KR960026324A - 반도체 장치의 패드 세정 방법 - Google Patents
반도체 장치의 패드 세정 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 패키지 제조 공정에서 외부 회로와 연결하기 위해 사용되는 페드의 세정 방법에 관한 것으로서, 특히 탈이온수로 패드 표면을 세정하여 불소 성분의 제거 및 균일한 산화알루미늄을 형성함으로써 금속 배선막을 부식을 방지할 수 있는 패드 세정 방법에 관한 것으로서, 금속 배선막이 부식을 방지할 수 있는 패드 세정 방법에 관한 것으로서,금속 배선막이 형성된 패드 상에 보호막을 형성한 후 소정의 감광막 패턴에 의해 보호막을 불소 성분의 가스로 제거한 후, 상기 감광막 패턴을 산소 성분의 가스로 제거한 다음 세정제로 불소 성분을 제거하나거, 또는 역으로 세정제로 불소 성분을 제거한 다음 상기 감광막 패턴을 산소 성분의 사스로 제거함으로써 알루미늄막에 수분 및 성장액의 침투가 방지되어 알루미늄막의 단선이나 외부 회로와 단락되는 현상을 막게 되어 결과적으로 제조 수율이 행상될 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제5도는 본 발명에 다른 패드 세정 방법의 공정을 순차적으로 설명하기 위한 단면도.
Claims (2)
- 금속 배선막이 형성된 패드 상에 보호막을 형성하는 단계, 소정의 감광막 패턴에 의해 보호막을 불소 성분의 가스로 제거하는 단계, 상기 감광막 패턴을 산소 성분의 가스로 제거한 다음 세정제로 불소 성분을 제거하거나, 또는 역으로 세정제로 불소 성분을 제거한 다음 상기 감광막 패턴을 산소 성분의 가스로 제거하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 패드 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 세정제는 탈이온수인 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 패드 세정 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940037795A KR960026324A (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 반도체 장치의 패드 세정 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940037795A KR960026324A (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 반도체 장치의 패드 세정 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960026324A true KR960026324A (ko) | 1996-07-22 |
Family
ID=66769744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940037795A KR960026324A (ko) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 반도체 장치의 패드 세정 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960026324A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474743B1 (ko) * | 2002-06-11 | 2005-03-10 | 동부아남반도체 주식회사 | 알루미늄 패드 표면의 플루오린 폴리머 제거 방법 |
| KR101026485B1 (ko) * | 2008-08-29 | 2011-04-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조방법 |
-
1994
- 1994-12-28 KR KR1019940037795A patent/KR960026324A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474743B1 (ko) * | 2002-06-11 | 2005-03-10 | 동부아남반도체 주식회사 | 알루미늄 패드 표면의 플루오린 폴리머 제거 방법 |
| KR101026485B1 (ko) * | 2008-08-29 | 2011-04-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조방법 |
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