KR960002785A - 응용 주문형 집적회로 소자의 베이스 어레이 제조방법 - Google Patents
응용 주문형 집적회로 소자의 베이스 어레이 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 응용 주문형 집적회로 소자의 베이스 어레이 제조방법은, 소자분리 절연막의 게이트전극이 형성되어 있는 반도체기판상에 층간절연막을 형성하고, 상기 반도체기판의 콘택 가능한 부분들상의 층간절연막을 제거하여 콘택홀들을 형성하고, 상기 구조의 전표면에 금속층 및 금속층을 보호하기 위한 감광막을 도포하여 ASIC 소자의 베이스 어레이를 형성한 후, 보관하였으므로, 주문자의 주문에 따라 회로를 형성하기 위한 금속배선 공정이 간단하여 납기를 단축시키고, 공정수율을 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 응용 주문형 집적회로 소자의 베이스 어레이 평면도,
제5도는 제4도에서의 선 B-B´에 따른 단면도,
제6A도 내지 제6D도는 응용 주문형 집적회로 소자의 베이스 어레이의 제조 공정도.
Claims (1)
- 반도체기판상에 게이트산화막을 게이트전극을 형성하는 공정과, 상기 구조의 전표면에 층간절연막을 형성하는 공정과, 상기 반도체기판에서 콘택 가능한 부분상의 층간절연막을 제거하여 콘택홀을 형성하는 공정과, 상기 구조의 전표면에 금속층을 형성하여 상기 콘택홀을 통해 반도체 기판과 접촉시키는 공정과, 상기 금속층상에 감광막을 형성하여 소요자의 주문시까지 보관하는 공정을 구비하는 응용 주문형 집적회로 소자의 베이스 어레이 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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1994
- 1994-06-17 KR KR1019940013733A patent/KR100312477B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
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| KR100312477B1 (ko) | 2001-12-28 |
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