KR960005635A - 자기 저항 물질 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 저항 물질, 즉 비자성 매트릭스 및 그 비자성 매트릭스에 분산된 Co 또는 Ni-Fe-Co와 같은 강자성 물질의 초미세 입자로 이루어진 비균질계인, 자기 저항성을 나타내는 전도성 물질에 관한 것이다. 자기 저항 효과의 열화를 경감시키기 위하여 Cu, Ag, Au 및 Pt 로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 금속 원소의 합금 또는 혼합물이 비자성 매트릭스 물질로서 사용된다. 필요에 따라, 비자성 매트릭스는 Al, Cr, In, Mn, Mo, Nb, Pd, Ta, W, V, Zr 및 Ir로 이루어진 군에서 선택된 제한된 양의 보충 원소를 함유할 수 있다. 자기 저항 막은 기판상에 형성될 수 있으며, 막과 기판 사이에 버퍼층을 삽입시키고 (또는) 보호층으로 막을 커버할 수도 있다.

Description

자기 저항 물질
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 제1도의 자기 저항 막을 보호층으로 커버한 것을 나타내는 도면.
제4도는 제2도의 자기 저항 막을 보호층으로 커버한 것을 나타내는 도면.

Claims (21)

  1. Cu, Ag, Au 및 Pt로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 금속 원소로 이루어진 전도성 비자성 물질의 매트릭스 및 그 비자성 매트릭스에 분산된 전도성 강자성 물질의 서브미크론 입자로 필수적으로 구성된 자기 저항 물질.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비자성 물질이 Al, Cr, In, Mn, Mo, Nb, Pd, Ta, Ti, W, V, Zr 및 Ir로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 보충 원소를 더 함유하되, 상기 1종 이상의 보충 원소의 총량이 10 원자% 이하인 자기 저항 물질.
  3. 제1항에 있어서, 상기 입자의 크기가 2 내지 30 nm인 자기 저항 물질.
  4. 제1항에 있어서, 상기 입자의 양이 자기 저항 물질의 10 내지 70 부피%인 자기 저항 물질.
  5. 제1항에 있어서, 상기 강자성 물질이 Co, Ni-Fe 합금, Ni-Fe-Co 합금 및 Fe-Co 합금으로 이루어진 군에서 선택된 자기 저항 물질.
  6. Cu, Ag, Au 및 Pt로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 금속 원소로 이루어진 전도성 비자성 물질의 매트릭스 및 그 비자성 매트릭스에 분산된 전도성 강자성 물질의 서브미크론 입자로 필수적으로 구성된 자기 저항 물질로 된, 기판상에 형성된 막인 자기 저항 막.
  7. 제6항에 있어서, Al, Cr, In, Mn, Mo, Nb, Pd, Ta, Ti, W, V, Zr 및 Ir로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 보충 원소를 더 함유하되, 상기 1종 이상의 보충 원소의 총량이 10 원자% 이하인 자기 저항 막.
  8. 제6항에 있어서, 상기 입자의 크기가 2 내지 30 nm인 자기 저항 막.
  9. 제6항에 있어서, 상기 입자의 양이 자기 저항 물질의 10 내지 70 부피%인 자기 저항 막.
  10. 제6항에 있어서, 상기 강자성 물질이 Co, Ni-Fe 합금, Ni-Fe-Co 합금 및 Fe-Co 합금으로 이루어진 군에서 선택된 자기 저항 막.
  11. 제6항에 있어서, 막이 상기 기판 상에 위치한 버퍼층 위에 놓인 자기 저항 막.
  12. 제11항에 있어서, Ta, Hf, Si, Au, Pt, Ag, Cu, Ti, Mn, Cr 및 Al, 및 그의 합금 및 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 금속 물질로 이루어진 자기 저항 막.
  13. 제11항에 있어서, 상기 버퍼층이 산화 규소, 질화 규소, 산화 알루미늄, 질화 알루미늄, 탄화 규소 및 탄소, 및 그의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 금속 물질로 이루어진 자기 저항 막.
  14. 제13항에 있어서, 상기 버퍼층이 Ta, Hf, Si, Au, Pt, Ag, Cu, Ti, Mn, Cr 및 Al, 및 그의 합금 및 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 금속 물질을 더 함유하는 자기 저항 막.
  15. 제14항에 있어서, 상기 버퍼층이 1종 이상의 금속층 및 1종 이상의 비금속층으로 이루어진 라미네이트 구조를 갖는 자기 저항 막.
  16. 제6항에 있어서, 막이 보호층으로 덮힌 자기 저항 막.
  17. 제16항에 있어서, 상기 보호층이 Ta, Hf, Si, Au, Pt, Ag, Ti, Cr 및 Al, 및 그의 합금 및 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 금속 물질로 이루어진 자기 저항 막.
  18. 제16항에 있어서, 상기 보호층이 산화 규소, 질화 규소, 산화 알루미늄, 질화 알루미늄, 탄화 규소 및 탄소, 및 그의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 비금속 물질로 이루어진 자기 저항 막.
  19. 제18항에 있어서, 상기 보호층이 Ta, Hf, Si, Au, Pt, Ag, Ti, Cr 및 Al, 및 그의 합금 및 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 금속 물질을 더 함유하는 자기 저항 막.
  20. 제19항에 있어서, 상기 보호층이 1종 이상의 금속층 및 1종 이상의 비금속층으로 이루어진 리미네이트 구조를 갖는 것인 자기 저항 막.
  21. 제16항에 있어서, 막이 상기 기판 상에 위치한 버퍼층 위에 놓인 자기 저항 막.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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