KR960002734A - 반도체 박막소자 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 박막소자에 관한 것으로, 종레 반도체 박막소자에 관한 것으로, 종레 반도체 박막소자의 보호막 코팅에 있어서, 동재질의 실리콘 산화막(SiO)나 실리콘 질화막(SiN
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명 반도체 박막소자의 개략적인 구조도,
제4도는 본 발명에 따른 보호막 형성도.
Claims (5)
- 보호막이 형성되는 반도체 박막 소자에 있어서, 상기 보호막을 적어도 하나 이상의 층으로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
- 제1항에 있어서, 보호막 각 층사이에 중간막이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
- 제1항에 있어서, 보호막 각 층의 막질은 동일한 프로퍼티스(Properties)를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
- 제1항에 있어서, 중간막은 보호막형성에 따른 공정 조건을 변화시킴에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.
- 제2항 또는 제4항에 있어서, 중간막의 막질은 보호막 각 층과는 다른 프로퍼티스(Properties)를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 박막소자.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940013517A KR960002734A (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 반도체 박막소자 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940013517A KR960002734A (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 반도체 박막소자 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960002734A true KR960002734A (ko) | 1996-01-26 |
Family
ID=66686204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940013517A KR960002734A (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 반도체 박막소자 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960002734A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200123332A (ko) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 청파제지 주식회사 | 복합 재료 티슈 접착장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS62224037A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-02 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体装置 |
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-
1994
- 1994-06-15 KR KR1019940013517A patent/KR960002734A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
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