KR950704679A - 투명물질검사방법 및 장치(Process and device for inspecting transparent material) - Google Patents

투명물질검사방법 및 장치(Process and device for inspecting transparent material) Download PDF

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Abstract

본 발명은 피검사투명물질(2)의 두께부위내에 포함된 결함부위(5)를 탐지하고 위치를 알아내기 위한 검사방법에 관한 것이며, 그 것은 대비기준으로서의 기능을 가지며 카메라(4)의 시야를 덮고 있는 물질(2)을 통한 투명성에 의해 피검사물질(2)의 너머에 카메라(4)와 상관되게 배치된 밝은 배경(7)을 균일하게 조명하는 배경조명단계와, 물질(2)의 표면상에 부착된 교란요소(11)로부터 물질(2)내에 포함된 결함부위들을 구별하기 위해 물질(2)의 표면을 옆쪽으로부터 조명하는 표면조명단계와, 물질(2)의 두께 부위를 재생하는 일련의 대비된 상들을 물질(2)의 표면에 대해 직각방향으로 배치된 카메라(4)에 의해 투명성의 관점에서 살펴보는 상관찰 단계 및, 물질(2)의 두께부위내에 포함된 결함부위(5)들을 탐지하고 위치를 알아내기 위해 물질의 두께에 비추어 물질(2)을 표현한 연속적인 상들에 의해 얻어진 정보를 처리하는 정보처리단계로 이루어진다.

Description

투명물질검사방법 및 장치(Process and device for inspecting transparent material)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 검사장치의 전체를 도시한 개요도이고, 제2도는 본 발명에 따른 장치의 한 실시예의 측면도이며, 제3도는 본 발명에 따른 장치의 상세도이고, 제4도는 광학적 선도이다.

Claims (9)

  1. 적어도 하나 이상의 광원에 대해 조명하고 적어도 하나 이상의 카메라(4)에 의해 물질(2)의 두께부위를 관찰함으로써 투명물질(2:transparent material)을 검사하는 방법에 있어서, 대비기준(contrast reference)으로서의 기능을 가지며 카메라(4)의 시야(the fiele of view)를 덮고 있는 물질(2)을 통한 투명성에 의해 피검사물질(2:the material to be viewed)의 너머에 카메라(4)와 상관되게 배치된 밟은 배경(7)을 균일하게 조명(illuminating)하는 배경조명단계와, 물질(2)의 표면상에 부착된 교란요소(11:parasitic elements)로부터 물질(2)내에 포함된 결함부위(defacts)들을 구별하기 위해 물질(2)의 표면을 옆쪽으로부터 조명하는 표면 조명 단계와, 물질(2)의 두께부위를 재생(reproducing)하는 일련의 대비된 상(a sequence of contrasted images)들을 물질(2)의 표면에 대해 직각방향으로 배치된 카메라(4)에 의해 투명성의 관점에서 살펴보는 상관찰단계 및 물질(2)의 두께부위내에 포함된 결함부위(5)들을 탐지하고 위치를 알아내기 위해 물질의 두께에 비추어 물질(2)을 표현한 연속적인 상(the successive images)들에 의해 얻어진 정보를 처리하는 정보처리단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 투명물질검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 카메라(4)의 시야에서 평평하고 비스듬한 광커텐(a plane and oblique light ourtain)을 형성하도록 물질(2)의 표면에 대해 경사지고 물질의 두께부위에서 물질(2)을 통과하는 레이저빔(13:a laser beam)에 의해 조명하는 레이저빔조명 단계와, 물질(2)의 연속적인 단면(successing sections of the material)들을 재생하는 일련의 대비된 상들을 카메라(4)에 의해 투명성의 관점에서 살펴보는 또다른 상관찰단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질 검사방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 카메라(4)에 의해 재구성된 상들에 의해 얻어진 정보를 처리하기 위한 것으로서, 대비기준으로서의 기능을 갖는 밝은 배경(7)으로부 물질(2)의 두께부위내에 포함된 결함부위(5)들에 대응하는 어두운 점(spots)들을 분리(separating)하는 점분리단계와, 상기에서 결함부위를 표현하는 픽셀(pixels)들의 좌표(X,Y)들을 결정하는 좌표결정단계와, 몇개의 이들에 걸쳐 얻어진 정보의 상관관계를 알아보는 정보대비단계, 및 연산기준으로서의 기능을 갖고 물질(2)의 두께부위를 표현한 빛의 획선(light strokes)들에 근거하여 레이저빔(13)에 의해 조명된 결함부위(5)들의 깊이를 연산하는 깊이연산단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질검사방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 물질(2)의 연속적인 단면들을 관찰하기 위한 것으로서, 고정된 탐지스테이션(1)의 아래의 수평면(XY)에서 물질(2)을 지지하는 이송기(31,32)상에서 물질(2)을 이동시키는 물질이동단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질검사방법.
  5. 제4항에 있어서, 투명물질(2)의 양측부상에 부착된 표면교란요소들을 관찰하기 위한 것으로서, 고정된 상기 탐지스테이션(1:제1탐지스테이션)에 대해 동일한 또 다른 탐지스테이션(제2탐지스테이션)을 거꾸로 연결하는 제2탐지스테이션 연결단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질검사방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 따른 투명 물질검사방법을 수행하기 위한 투명물질검사장치에 있어서, 피검사물질(2)의 두께부위내의 연속적인 단면들을 표현하는 일련의 상들을 관찰하기 위하여 피검사물질(2)에 대해 직각방향으로 배치된 카메라(4)를 포함하는 적어도 하나 이상의 탐지스테이션(1)과, 카메라(4)의 시야를 덮는 피검사물질(2)의 너머에 카메라(4)와 상관되게 배치된 밝은 배경(7)과, 피검사 물질(2)의 옆에 있고 물질(2)의 표면에 의해 카메라(4)를 향해 반사되는 광선을 갖는 조명광원(91,92)과, 물질(2)의 두께 부위내의 연속적인 단면의 연속적인 단면의 평면들을 조명하려는 비스듬함 광커텐(an oblique light curtain)을 형성하기 위해 단일방향으로의 광선을 팽창시키는 수단에 연결된 레이저형 조명광원(12) 및, 물질(2)의 두께부위 내에서 결함부위(5)을 탐지하고 위치를 알아내기 위한 상처리용 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질검사장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 레이저형 조명광원(12)이 비스듬한 광커텐을 형성하기 위해 물질(2)의 너머에 카메라(4)와 상관관계가 있게 배치된 것을 특징으로 하는 투명물질검사장치.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 컴퓨터가 밝은 배경(7)으로부터 어두운 점들을 분리하기 위해 적절한 임계치에 의해 연산하는 장치나 윤곽을 탐지하는 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질검사장치.
  9. 제6항 내지 제8항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 컴퓨터가 통계적 상관관계법을 이용하여 후속하는 상들에서의 결함부위(5)들의 탐지를 예견하는 예견장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명물질검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950701573A 1992-10-20 1993-10-13 투명물질검사방법 및 장치(Process and device for inspecting transparent material) KR950704679A (ko)

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