KR960018595A - 웨이퍼 번인 소자 및 번인 테스트방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 번인 소자 및 번인 테스트방법에 관한 것으로, 웨이퍼상태에서 번인을 실시할 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 한개의 웨이퍼내에 복수개의 소자가 배열되고, 전압배선과 신호용 배선이 서로 교차되지 않으면서 상기 각각의 모든 소자에 연결되며, 상기 전압배선과 신호용 배선은 하나의 배선패드 및 신호용 패드에 각각 연결되며, 소자특성을 측정하기 위한 TEC패턴이 상, 하 소자사이의 공간에 형성되어 이루어지는 웨이퍼 번인소자에 고온을 가하고 높은 Vcc전압을 인가한 후, 상기 /RAS신호용 배선패드와 /CAS 및 /WE 신호용 배선패드를 통해 /CAS BEFORE /RAS신호를 소자에 인가하여 번인테스트를 실시함으로써 웨이퍼상태에서의 번인테스트를 가능하도록 하여 제품의 불량의 원인을 조기에 파악하여 수율 향상을 꾀할 수 있도록 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 번인 소자 구조도.
Claims (7)
- 한개의 웨이퍼내에 복수개의 소자가 배열되고, 전압배선과 신호용 배선이 서로 교차되지 않으면서 상기 각각의 모든 소자에 연결되며, 상기 전압배선과 신호용 배선은 하나의 배선패드 및 신호용 패드에 각각 연결되며, 소자특성을 측정하기 위한 TEG패턴이 상, 하 소자사이의 공간에 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 전압배선은 Vcc배선과 Vss배선으로 이루어지며, 상기 Vcc배선과 Vss배선은 서로 교차되지 않도록 반대방향에 형성된 Vcc배선패드 및 Vss배선패드에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 신호용 배선용 /RAS신호용 배선과 /CAS 및 /WE신호용 배선으로 이루어지며, 상기 /RAS신호용 배선과 상기 /CAS 및 /WE신호용 배선은 서로 교차되지 않도록 반대방향에 형성된 /RAS신호용 배선패드와 /CAS 및 /WE신호용 배선패드에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자.
- 제3항에 있어서, 여기서 /CAS신호용 배선과 /WE신호용 배선은 동일배선에 연결되어 동시에 동일한 신호가 소자에 인가되도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 신호용 배선가 진압배선은 각각 Al으로 형성되며, 서로 단차를 이루며 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자.
- 제1항에 있어서, 상기 전압배선과 신호용 배선 및 각 패드는 폴리실리콘을 이용하여 연결되며 스크라이브레인내에서 필요한 배선과 콘택으로 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자.
- 한개의 웨이퍼내에 복수개의 소자가 배열되고, 전압 배선과, 신호용 배선이 서로 교차되지 않으면서 상기 각각의 모든 소자에 연결되며, 상기 전압배선과 신호용 배선은 하나의 배선패드 및 신호용 패드에 각각 연결되며, 소자특성을 측정하기 의한 TEG패턴이 상, 하 소자사이의 공간에 형성되어 이루어진 웨이퍼 번인 소자에 고온을 기하고 높은 Vcc전압을 인가한 후, 상기 /RAS신호용 배선패드와 /CAS 및 /WE신호용 배선패드를 통해 /CAS BEFORE /RAS신호를 소자에 인가하여 번인테스트를 실시하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 소자의 번인 테스트방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940031016A KR960018595A (ko) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 웨이퍼 번인 소자 및 번인 테스트방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940031016A KR960018595A (ko) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 웨이퍼 번인 소자 및 번인 테스트방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960018595A true KR960018595A (ko) | 1996-06-17 |
Family
ID=66648798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940031016A KR960018595A (ko) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 웨이퍼 번인 소자 및 번인 테스트방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960018595A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR980005979A (ko) * | 1996-06-29 | 1998-03-30 | 김주용 | 반도체 웨이퍼 |
| KR19980053081A (ko) * | 1996-12-26 | 1998-09-25 | 김영환 | 반도체 소자의 제조방법 |
-
1994
- 1994-11-24 KR KR1019940031016A patent/KR960018595A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR980005979A (ko) * | 1996-06-29 | 1998-03-30 | 김주용 | 반도체 웨이퍼 |
| KR19980053081A (ko) * | 1996-12-26 | 1998-09-25 | 김영환 | 반도체 소자의 제조방법 |
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