KR960025372A - 교환결합막과 자기저항효과 소자 - Google Patents

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Abstract

교환결합막은, 적어도 한 부분이 면심입방정계 결정구조를 갖는 반강자성체막에 있어서, 강자성체막상에 적층된 반강자성체막과 강자성체막으로 이루어지고, 반강자성체막은, 2≤x≤80의 범위를 만족하는 원소%에 의한 값을 나타내는 x에 있어서, IrxMn100-x의 일반적인 조성비로 표시되는 IrMn합금으로 이루어진다.

Description

교환결합막과 자기저항효과 소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서 교환결합막의 종단면도, 제2도는 교환결합막의 자화(磁化) 곡선을 도시한 특성도, 제3도는 제1실시예에 있어서 교환결합막의 교환바이어스자계(Hua)의 IrMn합금 조성의존성을 도시한 도면.

Claims (35)

  1. 적어도 일부가 면심입방정계의 결정구조를 갖추고, 일반적인 조성비 IrxMn100-x(x가 2≤x≤80 범위를 만족하는 원자%)에 의해 표시되는 IrMn합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반강자성체막과, 이 반강자성체막과 적층 형성된 강자성체막을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  2. 제1항에 있어서, x가 5≤x≤40 범위를 만족시키는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  3. 제1항에 있어서, 상기 반강자성체막이 IrMn합금의 100원자%를 기초로 50원자% 이하의 비율로 Ni, Cu, Ta, Hf, Pd, Ti, Nb, Cr, Si, Al, W, Zr, Ga, Be, In, Sn, V, Mo, Re, Co, Ru, Rh, Pt, Ge, Os, Ag, Cd, Zn, Au, N으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 원소를 더 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  4. 제1항에 있어서, IrMn합금으로 이루어진 반강자성체막의 적어도 일부가 규칙상을 갖는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  5. 제1항에 있어서, 강자성체막과 반강자성체막이 Fe를 함유하는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  6. 제1항에 있어서, 상기 강자성체막이 면심입방정계 결정구조 또는 유방중심포장 결정구조를 가지는 Co 또는 Co합금인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  7. 제6항에 있어서, Co합금이 Pd를 더 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  8. 제1항에 있어서, 상기 강자성체막이 Fe 또는 Fe합금으로 이루어진 인터페이스를 통해 반강자성체막에 적층되는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  9. 일반적인 조성비 IrxMn100-x(x가 2≤x≤35와 60≤x≤80 범위를 둘다 만족하는 원자%)에 의해 표시되는 IrMn합금으로 이루어진 반강자성체막과, 이 반강자성체막과 적층 형성된 강자성체막을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  10. 제9항에 있어서, 상기 강자성체막의 적어도 일부가 면심입방정계 결정구조를 갖는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  11. 제9항에 있어서, x가 5≤x≤35의 범위를 모두 만족하는 값인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  12. 제9항에 있어서, 상기 반강자성체막이 IrMn합금의 100원자%를 기초로 50원자% 이하의 비율로 Ni, Cu, Ta, Hf, Pd, Ti, Nb, Cr, Si, Al, W, Zr, Ga, Be, In, Sn, V, Mo, Re, Co, Ru, Rh, Pt, Ge, Os, Ag, Cd, Zn, Au, N으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 원소를 더 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  13. 제9항에 있어서, IrMn합금으로 이루어진 반강자성체막의 적어도 일부가 규칙상을 갖는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  14. 제9항에 있어서, 강자성체막과 반강자성체막이 Fe를 함유하는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  15. 제9항에 있어서, 성기 강자성체막이 면심입방정계 결정구조 또는 유방중심포장 결정구조를 가지는 Co 또는 Co합금인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  16. 제15항에 있어서, Co합금이 Pd를 더 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  17. 제9항에 있어서, 상기 강자성체막이 Fe 또는 Fe합금으로 이루어진 인터페이스를 통해 반강자성체막에 적층되는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  18. 일반적인 조성비(Irx′Mn1-x′)100-yFe(x가 0.02≤x′≤0.08 범위를 만족하는 원자%, y가 0〈y〈30 범위를 만족하는 원자%)에 의해 표시되는 IrMn합금으로 이루어진 반강자성체막과, 이 반강자성체막과 적층 형성된 강자성체막을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  19. 제18항에 있어서, 반강자성체막의 적어도 일부가 면심입방정계 결정구조를 갖는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  20. 제18항에 있어서, x′가 0.05≤x′≤0.40의 범위를 만족하는 값인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  21. 제18항에 있어서, 상기 반강자성체막이 IrMn합금의 100원자%를 기초로 50원자% 이하의 비율로 Ni, Cu, Ta, Hf, Pd, Ti, Nb, Cr, Si, Al, W, Zr, Ga, Be, In, Sn, V, Mo, Re, Co, Ru, Rh, Pt, Ge, Os, Ag, Cd, Zn, Au, N으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 원소를 더 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  22. 제19항에 있어서, IrMn합금으로 이루어진 반강자성체막의 적어도 일부가 규칙상을 갖는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  23. 제18항에 있어서, 강자성체막이 Fe를 함유하는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  24. 제18항에 있어서, 상기 강자성체막이 면심입방정계 결정구조 또는 유방중심포장 결정구조를 가지는 Co 또는 Co합금인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  25. 제24항에 있어서, Co합금이 Pd를 더 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  26. 제18항에 있어서, 상기 강자성체막이 Fe 또는 Fe합금으로 이루어진 인터페이스를 통해 반강자성체막에 적층되는 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  27. 제1항에 있어서, 반강자성체막상에 적층된 강자성체막은, 제1강자성체층과 중간층으로서의 비자성층 및 제2강자성체층으로 이루어진 적층막인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  28. 제9항에 있어서, 반강자성체막상에 적층된 강자성체막은, 제1강자성층과 중간층으로서 비자성층 및 제2강자성체층으로 이루어진 적층막인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  29. 제18항에 있어서, 반강자성체막상에 적층된 강자성체막은, 제1강자성층과 중간층으로서 비자성층 및 제2강자성체층으로 이루어진 적층막인 것을 특징으로 하는 교환결합막.
  30. 제1항에 기재된 교환결합막과, 상기 교환결합막의 적어도 강자성체막으로 전류를 흘리기 위한 전극을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항효과 소자.
  31. 제9항에 기재된 교환결합막과, 상기 교환결합막의 적어도 강자성체막으로 전류를 흘리기 위한 전극을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항효과 소자.
  32. 제18항에 기재된 교환결합막과, 상기 교환결합막의 적어도 강자성체막으로 전류를 흘리기 위한 전극을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항효과 소자.
  33. 제27항에 기재된 교환결합막과, 상기 교환결합막의 적어도 강자성체막으로 전류를 흘리기 위한 전극을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항효과 소자.
  34. 제28항에 기재된 교환결합막과, 상기 교환결합막의 적어도 강자성체막으로 전류를 흘리기 위한 전극을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항효과 소자.
  35. 제29항에 기재된 교환결합막과, 상기 교환결합막의 적어도 강자성체막으로 전류를 흘리기 위한 전극을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기저항효과 소자.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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