KR960002734A - 반도체 박막소자 - Google Patents

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KR960002734A
KR960002734A KR1019940013517A KR19940013517A KR960002734A KR 960002734 A KR960002734 A KR 960002734A KR 1019940013517 A KR1019940013517 A KR 1019940013517A KR 19940013517 A KR19940013517 A KR 19940013517A KR 960002734 A KR960002734 A KR 960002734A
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KR
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semiconductor thin
thin film
protective film
film device
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KR1019940013517A
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English (en)
Inventor
이동현
Original Assignee
문정환
금성일렉트론 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 박막소자에 관한 것으로, 종레 반도체 박막소자에 관한 것으로, 종레 반도체 박막소자의 보호막 코팅에 있어서, 동재질의 실리콘 산화막(SiO)나 실리콘 질화막(SiN

Description

반도체 박막소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명 반도체 박막소자의 개략적인 구조도,
제4도는 본 발명에 따른 보호막 형성도.

Claims (5)

  1. 보호막이 형성되는 반도체 박막 소자에 있어서, 상기 보호막을 적어도 하나 이상의 층으로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
  2. 제1항에 있어서, 보호막 각 층사이에 중간막이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
  3. 제1항에 있어서, 보호막 각 층의 막질은 동일한 프로퍼티스(Properties)를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
  4. 제1항에 있어서, 중간막은 보호막형성에 따른 공정 조건을 변화시킴에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
  5. 제2항 또는 제4항에 있어서, 중간막의 막질은 보호막 각 층과는 다른 프로퍼티스(Properties)를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940013517A 1994-06-15 1994-06-15 반도체 박막소자 KR960002734A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20200123332A (ko) * 2019-04-18 2020-10-29 청파제지 주식회사 복합 재료 티슈 접착장치

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