……マグネトロンスパッタリングカソード装置 12……真空槽周壁 14……電気絶縁板 16……保持部材 16a……一端部開口 16b……他端部開口 18……マグネット保持用パイプ 20……保持板 22……マグネット 24……ターゲット 26……ネジ部材 28……ハブ部材 30……支承部材 32……ネジ部材 34……ハブ部材 36,37……支承部材 38……ウォームホィール 40……ウォームシャフト 42……冷却水排水管 44……冷却水供給管 46……電気絶縁体 48……排気管 50……電気絶縁体 52……ブラシ部材 54……シールド部材 56……ブラケット 58……被加工部材 60……シールド部材
Claims (1)
- 【請求項１】（ａ） 真空層周壁の内面に対して配置さ
れた中空の保持部材と、 （ｂ） 前記保持部材に対し一端部が保持されており、
かつ他端部が前記保持部材の内部から真空槽内へ延長さ
れたマグネット保持用パイプと、 （ｃ） 前記マグネット保持用パイプの周面に配置され
たマグネットと、 （ｄ） 前記マグネット保持用パイプの他端部に配置さ
れたハブ部材に対し一端部が固定されており、前記マグ
ネットを包囲するターゲットと、 （ｅ） 前記ターゲットの他端部に固定されており、前
記マグネット保持用パイプにそって前記保持部材の内部
へ延長された他のハブ部材と、 （ｆ） 前記他のハブ部材に対し連結された駆動部材
と、 （ｇ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
マグネット保持用パイプに対し、連通された冷却水供給
管と、 （ｈ） 前記真空槽周壁および保持部材を貫通して前記
保持部材の内部空間に対し連通された冷却水排水管と、 （ｉ） 前記真空槽周壁を貫通して保持部材に与えられ
た負電圧を前記ターゲットに供給するブラシ部材と を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタリ
ングカソード装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4153188A JP2693960B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | マグネトロンスパッタリングカソード装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4153188A JP2693960B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | マグネトロンスパッタリングカソード装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01215975A JPH01215975A (ja) | 1989-08-29 |
| JP2693960B2 true JP2693960B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=12610994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4153188A Expired - Fee Related JP2693960B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | マグネトロンスパッタリングカソード装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2693960B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5427665A (en) * | 1990-07-11 | 1995-06-27 | Leybold Aktiengesellschaft | Process and apparatus for reactive coating of a substrate |
| WO1992002659A1 (en) * | 1990-08-10 | 1992-02-20 | Viratec Thin Films, Inc. | Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems |
| JPH08506855A (ja) * | 1993-01-15 | 1996-07-23 | ザ ビーオーシー グループ インコーポレイテッド | 円筒形マグネトロンのシールド構造 |
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1988
- 1988-02-24 JP JP4153188A patent/JP2693960B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH01215975A (ja) | 1989-08-29 |
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