KR960011414A - 검사 시스템 및 공정 - Google Patents

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Abstract

피검사 표면 상의 결함을 신뢰성있게 검출하기 위해, 검사 시스템 및 공정은 피검사 표면에 대하여 촬상영역을 이동시킴으로써 상이한 위치에서 피검사 표면의 전자 화상을 형성하고, 일련의 화상으로부터 결함 후보영역을 추출하고, 하나의 후보 영역으로부터 다른 후보 영역까지의 이동이 촬상 영역의 이동과 비례하는 지를 검사하고, 후보 영역들 간의 이동이 촬상 영역의 이동에 비례하는 경우 후보 영역이 피검사 표면 상의 결함의 화상이라는 것을 판단하도록 구성된다.

Description

검사 시스템 및 공정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예에 따른 결함 검출용 검사 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 블럭도

Claims (17)

  1. 피검사 물체의 피검사 표면상의 결함을 검출하기 위한 검사 공정에 있어서, 촬상 영역에 대하여 상기 피검사 표면을 이동시키고 상기 촬상 영역 내에서 피검사 표면의 전자 화상들의 시퀀스를 형성하는 화상 생성단계, 및 상기 화상들로부터 결함 후보 영역을 추출하고, 화상들 주으이 하나인 이저의 화상으로부터 추출된 하나의 후보 영역의 위치로부터 상기 화상 생성 단계에서 이전의 화상 이후에 형성된 화상들 중의 하나인 후속 화상으로부터 추출된 다른 후보 영역의 위치까지의 공간적 간격을 결정하고, 상기 공간적 간격이 상기 촬상 영역에 대한 상기 피검사 표면의 이동과 일치하는지를 결정하고, 상기 공간적 간격이 상기 이동과 일치할 때 피검사 표면 내에 결함이 존재하는 것으로 판단하는 화상 처리 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 공정.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화상 생성 단계는 상기 피검사 물체와 상기 촬상 영역 내의 상기 피검사 표면을 관찰하는 촬상 수단 중 적어도 하나를 이동시키는 이동 단계, 및 상기 촬상 수단으로 상기 전자 화상들을 형성하는 촬상 단계를 포함하고, 상기 화상 처리 단계는 화상들의 상기 시퀀스로부터 후보 영역의 세트를 추출하는 추출 단계, 화상들 중 최소한 2개로부터 추출된 후보 영역의 위치를 검사하고, 상기 이전 화상으로부터 추출된 하나의 후보 영역의 위치로부터 상기 후속 화상으로부터 추출된 다른 후보 영역의 위치까지의 위치 변화량을 결정하고, 상기 위치 변화량이 상기 이전 화상의 화상 형성 시간과 상기 후속 화상의 화상 형성 시간까지의 상기 촬상 영역에 대한 상기 피검사 표면의 이동량과 비례하는지를 결정하는 검사 단계, 및 상기 위치 변화량이 상기 피검사 표면의 상기 이동량과 비례할 때 피검사 표면 상에 결함이 있는지를 판정하여 결함 검출 신호를 발생하는 판정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 공정.
  3. 제2항에 있어서, 상기 화상들은 명함 패턴이 피검사 표면 상의 촬상 영역 내에 투사되는 동안 형성되어, 상기 화상 각각은 피검사 표면 상에 투사된 명암 패턴의 화상으로 되는 것을 특징으로 하는 검사 공정.
  4. 제3항에 있어서, 상기 촬상 수단에 의해 형성된 상기 화상 각각은 밝은 영역과 어두운 영역을 포함하고, 상기 추출 단계는 상기 호상의 밝은 영역으로부터만 후보 영역을 추출함으로써 수행되고, 상기 검사 단계는 밝은 영역으로부터 추출된 후보 영역들 중 2개 간의 상기 우치 변화량이 상기 피검사 표면의 상기 이동량에 비례하는지를 검사함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 검사 공정.
  5. 제2항에 있어서, 상기 검사 단계는 후보 영역의 상기 세트로부터 서브세트를 선택하는 선택 단계를 포함하고 상기 서브세트는 다수의 상기 후보 영역을 포함하고, 상기 서브세트의 후보 영역 각각은 전자 화상의 상기 시퀀스의 서브시퀀스의 특정 하나로부터 추출된 후보 영역이 되어, 상기 서브세트의 후보 영역은 화상 형성 시에 모두 서로 다르고, 상기 서브세트의 모든 후보 영역은 상기 촬상 수단의 화상면 내의 직선 내에 실질적으로 화상 형성의 시간 순서대로 배열되고, 서브세트의 후보 영역 각각은 상기 서브세트의 후보 영역 각각의 형성 시간으로부터 상기 서브세트의 후보 영역 중 다른 후보의 화상 형성 시간까지의 상기 피검사 표면에 의해 이동된 거리에 실질적으로 비례하는 거리에 있는 서브세트의 후보 영역 중 다른 후보로부터 분리되며, 상기 판정 단계는 상기 선택 단계에서 선택된 서브세트의 후보 영역의 수가 선정된 수 이상일 때만 상기 결함 검출 신호의 발생을 허용하는 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 공정.
  6. 피검사 물체의 피검사 표면 상의 결함을 거출하기 위한 검사 시스템에 있어서, 촬상 영역에 대하여 상기 피검사 표면을 이동시키고 상기 촬상 영역 내에서 피검사 표면의 전자 화상들의 시퀀스를 형성하는 화상 생성 수단, 및 상기 화상들로부터 결함 후보 영역을 추출하고, 화상들 중의 하나인 이전의 화상으로부터 추출된 하나의 후보 영역의 위치로부터 상기 화상 생성 수단에 의해 이전의 화상 이후에 형성된 화상들 주으이 하나인 후속 화상으로부터 추출된 다른 후보 영역의 우치까지의 공간적 간격을 결정하고, 상기 공간적 간격이 상기 촬상 영역에 대한 상기 피검사 표면의 이동과 일치하는지를 결정하고, 상기 공간적 간격이 상기 이동과 일치할 때 피거사 표면 내에 결함이 존재하는 것으로 판단하는 화상 처리 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 화상 생성 수단은 상기 촬상 영역 내의 상기 피검사 물체를 관찰하고, 상기 전자 화상들을 형성하는 촬상 수단, 및 상기 피검사 물체와 상기 촬상 수단 중 적어도 하나를 이동시키는 이동 수단을 포함하고, 상기 화상 처리 수단은 화상들의 상기 시퀀스로부터 후보 영역의 세트를 추출하는 추출 수단, 화상들 중 최소한 2개로부터 추출된 후보 영역의 우치를 검사하고, 상기 이전 화상으로부터 추출된 하나의 후보 영역의 위치로부터 상기 후속 화상으로부터 추출된 다른 후보 영역의 위치까지의 우치 변화량을 결정하고, 상기 위치 변화량이 상기 이전 화상의 화상 형성 시간과 상기 후속 화상의 화상 형성 시간까지의 상기 촬상 영역에 대한 상기 피검사 표면의 이동량과 비례하는지를 검사하는 검사수단, 및 상기 위치 변화량이 상기 피검사 표면의 상기 이동량과 비례할 때 피검사 표면 상에 결함이 있다는 것을 표시하는 결함 검출 신호를 발생하는 판정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 화상 생성 수단은 상기 피검사 표면 상에 명안 패턴을 투사하는 조명 수단을 더 포함하여, 상기 촬상 수단에 의해 발생돈 화상 각각이 피검사 표면 상에 투사된 명암 패턴의 화상이 되고 밝은 영역 및 어두운 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 화상 처리 수단은 명안 패턴의 상기 화상의 밝은 영역과 어두운 영역 사이의 경계를 인식하는 경계 인식 수단을 더 포함하고, 상기 추출 수단은 상기 경계 이외의 영역의 휘도의 변화에 따라 상기 후보 영역을 추출하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  10. 제8항에 있어서, 상기 화상 처리 수단은 상기 촬상 수단에 의해 순차적으로 발생된 상기 화상들을 기억하는 화상 기억 수단을 더 포함하고, 상기 추출 수단은 상기 화상 기억 수단 내에 기억된 상기 화상들의 밝은 영역으로부터만 상기 후보 영역을 추출하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  11. 제7항에 있어서, 상기 추출 수단은 상기 화상들의 밝은 영역으로부터만 후보영역을 추출하는 수단을 포함하고, 상기 검사 수단은 화상의 밝은 영역으로부터 추출된 후보 영역의 위치만을 검사하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  12. 제7항에 있어서, 상기 후속 화상은 후보 영역 중의 하나를 포함하고 다수의 상기 이전 화상 각각은 후보 영역 중의 하나를 포함하며, 상기 검사 수단은 이전 화상 각각으로부터 추출된 후보 영역의 위치로부터 상기 후속 화상의 후보 영역의 우치까지의 변위량을 결정하기 우해, 상기 화상 생성 수단에 의해 후속 화상 전에 순차적으로 형성된 이전 화상의 각각으로부터 추출된 후보 영역과 상기 후속 화상으로부터 추출된 후보 영역을 비교하는 비교 수단, 상기 이전 화상 각각이 상기 화상 생성 수단에 의해 형성되는 순간부터 상기 후속 화상이 상기 화상 생성 수단에 의해 형성되는 순간까지 상기 촬상 영역에 대한 상기 피검사 표면의 이동량을 결정하는 측정 수단, 및 이전 화상 각각으로부터 추출된 후보 영역의 위치로부터 후속 화상으로부터 추출된 후보 영역의 위치까지의 상기 변위량이 이전 화상의 대응하는 화상의 형성순간부터 후속 화상의 형성 순간까지의 상기 촬상 영역의 상기 이동량에 비례하는 지를 결정하여, 이전 화상 각각이 일치 화상인지를 결정하는 체킹 수단으로서, 상기 일치 화상은 후속 화상의 후보 영역의 우치까지의 상기 변위량이 일치 화상의 화상 형성 순간부터 후속 화상의 화상 형성 순간까지 상기 피검사 표면의 상기 이동량에 비례하는 일치 후보 영역을 포함하는 화상인 체킹 수단을 포함하고, 상기 판정 수단은 후속 화상의 후보 영역이 일치 회상의 수가 선정된 수 이상인 경우 결함이라는 것을 판단하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  13. 제7항에 있어서, 상기 검사 수단은 후보 영역의 상기 세트로부터 서브세트를 선택하는 선택수단을 포함하고, 상기 서브세트는 다수의 상기 후보 영역을 포함하고, 상기 서브세트의 후보 영역 각각은 전자 화상들의 상기 시퀀스의 서브시퀀스의 특정 하나로부터 추출된 후보 영역이 되어, 상기 서브세트의 후보 영역은 화상 형성 시에 모두 서로 다르고, 상기 서브세트의 모든 후보 영역은 상기 촬상 수단의 화상면 내의 직선 내에 실질적으로 화상 형성의 시간 순서대로 배열되고, 서브세트의 후보 영역 각각은 상기 서브세트의 후보 영역 각각의 형성 시간으로부터 상기 서브세트의 후보 영역 중 다른 후보의 화상 형성 시간까지의 상기 피검사 표면에 의해 이동된 거리에 실질적으로 비례하는 거리에 있는 서브세트의 후보 영역 중 다른 후보로부터 분리되며, 상기 판정 수단은 상기 선택 수단에서 선택된 서브세트의 후보 영역의 수가 선정된 수 이상일 때만 상기 결함 검출 신호의 발생을 허용하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 선정된 수는 3이상이고, 상기 서브시퀀스는 상기 시퀀스의 상기 화상들 중의 하나인 먼저 선택된 화상, 상기 시퀀스의 상기 화상들중의 하나이며 상기 시퀀스 내의 상기 먼저 선택된 화상 이후에 따르는 나중에 선택된 화상, 및 상기 서브시퀀스로부터 제외된 상기 시퀀스 내의 상기 먼저 선택된 화상과 나중에 선택된 화상 사이의 중간인 중간 화상을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  15. 피검사 물체의 피검사 표면 상의 결함을 검출하기 위한 검사 시스템에 있어서, 이전의 위치로부터 후속의 우치까지의 선정된 방향을 따라 촬상 영역에 대해 피거사 표면을 이동시키고 피검사 표면이 이전의 위치에 있을 이전의 순간에 상기 촬상 영역 내의 피검사 표면의 이전 화상을 형성하고, 피검사 표면이 상기 후속 위치에 있을 후속 시간 순간에 촬상 영역 내에서 피검사 표면의 후속 화상을 형성하는 화상 생성 수단, 및 상기 이전 및 후속 화상으로부터 결함 후보로서 결함 후보 영역을 추출하고, 상기 이전 화상 내의 후보 영역의 화상 위치로부터 상기 후속 화상 내의 후보 영역의 화상 우치까지의 화상 이동을 결정하고, 상기 화상 이동을 상기 이전 위치로부터 상기 후속 위치까지의 피검사 표면의 이동과 비교하고, 상기 화상 이동이 이전 위치로부터 후속 위치까지의 피검사 표면의 이동과 실질적으로 비례할 때 결함을 존재를 나타내는 결함 검출 신호를 발생하는 화상 처리 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 상기 화상 생성 수단은 상기 촬상 영역 내에서 상기 피검사 표면의 화상의 시계열을 발생하고, 상기 이전과 후속 화상은 상기 시계열 내의 화상들의 2개의 화상인 이미지, 상기 촬상 영역 내의 상기 검사 표면을 조명하는 조명 수단, 및 상기 피검사 표면이 상기 촬상 영역 내의 선정된 직선 방향을 따라 이동하도록 상기 피검사 표면과 상기 이미지 사이의 상대적 이동을 발생하고, 상기 촬상 영역에서 상기 피검사 표면에 의해 이동된 거리를 나타내는 거리 신호를 발생하는 이동 수단을 포함하고, 상기 화상 처리 수단은 화상의 상기 시계열을 나타내는 화상 데이타를 기억하는 화상 기억 수단, 상기 기억 수단 내에 기억된 화상의 상기 시계열로부터 후보 영역을 추출하는 추출 수단, 각각이 이전 화상으로부터 추출된 하나의 후보 영역인 한짝과 상기 후속 화상으로부터 추출된 하나의 물체 영역인 다른 한쪽으로 이루어진 쌍 내에 화상의 상기 시계열로부터 추출된 상기 후보 영역을 배열하고, 각 쌍의 상기 한짝 및 다른 한짝 사이의 화상 이동을 결정하고, 각 쌍의 화상 이동이 이전 위치로부터 후속 위치까지의 피검사 표면의 이동에 실질적으로 비례하는지를 결정함으로써 각 쌍이 정합쌍인지 여부를 결정하며, 상기 정합된 쌍을 후보 영역들 중 단일 공통 후보를 각각 포함하는 정합된 쌍의 그룹으로 그룹짓는 검사 수단, 및 그룹 내의 정합된 쌍의 수가 선정된 수 이상일 때 결함 검출 신호를 발생하는 판정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 상기 조명 수단은 피검사 표면 상에 명암 패턴을 투사하는 수단을 포함하고, 상기 이미지와 상기 명암 패턴에 의해 결정된 상기 촬상 영역은 고정으로 유지되며, 상기 이동 수단은 피검사 표면상에 고정된 화면점의 화상점이 이미저의 화상면에서 수평 및 수직 방향 중의 한 방향을 따라 이동되도록 상기 피검사 표면을 갖는 상기 물체를 이동시키는 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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