PL172759B1 - Method of and apparatus for inspecting transparent materials - Google Patents

Method of and apparatus for inspecting transparent materials

Info

Publication number
PL172759B1
PL172759B1 PL93308462A PL30846293A PL172759B1 PL 172759 B1 PL172759 B1 PL 172759B1 PL 93308462 A PL93308462 A PL 93308462A PL 30846293 A PL30846293 A PL 30846293A PL 172759 B1 PL172759 B1 PL 172759B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
camera
transparent material
defects
laser light
illuminated
Prior art date
Application number
PL93308462A
Other languages
Polish (pl)
Other versions
PL308462A1 (en
Inventor
Yann Jutard
Jean-Jacques Sacre
Original Assignee
Thomson Csf
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson Csf filed Critical Thomson Csf
Publication of PL308462A1 publication Critical patent/PL308462A1/en
Publication of PL172759B1 publication Critical patent/PL172759B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/38Concrete; ceramics; glass; bricks
    • G01N33/386Glass
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8829Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry
    • G01N2021/8832Structured background, e.g. for transparent objects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G01N2021/8962Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod for detecting separately opaque flaws and refracting flaws
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G01N2021/8967Discriminating defects on opposite sides or at different depths of sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/10Scanning
    • G01N2201/102Video camera

Abstract

The process consists in detecting and locating flaws (5) in the thickness of a transparent material (2) to be inspected, in uniformly illuminating a light background (7) placed in relation to the camera (4) behind the material (2) to be transparently viewed through said material (2), covering the visual field of the camera (4) and serving as the contrast reference, in laterally illuminating the material's surface (2) to distinguish flaws (5) within the material (2) from parasitic elements deposited on the surface thereof, in transparently viewing by means of the camera (4), placed vertically in relation to the surface of the material (2), a sequence of contrasted images reproducing the thickness of the material (2), and in processing data captured by successive images corresponding to the complete thickness of the material (2) in order to detect and locate flaws (2) therein. Application in quality control of transparent materials.

Description

Przedmiotem wynalazkujest sposób i urządzenie do wykrywania defektów materiału przezroczystego stosowane przy zautomatyzowanej kontroli przemysłowej prowadzonej techniką otrzymywania obrazów na wyjściu z linii produkęyjnei.The subject of the present invention is a method and a device for detecting defects in transparent material used in automated industrial inspection carried out by the technique of obtaining images at the exit of the production line.

z~\ . r i · i-’_ - - i _ _ _ i - ___x_ ’_i__ _____lilii iwith ~ \. r i · i -’_ - - i _ _ _ i - ___x_ ’_i__ _____ lilies and

Ogólnie rzecz biorąc kontrola materiału przezroczystego, na przykład szkła, ma na celu wykrycie i zlokalizowanie defektów zwanych również “wtrąceniami” powstającymi na etapie produkcji szkła. Wpływ tych defektów na jakość wyprodukowanego szkła zależy od ich liczby, kształtu i norm narzuconych producentowi w zależności od przewidywanego zastosowania szkła.Generally speaking, the inspection of a transparent material such as glass is designed to detect and locate defects, also known as "inclusions", that arise during the glass production phase. The impact of these defects on the quality of the glass produced depends on their number, shape and standards imposed on the manufacturer depending on the intended use of the glass.

Defekty te mają rozmaity charakter, a do podstawowych zaliczane są defekty takie jak pęcherz i węzeł.These defects are of various nature, and the basic defects are bladder and knot.

W przypadku defektów typu pęcherzy sąto pęcherzyki gazu uwięzione w stopionym materiale, których kształty mogąprzybierać zarówno postać kuli jak i mocno wydłużonego włókna o stosunku długości do szerokości przekraczającym dziesięć.In the case of bubble-type defects, these are gas bubbles trapped in the molten material, the shapes of which can be either a sphere or a highly elongated fiber with a length to width ratio exceeding ten.

W przypadku defektów typu węzła sąto braki jednorodności podstawowych składników, co prowadzi do powstania widocznej w szkle cząsteczki.In the case of knot-type defects, these are the lack of homogeneity of the basic components, which leads to the formation of a visible particle in the glass.

Wielkość i kształt tych wtrąceń są zmienne i zależą od materiału i głębokości ich umiejscowienia w materiale, ich wielkość z reguły nie przekracza milimetra, przy czym maksymalna rozdzielczość wynosi około jednej dziesiątej milimetra.The size and shape of these inclusions vary and depend on the material and the depth of their location in the material, their size as a rule does not exceed a millimeter, with the maximum resolution being about one tenth of a millimeter.

Automatyczna analiza jakości materiału, czyli automatyczne wykrywanie defektów materiału, ma bezpośredni wpływ na jego produkcję. Analiza taka umożliwia odrzucenie produktów wadliwych, jak też stworzenie niezawodnej statystyki liczby i wielkości defektów w celu wprowadzania zmian różnych parametrów produkcji materiału.Automatic material quality analysis, i.e. automatic detection of material defects, has a direct impact on its production. Such analysis enables the rejection of defective products as well as the creation of reliable statistics of the number and size of defects in order to change various parameters of material production.

W znanych urządzeniach kontrolnych stosowany jest system składający się ze źródła światła, na przykład lasera, oświetlającego poddawany kontroli przezroczysty materiał. Po przejściu przez materiał promienie świetlne są analizowane przez urządzenie detekcyjne reagujące na promieniowanie świetlne, na przykład kamerę CCD, i umożliwiają wykrywanie i lokalizację głębokości położenia ewentualnych defektów.Known inspection devices use a system consisting of a light source, for example a laser, illuminating a transparent material to be inspected. After passing through the material, the light rays are analyzed by a detection device that reacts to the light radiation, for example a CCD camera, and enables the detection and depth location of possible defects to be detected and localized.

Stosowanie urządzeń obserwacyjnych do kontroli przezroczystych materiałów, a zwłaszcza szkła, jestjednak ograniczone brakiem skuteczności odróżniania zanieczyszczeń powierzchniowych, na przykład pyłów, które osiadły na powierzchni poddawanego kontroli materiału, od wtrąceń będących defektami produkcyjnymi zatopionymi w masie materiału. Występowanie pyłów na powierzchni materiału jest faktycznie przyczyną niedokładności w przypadku stwierdzenia rzeczywistego defektu w masie materiału umiejscowionej w pobliżu jego powierzchni. Pyły w pobliżu źródła światła dają odblask i mogą uniemożliwić dostrzeżenie ewentualnego defektu występującego w pobliżu powierzchni.However, the use of observation devices to control transparent materials, especially glass, is limited by the ineffectiveness of distinguishing surface contaminants, for example dusts that have settled on the surface of the material being inspected, and inclusions that are manufacturing defects embedded in the mass of the material. The presence of dust on the surface of the material is actually the cause of inaccuracies in the case of a real defect in the mass of the material located near its surface. Dust near the light source gives glare and can make it impossible to see a possible defect near the surface.

Z drugiej strony niektóre defekty o wydłużonym kształcie nie dają odblasku w momencie gdy pada na nie wiązka światła i w związku z tym nie są wykrywane.On the other hand, some elongated shape defects do not glare when the light beam strikes them and are therefore not detected.

Urządzenie według japońskiego zgłoszenia patentowego nr 61-207 953 opublikowanego w tomie 001 nr 037 (P-543) z 4 lutego 1987 “Patent Abstracts of Japon”, wykonuje omiatanie powierzchni szkła poziomą wiązką laserową i kontroluje rozproszenie tej wiązki w celu odróżnienia osadu na powierzchni szkła od wtrącania. W tym rozwiązaniu badany materiał jest oświetlony z góry strumieniem światła i z boku wiązką światła laserowego. Do komputera dochodzą sygnały przetwarzane ze światła przepuszczanego przez badany materiał i z wiązki światła laserowego odbitego od wtrącenia na powierzchni badanego materiału. Komputer analizuje obie informacje i kasuje te odchylenia które zostały spowodowane zanieczyszczeniami znajdującymi się na powierzchni kontrolowanego materiału. To urządzenie odróżniające ma skomplikowaną budowę ponieważ wymaga zastosowania lasera i czujników przystosowanych do uwzględniania odchylenia wiązki.The device according to Japanese Patent Application No. 61-207,953 published in Volume 001 No. 037 (P-543) of February 4, 1987 "Patent Abstracts of Japon", performs a horizontal laser beam sweep of the glass surface and controls the scattering of this beam to distinguish sediment on the surface glass from inclusion. In this solution, the tested material is illuminated from above with a beam of light and from the side with a beam of laser light. The computer receives signals processed from the light transmitted through the tested material and from the laser beam reflected from the inclusions on the surface of the tested material. The computer analyzes both information and corrects the deviations that were caused by contamination on the surface of the controlled material. This discriminating device has a complex structure since it requires a laser and sensors adapted to take account of the beam deflection.

Zjapońskiego zgłoszenia patentowego nr 62-32345 znanejest rozwiązanie w którym badany materiał jest oświetlany z boku pod kątem 30° do 45°, a odbity obraz jest rejestrowany przez kamerę umieszczoną prostopadle do kontrolowanego materiału. W przypadku wystąpienia w materiale defektu, jest on dobrze widoczny, natomiast w przypadku wystąpienia zanieczyszcze4From the Japanese patent application No. 62-32345, there is a solution in which the tested material is illuminated from the side at an angle of 30 ° to 45 °, and the reflected image is recorded by a camera placed perpendicular to the inspected material. In the event of a defect in the material, it is clearly visible, while in the case of contamination4

172 759 nia na powierzchni, widoczny jest tylko jego zarys, ewentualnie takie zanieczyszczenie nie jest widoczne.On the surface, only its outline is visible, or such contamination is not visible.

Z amerykańskiego opisu patentowego nr 3 814 946 znany jest sposób wykrywania defektów w materiale przezroczystym lub półprzezroczystym w postaci płytki, polegający na oświetleniu materiału z obu stron tak, że oba źródła światła w połączeniu z fotodetektorem stanowią dwa systemy optyczne. Pierwszy z tych systemów wykrywa wewnętrzne usterki za pomocą wią zki światła przechodzącej poprzez płytkę. Drugi system wykrywa usterki powierzchniowe za pomocą światła odbitego od powierzchni kontrolowanej płytki.US Patent No. 3,814,946 discloses a method of detecting defects in a transparent or translucent plate-like material by illuminating the material from both sides so that both light sources in combination with a photodetector constitute two optical systems. The first of these systems detects internal faults by means of a beam of light passing through the wafer. The second system detects surface defects using light reflected from the surface of the inspected wafer.

Z europejskiego zgłoszenia patentowego nr 0 315 697 znane jest urządzenie do wykrywania defektów w płycie materiału. W tym rozwiązaniu skaner optyczny w sposób cykliczny skanuje badaną płytę prostopadle do kierunku przesuwu kontrolowanego materiału. Zmiany promieni wywołane defektem są przekształcane na sygnały elektryczne i następnie kierowane do komputera, w którym są dokładnie analizowane.A device for detecting defects in a plate of material is known from European patent application No. 0 315 697. In this solution, the optical scanner periodically scans the tested plate perpendicular to the direction of movement of the inspected material. The ray changes caused by the defect are converted into electrical signals and then routed to a computer where they are carefully analyzed.

Z niemieckiego zgłoszenia patentowego nr 3 926 349 znane jest optyczne urządzenie do kontrolowania materiału przezroczystego zawierającego źródło światła i układ oświetlający kierujący światło na kontrolowany materiał. Wiązka światła ze źródła światłajest kierowana na kontrolowany materiał a następnie wiązka odbita i wiązka przechodząca przez materiał, dochodzą do układu odbierającego zawierającego obiektyw i kamerę. Następnie wiązki światła są przetworzone na sygnał elektryczny, który jest analizowany w układzie przetwarzania danych, gdzie jest określane i oceniane położenie defektu w materiale.From the German patent application No. 3,926,349 an optical device for controlling a transparent material is known, comprising a light source and an illumination system that directs light onto the material being inspected. The light beam from the light source is directed onto the controlled material and then the reflected beam and the beam passing through the material reach the receiving system including the lens and the camera. The light beams are then converted into an electrical signal which is analyzed in a data processing system where the position of the defect in the material is determined and assessed.

Celem wynalazkujest opracowanie prostego sposobu i urządzenia do wykrywania defektów.The object of the invention is to provide a simple method and device for detecting defects.

Sposób wykrywania defektów materiału przezroczystego, w którym materiał przezroczysty oświetla się światłem pochodzącym z co najmniej jednego źródła światła, kieruje się to światło do kamery, obserwuje się przekrój materiału i analizuje się otrzymany obraz, według wynalazku charakteryzuje się tym, że materiał przezroczysty umieszcza się prostopadle do kamery pomiędzy nią i jasnym tłem usytuowanym w polu widzenia kamery i stanowiącym bazę kontrastową, to jasne tło oświetla się równomiernie, powierzchnię materiału przezroczystego oświetla się z boku światłem bocznym wyróżniającym elementy zakłócające od defektów i kamerąprzedstawia się sekwencję obrazów przekroju materiału przezroczystego oraz wyróżnia się i lokalizuje defekty występujące w przekroju materiału przezroczystego widoczne na obrazie jako ciemne plamy.A method for detecting defects in a transparent material, in which a transparent material is illuminated with light from at least one light source, the light is directed to the camera, the cross-section of the material is observed and the image obtained is analyzed, according to the invention, the transparent material is placed perpendicularly to the camera between it and a bright background located in the field of view of the camera and constituting a contrast base, this bright background is evenly illuminated, the surface of the transparent material is illuminated from the side by side light distinguishing the disturbing elements from defects and the camera, a sequence of images of the cross-section of the transparent material is presented, and locates defects in a cross section of transparent material visible in the image as dark spots.

Korzystnie dodatkowo przez materiał przezroczysty przepuszcza się pod kątem laserową wiązkę światła przechodzącą na wylot i omiatającą, i tworzy się w polu widzenia kamery płaską ukośnie skierowaną kurtynę świetlną i pokazuje się kamerą szereg obrazów rejestrujących kolejne przekroje materiału przezroczystego.Preferably, additionally, a laser light beam passing through and sweeping at an angle is passed through the transparent material, and a flat oblique light curtain is formed in the field of view of the camera, and a series of images is displayed with the camera to register successive sections of the transparent material.

Korzystnie przy przetwarzaniu danych uzyskanych na podstawie obrazów zarejestrowanych przez kamerę wzajemnie koreluje się ciemne plamy odpowiadające defektom występującym w przekroju materiału przezroczystego z przetężeniami świetlnymi wywołanymi przez laserową wiązkę światła padającą na wtrącenia.Preferably, when processing the data obtained from the images captured by the camera, the dark spots corresponding to defects in the cross-section of the transparent material are mutually correlated with the light surges caused by the laser light beam incident on the inclusions.

Korzystnie oblicza się głębokość położenia defektów oświetlonych laserową wiązką światła na podstawie jego usytuowanie względem dwóch promieni utworzonych przez przecięcie się laserowej wiązki światła z materiałem przezroczystym i wyznacza się położenie defektów w trzech wymiarach.Preferably, the position depth of the defects illuminated by the laser light beam is calculated on the basis of its position in relation to the two rays formed by the intersection of the laser light beam with the transparent material and the position of the defects in three dimensions is determined.

Korzystnie przemieszcza się materiał przezroczysty na szynach przenośnika podpierającego materiał przezroczysty pod stanowiskiem detekcji i lokalizacji, w płaszczyźnie poziomej i uwidacznia się kolejne przekroje materiału przezroczystego.Preferably, the transparent material is moved on the rails of the transparent material supporting conveyor under the detection and locating station in the horizontal plane and successive cross-sections of the transparent material are exposed.

Korzystnie wzajemnie koreluje się dane położenia defektów uzyskane na wielu obrazach.Preferably, the defect location data obtained from the multiple images are correlated to one another.

Urządzenie do wykrywania defektów materiału przezroczystego zawierające kamerę połączoną z komputerem i laserowe źródło światła, gdzie materiał przezroczystyjest umieszczony pomiędzy laserowym źródłem światła i kamerą, kamerajest umieszczona prostopadle do materiału przezroczystego, według wynalazku charakteryzuje się tym, że zawierajednolicie oświetlonejasne tło umieszczone w stosunku do kamery za materiałem przezroczystym i pokrywające pole widze172 759 nia kamery oraz źródło wiązki światła z boku materiału przezroczystego, przy czym laserowe źródło światła jest połączone z układem optycznym kształtującym płaską wiązkę światła laserou/prrn Imrhmo ćnn^lna u \,<u a\.a*a aax r’ lwiuią.Apparatus for detecting defects in transparent material, comprising a camera connected to a computer and a laser light source, where the transparent material is placed between the laser light source and the camera, the camera is placed perpendicular to the transparent material, according to the invention, is characterized in that it comprises a uniformly illuminated bright background placed behind the camera behind the camera. and a transparent material covering the field widze172 present camera 759 and a source light beam from the side of the transparent material, wherein the laser light source is combined with an optical system for shaping flat beam laserou / Prrn Imrhmo CNN ln ^ u \ <ua \ * .a and aa x r 'lioness.

Korzystnie laserowe źródło światłajest umieszczone za materiałem przezroczystym w stosunku do kamery.Preferably the laser light source is positioned behind the material transparent to the camera.

Korzystnie urządzenie zawiera dwa połączone ze sobą stanowiska wykrywania i lokalizacji, przy czym drugie stanowisko stanowi lustrzane odbicie stanowiska pierwszego.Preferably, the device comprises two interconnected detection and locating stations, the second station mirroring the first station.

Zaletą rozwiązania według wynalazkujest możliwość zlokalizowania defektu materiału w trzech wymiarach oraz określenie przybliżonej jego wielkości w sposób łatwy i przy użyciu prostego urządzenia.The advantage of the solution according to the invention is that it is possible to locate the defect of the material in three dimensions and to determine its approximate size easily and with the use of a simple device.

Przedmiot wynalazku w przykładzie wykonaniajest przedstawiony na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia urządzenie według wynalazku przedstawione schematycznie w widoku z góry, fig. 2 przedstawia schemat urządzenia według wynalazku widoku z boku, z ukazaniem schematu optycznego oraz tła, fig. 3 przedstawia fragment badanego materiału z zaznaczeniem analizowanego przekroju, fig. 4 przedstawia fragment badanego materiału z uwidocznieniem przebiegu promieni świetlnych.The subject of the invention in an exemplary embodiment is presented in the drawing, in which fig. 1 shows the device according to the invention, shown schematically in top view, fig. 2 shows a diagram of the device according to the invention, side view, showing the optical diagram and the background, fig. material with the analyzed cross-section marked, Fig. 4 shows a fragment of the tested material with the course of the light rays.

Urządzenie do wykrywania defektów składa się ze stanowiska 1 detekcji i lokalizacji defektów w układzie trójwymiarowym X, Y, Z. Przezroczysty materiał 2 umieszcza się na podajniku, utworzonym przez dwie równoległe szyny 3! i 32podpierające materiał 2 i poddaje się kontroli w miarę jego prostopadłego przemieszczania się w stosunku do stanowiska 1 wykrywania i lokalizacji defektów, przy czym podajnik przemieszcza się wzdłuż osi X w kierunku wskazanym strzałką. Stanowisko 1 przekazuje jeden lub szereg nie pokazanych tu obrazów kolejnych przekrojów materiału 2.The defect detection device consists of a detection station 1 and a defect localization in a three-dimensional X, Y, Z system. The transparent material 2 is placed on a feeder formed by two parallel rails 3! and 32 supporting material 2 and inspected as it moves perpendicularly relative to the defect detection and location station 1, the feeder moving along the X axis in the direction of the arrow. Station 1 transmits one or several images of successive cross-sections of material 2, not shown here.

Fig. 2 przedstawia przykład wykonania urządzenia według wynalazku w widoku z boku. Na fig. 2 podajnik z szynami 3,i 32 nie jest pokazany. Urządzenie składa się z kamery 4 dającej czarno-biały obraz, w której wykorzystano na przykład czujniki typu CCD, obserwującej przezroczystość kontrolowanego materiału 2. W zależności od układu optycznego kamera 4 pokrywa zmienny obszar materiału z określoną rozdzielczością. Regulacja obiektywu kamery 4 stanowi kompromis między polem widzenia sięgającym na głębokość około kilku milimetrów w głąb materiału 2 i powiększeniem zapewniającym wykrywanie defektu 5 przy maksymalnej rozdzielczości rzędu jednej dziesiątej milimetra.Fig. 2 shows an embodiment of the device according to the invention in a side view. In Fig. 2, the feeder with rails 3 and 32 is not shown. The device consists of a camera 4 giving a black and white image, in which, for example, CCD type sensors are used, observing the transparency of the inspected material 2. Depending on the optical system, the camera 4 covers a variable area of the material with a defined resolution. The adjustment of the lens of the camera 4 is a compromise between the field of view reaching a depth of about a few millimeters into the material 2 and the magnification ensuring defect detection 5 with a maximum resolution of one tenth of a millimeter.

Kamera 4 jest zainstalowana prostopadle do górnej powierzchni 6 materiału 2.Camera 4 is installed perpendicular to the upper surface 6 of material 2.

Z tyłu materiału 2, w pewnej od niego odległości, umieszczone jestjasne, słabo oświetlone tło 7. Obraz w kamerze 4 obejmuje strefę obserwacji materiału odpowiadającą grubości przekroju materiału 2, a kamera 4 nie jest bezpośrednio oświetlona światłem pochodzącym ze źródła oświetlającego jasne tło 7. W celu uzyskania równomiernego oświetlenia tła 7 umieszczone są wokół niego neonówki 81 i 82, przez co powierzchnia tła 7 rozprasza padająca na nią światło. Może być ona wykonana z białego papieru. Jasne tło 7 stanowi w rzeczywistości płaszczyznę, której jednolity kontrast służyjako baza kontrastowa. Tak więc w przypadku tła 7 z białego papieru, kamera 4 przekazuj e całkowicie biały obraz odpowiadający przekroj owi przezroczystego materiału 2 całkowicie pozbawionemu defektów 5. Natomiast każdy defekt 5 występujący w masie materiału 2 jest postrzegany jako ciemna plama na jasnym tle 7.On the back of the material 2, at a distance therefrom, a bright, dimly lit background 7 is placed. The image in the camera 4 includes a material observation zone corresponding to the thickness of the material 2 cross-section, and the camera 4 is not directly illuminated by light from a source illuminating a bright background 7. W in order to obtain uniform illumination of the background 7, neon lamps 8 1 and 82 are placed around it, so that the background surface 7 diffuses the light falling on it. It can be made of white paper. The bright background 7 is in fact a plane whose uniform contrast serves as a contrast base. Thus, in the case of a white paper background 7, the camera 4 transmits a completely white image corresponding to a cross section of the transparent material 2 completely free from defects 5. In contrast, any defect 5 present in the bulk of the material 2 is perceived as a dark spot on a bright background 7.

Z boku materiału 2 usytuowane jest źródło światła dające na przykład poziomą wiązkę białego światła 92. Ukierunkowanie wiązek światła 9ji 92 padających na gornąpowierzchnię 6 materiału 2 jest ustalone w taki sposób, że prawie nie wnikają one w materiał 2, co pozwala uniknąć oświetlenia defektów 5 usytuowanych w pobliżu powierzchni 6. Oświetlenie uzyskuje się na przykład za pomocą neonówek o małej mocy. Są one umieszczone w urządzeniu oświetlającym 101i 1O2 tak, aby wszystkie wysyłane wiązki światła były do siebie praktycznie równolegle. Urządzenie oświetlające 1O1 i 102 składa się na przykład z dwóch ustawionych równolegle płaskich powierzchni spełniających rolę optycznej prowadnicy wiązek światła. Takie oświetlenie ma na celu oświetlenie górnej powierzchni 6 materiału 2. W ten sposób wszystko, co znajduj eOn the side of the material 2 is a light source giving e.g. a horizontal beam of white light 92. The orientation of the light beams 9j and 92 incident on the upper surface 6 of the material 2 is set in such a way that they hardly penetrate the material 2, thus avoiding illumination of defects 5 located in the material 2. near surface 6. The illumination is achieved, for example, by low-power neon lights. They are arranged in the lighting device 10 1 and 10 2 so that all the light beams emitted are practically parallel to each other. The illumination device 1O1 and 10 2 consists, for example, of two parallel plane surfaces acting as an optical guide for the light beams. Such lighting is intended to illuminate the upper surface 6 of the material 2. In this way, everything that is found

172 759 się na powierzchni w zasięgu kamery 4 zostaje oświetlone i w kamerze 4 daje efekt zwiększonej jasności oświetlenia.The 172 759 located on the surface within the range of the camera 4 is illuminated and in the camera 4 it gives the effect of increased illumination brightness.

ΤΛ'Τ'τχΓτχα/ΐντι ofiarno mot^nohi OΤΛ'Τ'τχΓτχα / ΐντι sacrifice mot ^ nohi O

--- - ,J |JUM1VU pVZjlviJJV^V VL> ” 1W1 VXJliU 11JUIV1IUXU X.--- -, J | JUM1VU pVZjlviJJV ^ V VL> ”1W1 VXJliU 11JUIV1IUXU X.

ΤΉΛΤηπ ΤΑΛίΓηΐΛτ τη nirsnnnTnń 4»-A4lrv IMUZjUU IWllllLL· ZjU0LUOUWaV ZJAWI V światła o takiej długości fali promieni padających wysyłanych przez to źródło, iz nie wnikająone w materiał 2 o danym wskaźniku załamania. W takim przypadku detektory kamery 4 są dostosowane do wykrywania światła o takiej długości fali. Na obrazie przekazywanym przez kamerę 4 płyty 11 znajdujące się na górnej powierzchni 6 materiału 2 mają wygląd bądź jaśniejszych punktów, na przykład białych, odcinających się na jasnym tle 7, które moZe być lekko szare, słuZącym jako baza kontrastowa, bądź stapiają się z tłem 7.ΤΉΛΤηπ ΤΑΛίΓηΐΛτ τη nirsnnnTnń 4 »-A4lrv IMUZjUU IWllllLL · ZjU0LUOUWaV ZJAWI V light of such wavelength of incident rays emitted by this source and do not penetrate into the material 2 with a given refractive index. In this case, the detectors of the camera 4 are adapted to detect light of this wavelength. In the image transmitted by the camera 4, the plates 11 on the upper surface 6 of the material 2 have the appearance of either brighter points, for example white, cut off against a bright background 7, which may be slightly gray, serving as a contrast base, or blending with the background 7 .

Laserowe źródło światła 12, na przykład helowoneonowe, umieszczone j est pod kontrolowanym materiałem 2 podpartym centrycznie na dwóch szynach 3t i 32 między materiałem 2 i jasnym tłem 7 i wysyła wiązkę światła 13 pod określonym kątem a do dolnej powierzchni 14 materiału 2. Źródło światła laserowego 12 jest połączone ze znanym, nie pokazanym tu, układem optycznym kształtującym płaską wiązkę. Układ te jest na przykład utworzony przez siatkę optyczną tak, aby wiązka laserowa światła 13 wysyłana przez źródło 12 uległa rozproszeniu w jednym kierunku. W przypadku, gdy materiał 2 nie jest płaski tylko lekko wklęsły pochylone usytuowanie lasera 12 w stosunku do dolnej powierzchni 14 materiału 2 umoZliwia zastosowanie tylko jednej kamery 4.A laser light source 12, for example helowoneonowe arranged j est material at a controlled two cantilevered centered on two rails 3 t 3 and 2 between the material 2 and the bright background 7 and outputs the light beam 13 at a predetermined angle and the lower surface 14 of the material 2. Source the laser light 12 is connected to a known planar beam shaping optical system, not shown here. The arrangement is, for example, formed by an optical grating so that the laser beam 13 emitted by the source 12 is scattered in one direction. In the case when the material 2 is not flat, only slightly concave, the inclined position of the laser 12 in relation to the lower surface 14 of the material 2 allows the use of only one camera 4.

Na figurze 3 materiał 2 jest oświetlony laserowym źródłem 12 w układzie odniesienia X-Y Z. Wyregulowana za pomocą wspomnianego wyZej układu optycznego laserowa wiązka 13 tworzy świetlną kurtynę, której odpowiada strefa zakreskowana, o odpowiedniej grubości, pokrywającą się w kaZdym momencie z ukośnym przekrojem materiału 2.In figure 3, the material 2 is illuminated by a laser source 12 in the X-Y Z reference system. The laser beam 13 adjusted by the above-mentioned optical system creates a light curtain, which corresponds to the hatched zone, of appropriate thickness, coinciding at all times with the oblique cross-section of the material 2.

Na figurze 4 jest przedstawiony materiał 2 w przekroju częściowym i połoZenie lasera 12 w stosunku do materiału 2. Laserowa wiązka 13 wysyłana przez laserowe źródło 12 przechodzi na wylot przez przezroczysty materiał 2 i tworzy kąt a z dolnąpowierzchmą 14 materiału 2. KaZda z powierzchni 6 i 14 materiału 2, przez które w punktach A i B przechodzi laserowa wiązka 13, widnieje na obrazie jako pozioma linia, lub krzywa, w zaleZności od krzywizny materiału 2, jaśniejsza w stosunku do tła 7. Odległość między kaZda z tych linii słuZy za punkt odniesienia dla obliczenia głębokości połoZenia defektu 5 w materiale 2, którego grubość wyznaczają dwie linie. W ten sposób wysokość płaszczyzny przekroju materiału uwidaczniona przez kamerę 4 w materiale 2 jest wyznaczona przez odcinek AB pokazany jako przecięcie laserowej wiązki 13 z przezroczystym materiałem 2. Promienie a i b zaznaczone na fig. 4 liniami kropkowymi są ubocznymi produktami laserowej wiązki 13, powstałymi na skutek rozproszenia przy przejściu przez granice powietrze/szkło i szkła/pawietrze, wykrytymi przez kamerę 4. Dzięki ich rozszczepieniu kamera 4 jest chroniona przed nadmiarem światła. Z drugiej strony układ taki pozwala uniknąć wielokrotnych odbić w zakresie widma widzianego, jednocześnie nie pochłaniając nadmiernie promieniowania. Pochylenia lasera 12 pod kątem apozwala ponadto zwiększyć rozdzielczość pomiaru głębokości połoZenia defektu 5, przy czym odcinek AB jest dłuZszy w stosunku do odcinka przechodzącego prostopadle przez materiał 2. Kąt a wynosi na przykład 45°, powyZej której to wartości rozdzielczość dla błędu względnego pomiaru połoZenia defektu 5 maleje.4 shows the material 2 in a partial section and the position of the laser 12 in relation to the material 2. The laser beam 13 emitted by the laser source 12 passes through the transparent material 2 and forms an angle with the lower surface 14 of the material 2. Each of the surfaces 6 and 14 material 2, through which the laser beam 13 passes at points A and B, appears in the image as a horizontal line or curve, depending on the curvature of the material 2, brighter than the background 7. The distance between each of these lines serves as a reference point for calculations of the depth of the defect 5 location in the material 2, the thickness of which is defined by two lines. Thus, the height of the material cross-sectional plane visible by the camera 4 in the material 2 is defined by the segment AB shown as the intersection of the laser beam 13 with the transparent material 2. Rays a and b marked in Fig. 4 by dotted lines are by-products of the laser beam 13, resulting from scattering when crossing the air / glass and glass / pavement boundaries, detected by the camera 4. Due to their splitting, the camera 4 is protected against excess light. On the other hand, such an arrangement avoids multiple reflections in the visible spectrum, while not excessively absorbing the radiation. The inclination of the laser 12 at the angle a also allows to increase the resolution of the measurement of the defect location depth 5, the segment AB is longer than the segment passing perpendicularly through the material 2. The angle a is, for example, 45 °, above which the resolution for the relative error of the defect position measurement 5 is decreasing.

Informacje uzyskane ze stanowiska 1 umoZliwiają zlokalizowanie defektu w trójwymiarowym układzie X, Y, Z poprzez generowanie ich obrazu. Luminacja usterki 5 pozwala ponadto wyznaczyć w przybliZeniu jej wielkość.The information obtained from station 1 makes it possible to locate the defect in the three-dimensional X, Y, Z system by generating their image. Moreover, the luminance of the failure 5 makes it possible to approximate its magnitude.

Przy pracy kamery' 4 z prędkośe;eą25 obrazów na sekundę i maksymalnej prędkości równomiernego przesuwu 5 cm na sekundę, usterka 5 przemieszcza się o 2 mm na kaZdym obrazie.With the '4 camera operating at a speed of ± 25 images per second and a maximum uniform pan speed of 5 cm per second, the fault 5 moves 2 mm in each image.

Prędkość równomiernego przesuwu jest powiązana z częstotliwością rejestracji obrazów przez kamerę 41 kompromis między róZnymi oświetleniami wprowadzanymi w obecnym wynalazku pozwala dobrać najlepsząjakość obrazów.The speed of the uniform pan is related to the frequency of the images captured by the camera 41, the trade-off between the various illuminations introduced in the present invention allows the best quality of the images to be selected.

Obrazy zarejestrowane podczas przemieszczania się przezroczystego materiału 2 podpartego na szynach 3, i 32 przenośnika w stosunku do stanowiska 1 kontroli i lokalizacji umoZliwia uzyskanie z kolejnych obrazów informacji przydatnych do analizy.The images recorded during the movement of the transparent material 2 supported on the rails 3 and 3 2 of the conveyor in relation to the inspection and location station 1 make it possible to obtain information useful for analysis from the successive images.

172 759172 759

Luminacja umożliwia dostrzeżenie defektów 5 mających postać ciemnych plam najasnym tle 7 służącym jako baza, współrzędne X, Y charakterystycznych pikseli defektów 5, czyli ciemnpi rdornv r\r\--7Tiralaiq net .....|_/ALA±AAjj LA Ο L litr» ilxv a» zi — — ·· - - juviuajviuv ιχνχνινιιχThe luminance makes it possible to see the defects 5 in the form of dark spots on the light background 7 serving as the base, the X, Y coordinates of the characteristic pixels of the defects 5, i.e. dark pi rdornv r \ r \ - 7Tiralaiq net ..... | _ / ALA ± AAjj LA Ο L liter »ilxv a» zi - - ·· - - juviuajviuv ιχνχνινιιχ

Π55 λΚ na obrazie, przemieszczenie tych pikseli na kolejnych następujących po sobie obrazach, na przykład dziesięciu, umożliwiają wzajemne powiązanie informacji zawartych na tych obrazach i przetężenia występujące, gdy laserowa wiązka 13 napotyka defekty 5 umożliwiają obliczenie, za pomocą nie pokazanego tu komputera, głębokości jej położenia w materiale 2.Π55 λΚ in the image, the displacement of these pixels on successive images, for example ten, make it possible to interrelate the information contained in these images, and the over-stresses occurring when the laser beam 13 encounters defects 5 make it possible to calculate, by means of a computer not shown here, its depth position in the material 2.

W celu odróżnienia ciemnych plam reprezentujących defekty 5 odjasnego tła 7 jak również ewentualnie silnego odblasku powodowane przez pyły 11, komputer wykorzystuje na przykład metodę obliczeń dla przyjętej wartości progowej i/lub wykrywania konturów.In order to distinguish the dark spots representing the defects 5 of the bright background 7 as well as possibly strong glare caused by the dusts 11, the computer uses e.g. the calculation method for the assumed threshold value and / or the detection of contours.

Z drugiej strony, w oparciu o rozmaite zebrane informacje, sposób polega na tym, że na kolejnych obrazach prowadzona jest w przekroju materiału 2 ciągła obserwacja defektu 5 podczas jego przejścia przez laserową wiązkę 13, mającej najpierw postać ciemnego, a następnie świecącego punktu, oraz pyłów 11 widzianych w postaci punktów jaśniejszych od tła 7 lub stopionych z jednolitym tłem 7. W ten sposób korzystnie z redundancji informacji stwarza większą szansę wykrycia usterek 5.On the other hand, based on the various collected information, the method consists in the continuous observation of the defect 5 in the cross-section of the material 2 on the successive images as it passes through the laser beam 13, first having the form of a dark and then a glowing point, and dusts. 11 seen as points brighter than the background 7 or fused with a uniform background 7. Thus, the advantageously redundancy of the information gives a greater chance of detecting faults 5.

Przetwarzanie obrazu w komputerze koncentruje się na przypuszczalnie bezpośredniej strefie defektu 5 w celu uwzględnienia jej kształtu, luminacji itd. Dla dokładnej analizy tej strefy wykorzystywanyjest na przykład algorytm prognostyczny wykorzystujący metodę korelacji statystycznej.Computer image processing focuses on the supposedly immediate defect zone 5 to take into account its shape, luminance, etc. For example, a predictive algorithm using a statistical correlation method is used to accurately analyze this zone.

Wynalazek nie ogranicza się do sposobu i urządzenia kontrolnego opisanych szczegółowo powyżej. Opisany został zwłaszcza podajnik doprowadzający kontrolowany przezroczysty materiał, który przechodzi prostopadle do stanowiska obserwacyjnego. Można jednak, nie wychodząc poza ramy wynalazku, zastosować również ruchome stanowisko obserwacyjne gdzie badany materiał pozostaje w stałym położeniu. Taki układ jest szczególnie interesujący w przypadku kontroli dużych elementów.The invention is not limited to the inspection method and device described in detail above. In particular, a feeder for delivering a controlled transparent material that passes perpendicular to the viewing station is described. However, it is possible, without going beyond the scope of the invention, to use a mobile observation station where the tested material remains in a fixed position. This arrangement is of particular interest when inspecting large components.

Ponadto oświetlenie poziome białym światłem i oświetlenie jasnego tła można uzyskać ze źródeł światła innych podobnie jak w przypadku czujnika kamery, przy czym istotnym ograniczeniem, którego należy przestrzegać jest zapewnienie ogólnego oświetlenia umożliwiającego odróżnienie przez kamerę powierzchniowych elementów zakłócających od wytrąceń.In addition, horizontal illumination with white light and bright background illumination can be obtained from other light sources similar to the camera sensor, with an important limitation to be respected is the provision of general illumination that allows the camera to distinguish surface interfering elements from precipitates.

Jest również całkowicie możliwe, nie wychodząc poza ramy wynalazku, połączenie ze stanowiskiem wykrywania i lokalizacji drugiego staniowiącego lustrzane odbicie identycznego stanowiska w celu wykrywania powierzchniowych elementów zakłócających na dolnej powierzchni materiału.It is also entirely possible, without departing from the scope of the invention, to connect to the detection station and locating a second mirror-like station for the purpose of detecting surface disturbing elements on the lower surface of the material.

172 759172 759

172 759172 759

FIG.4FIG. 4

172 759172 759

Departament Wydawnictw UP RP. Nakład 90 egz. Cena 2,00 złPublishing Department of the UP RP. Circulation of 90 copies. Price PLN 2.00

Claims (9)

Zastrzeżenia patentowePatent claims 1. Sposób wykrywania defektów materiału przezroczystego, w którym materiał przezroczysty oświetla się światłem pochodzącym z co najmniej jednego źródła światła, kieruje się to światło do kamery, obserwuje się przekrój materiału i analizuje się otrzymany obraz, znamienny tym, że materiał przezroczysty (2) umieszcza się prostopadle do kamery (4) pomiędzy nią i jasnym tłem (7) usytuowanym w polu widzenia kamery (4) i stanowiącym bazę kontrastową, to jasne tło (7) oświetla się równomiernie, powierzchnię materiału przezroczystego (2) oświetla się z boku światłem bocznym wyróżniającym elementy zakłócające (11) od defektów (5) i kamerą(4) przedstawia się sekwencję obrazów przekroju materiału przezroczystego (2) oraz wyróżnia się i lokalizuje defekty (5) występujące w przekrojumatenału przezroczystego (2) widoczne na obrazie jako ciemne plamy.A method of detecting defects in a transparent material, in which transparent material is illuminated with light coming from at least one light source, the light is directed to the camera, the cross-section of the material is observed and the image obtained is analyzed, characterized in that the transparent material (2) is placed perpendicular to the camera (4) between it and a bright background (7) located in the field of view of the camera (4) and constituting a contrast base, the bright background (7) is evenly illuminated, the surface of the transparent material (2) is illuminated from the side by side light distinguishing the disturbing elements (11) from defects (5) and the camera (4) presents a sequence of images of the cross-section of the transparent material (2) and identifies and locates the defects (5) appearing in the cross-section of the transparent material (2), visible in the image as dark spots. 2. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że dodatkowo przez materiał przezroczysty (2) przepuszcza się pod kątem laserową wiązkę światła (13) przechodzącą na wylot i omiatającą i tworzy się w polu widzenia kamery (4) płaskąukośnie skierowaną kurtynę świetlną i pokazuje się kamerą (4) szereg obrazów rejestrujących kolejne przekroje materiału przezroczystego (2).2. The method according to p. The method of claim 1, characterized in that, additionally, a laser light beam (13) passing through and sweeping at an angle is passed through the transparent material (2) and a flat, diagonally directed light curtain is formed in the field of view of the camera (4) and displayed with the camera (4) images recording successive sections of transparent material (2). 3. Sposób według zastrz. 2, znamienny tym, że przy przetwarzaniu danych uzyskanych na podstawie obrazów zarejestrowanych przez kamerę (4) wzajemnie koreluje się ciemne plamy odpowiadające defektom (5) występującym w przekroju materiału przezroczystego (2) z przetężeniami świetlnymi wywołanymi przez laserową wiązkę światła (13) padającą na wtrącenia.3. The method according to p. 2. The method of claim 2, characterized in that during the processing of data obtained on the basis of images recorded by the camera (4), dark spots corresponding to defects (5) occurring in the cross-section of the transparent material (2) are mutually correlated with the light surges caused by the laser light beam (13) falling on inclusions. 4. Sposób według zastrz. 2 albo 3, znamienny tym, że oblicza się głębokość położenia defektów (5) oświetlonych laserowąwiązką światła (13) na podstawiejego usytuowania względem dwóch promieni utworzonych przez przecięcie się laserowej wiązki światła (13) z materiałem przezroczystym (2) i wyznacza się położenie defektów (5) w trzech wymiarach.4. The method according to p. The method according to claim 2 or 3, characterized in that the depth of the position of the defects (5) illuminated by the laser light beam (13) is calculated on the basis of its position in relation to the two rays formed by the intersection of the laser light beam (13) with the transparent material (2) and the position of the defects ( 5) in three dimensions. 5. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że przemieszcza się materiał przezroczysty (2) na szynach (3b 32) przenośnika podpierającego materiał przezroczysty (2) pod stanowiskiem (1) detekcji i lokalizacji, w płaszczyźnie poziomej (X - Y) i uwidacznia się kolejno przekroje materiału przezroczystego (2).5. The method according to p. The method of claim 1, characterized in that the transparent material (2) is moved on the rails (3 b 32) of the conveyor supporting the transparent material (2) under the detection and locating station (1) in the horizontal plane (X - Y) and the cross-sections of the material are successively displayed transparent (2). 6. Sposób według zastrz. 1 albo 3, znamienny tym, że wzajemnie koreluje się dane położenia defektów (5) uzyskane na wielu obrazach.6. The method according to p. The method of claim 1 or 3, characterized in that the data on the location of the defects (5) obtained in the multiple images are correlated. 7. Urządzenie do wykrywania defektów materiału przezroczystego, zawierające kamerę połączoną z komputerem i laserowe źródło światła, gdzie materiał przezroczysty jest umieszczony pomiędzy laserowym źródłem światła i kamerą, a kamera jest umieszczona prostopadle do materiału przezroczystego, znamienne tym, że zawierajędnolicie oświetlone jasno tło (7) umieszczone w stosunku do kamery (4) za materiałem przezroczystym (2) i pokrywające pole widzenia kamery (4) oraz źródło wiązki światła (9,, 92) z boku materiału przezroczystego (2), przy czym laserowe źródło światła (12) jest połączone z układem optycznym kształtującym płaską wiązkę światła laserowego tworzącą .ukośną kurtynę świetlną.7.A device for detecting defects in transparent material, comprising a camera connected to a computer and a laser light source, where the transparent material is placed between the laser light source and the camera and the camera is positioned perpendicular to the transparent material, characterized in that it has a brightly illuminated background (7). ) positioned behind the transparent material (2) in relation to the camera (4) and covering the field of view of the camera (4) and the light beam source (9, 9 2 ) on the side of the transparent material (2), the laser light source (12) it is connected to an optical system shaping a flat beam of laser light to form an oblique light curtain. 8. Urządzenie według zastrz. 7, znamienne tym, że laserowe źródło światła (12) jest umieszczone za materiałem przezroczystym (2) w stosunku do kamery (4).8. The device according to claim 1 7. The device as claimed in claim 7, characterized in that the laser light source (12) is positioned behind the transparent material (2) in relation to the camera (4). 9. Urządzenie według zastrz. 7, znamienne tym, że zawiera dwa połączone ze sobą stanowiska (1) wykrywania i lokalizacji, przy czym drugie stanowisko (1) stanowi lustrzane odbicie stanowiska (1) pierwszego.9. The device according to claim 1 7. The device as claimed in claim 7, characterized in that it comprises two detection and locating stations (1) connected to each other, the second station (1) being a mirror image of the first station (1). 172 759172 759
PL93308462A 1992-10-20 1993-10-13 Method of and apparatus for inspecting transparent materials PL172759B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9212526A FR2697086B1 (en) 1992-10-20 1992-10-20 Method and device for inspecting transparent material.
PCT/FR1993/001015 WO1994009358A1 (en) 1992-10-20 1993-10-13 Process and device for inspection of a transparent material

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL308462A1 PL308462A1 (en) 1995-07-24
PL172759B1 true PL172759B1 (en) 1997-11-28

Family

ID=9434692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL93308462A PL172759B1 (en) 1992-10-20 1993-10-13 Method of and apparatus for inspecting transparent materials

Country Status (10)

Country Link
US (1) US5598262A (en)
EP (1) EP0665951B1 (en)
JP (1) JPH08502361A (en)
KR (1) KR950704679A (en)
CZ (1) CZ101195A3 (en)
DE (1) DE69307722T2 (en)
FR (1) FR2697086B1 (en)
PL (1) PL172759B1 (en)
RU (1) RU95109712A (en)
WO (1) WO1994009358A1 (en)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5715051A (en) * 1996-10-21 1998-02-03 Medar, Inc. Method and system for detecting defects in optically transmissive coatings formed on optical media substrates
KR100532238B1 (en) * 1997-03-10 2006-02-28 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Thin film inspection method, apparatus and inspection system used therein
GB9812091D0 (en) * 1998-06-05 1998-08-05 Glaverbel Defect detecting unit
GB2338309B (en) * 1998-06-13 2002-05-08 Neil Colin Hamilton Recognition apparatus for toughened glass
JP3330089B2 (en) * 1998-09-30 2002-09-30 株式会社大協精工 Inspection method and apparatus for rubber products
ES2156071B1 (en) * 1999-03-01 2002-02-01 Sevilla Juan Antonio Lasso XENON COHERENT LIGHT EQUIPMENT FOR QUALITY CONTROL IN THE GLASS MANUFACTURE.
US6521905B1 (en) * 1999-09-22 2003-02-18 Nexpress Solutions Llc Method and device for detecting the position of a transparent moving conveyor belt
JP4647090B2 (en) * 2000-12-13 2011-03-09 ローム株式会社 Inspection device for transparent laminate
US6885904B2 (en) * 2001-05-18 2005-04-26 Advanced Vision Particle Measurement, Inc. Control feedback system and method for bulk material industrial processes using automated object or particle analysis
US6629010B2 (en) 2001-05-18 2003-09-30 Advanced Vision Particle Measurement, Inc. Control feedback system and method for bulk material industrial processes using automated object or particle analysis
US7142295B2 (en) * 2003-03-05 2006-11-28 Corning Incorporated Inspection of transparent substrates for defects
DE102004005019A1 (en) * 2004-01-30 2005-08-18 Isra Glass Vision Gmbh Method for determining the depth of a defect in a glass ribbon
US7122819B2 (en) * 2004-05-06 2006-10-17 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for imager die package quality testing
DE102004026375B4 (en) * 2004-05-29 2007-03-22 Isra Glass Vision Gmbh Apparatus and method for detecting scratches
US7199386B2 (en) * 2004-07-29 2007-04-03 General Electric Company System and method for detecting defects in a light-management film
KR101332786B1 (en) * 2005-02-18 2013-11-25 쇼오트 아게 Method and apparatus for detecting and/or classifying defects
US7567344B2 (en) * 2006-05-12 2009-07-28 Corning Incorporated Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate
US7369240B1 (en) 2006-07-20 2008-05-06 Litesentry Corporation Apparatus and methods for real-time adaptive inspection for glass production
US7551274B1 (en) 2007-02-28 2009-06-23 Lite Sentry Corporation Defect detection lighting system and methods for large glass sheets
CA2681056A1 (en) * 2007-03-16 2008-10-23 Asahi Kasei Chemicals Corporation Method for inspecting defect of hollow fiber porous membrane, defect inspection equipment and production method
US7800749B2 (en) * 2007-05-31 2010-09-21 Corning Incorporated Inspection technique for transparent substrates
DE102007037812B4 (en) 2007-08-10 2023-03-16 Carl Zeiss Optotechnik GmbH Method and device for detecting surface defects in a component
EP2376694B1 (en) * 2008-11-25 2014-12-17 3M Innovative Properties Company Apparatus and method for cleaning flexible webs
JP4796160B2 (en) * 2009-02-27 2011-10-19 三菱重工業株式会社 Thin film inspection apparatus and inspection method
DE102010021853B4 (en) 2010-05-28 2012-04-26 Isra Vision Ag Device and method for optical inspection of an object
IT1402103B1 (en) * 2010-10-08 2013-08-28 Università Di Pisa METHOD AND DEVICE TO DETECT THE GEOMETRIC POSITION OF A DEFECT IN AN OBJECT
WO2012077683A1 (en) * 2010-12-09 2012-06-14 旭硝子株式会社 Method and system for measuring defect in glass ribbon
JP5874139B2 (en) * 2011-12-01 2016-03-02 国立大学法人東京工業大学 Method and apparatus for optical observation of defects in film material
US9790465B2 (en) 2013-04-30 2017-10-17 Corning Incorporated Spheroid cell culture well article and methods thereof
DE102013107215B3 (en) 2013-07-09 2014-10-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing a mirror substrate blank made of titanium-doped silica glass for EUV lithography, and system for determining the position of defects in a blank
DE202014102853U1 (en) 2014-06-23 2014-07-14 Oliver Gabriel Device for detecting the optical quality of a transparent material surface and its use
US11857970B2 (en) 2017-07-14 2024-01-02 Corning Incorporated Cell culture vessel
WO2019014610A1 (en) 2017-07-14 2019-01-17 Corning Incorporated Cell culture vessel for 3d culture and methods of culturing 3d cells
EP3649226B1 (en) 2018-07-13 2022-04-06 Corning Incorporated Microcavity dishes with sidewall including liquid medium delivery surface
WO2020013845A1 (en) 2018-07-13 2020-01-16 Corning Incorporated Cell culture vessels with stabilizer devices
WO2020013851A1 (en) 2018-07-13 2020-01-16 Corning Incorporated Fluidic devices including microplates with interconnected wells
EP3657535B1 (en) 2018-11-20 2023-02-15 Simulacions Optiques S.L. Device for testing an integrated circuit with optoelectronic emitter, manufacturing system and associated testing and manufacturing process
EP3838470A1 (en) * 2019-12-17 2021-06-23 Bystronic Laser AG Detection of foreign bodies and slag detection on a work desk
US20230314337A1 (en) * 2020-08-04 2023-10-05 Corning Incorporated Methods and apparatus for inspecting a material

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2042526A (en) * 1932-09-01 1936-06-02 Libbey Owens Ford Glass Co Sheet glass inspection apparatus
US3519362A (en) * 1968-03-12 1970-07-07 Ppg Industries Inc Glass color streak detector including a flexible background material biased against the glass
US3814946A (en) * 1972-12-04 1974-06-04 Asahi Glass Co Ltd Method of detecting defects in transparent and semitransparent bodies
JPS61207953A (en) * 1985-03-12 1986-09-16 Nec Corp Automatic appearance inspecting device
JPS6232345A (en) * 1985-08-02 1987-02-12 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd Defect detecting device
DE3611574A1 (en) * 1986-04-07 1987-10-08 Georg Markthaler Quality control device
US4914309A (en) * 1987-05-27 1990-04-03 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Discriminating type flaw detector for light-transmitting plate materials
DE3816392A1 (en) * 1988-05-13 1989-11-23 Ver Glaswerke Gmbh METHOD FOR DETERMINING THE OPTICAL QUALITY OF FLAT GLASS OR FLAT GLASS PRODUCTS
DE3926349A1 (en) * 1989-08-09 1991-02-14 Sick Optik Elektronik Erwin Optical defect inspection arrangement for flat transparent material - passes light via mirror forming image of illumination pupil on camera lens of photoreceiver

Also Published As

Publication number Publication date
WO1994009358A1 (en) 1994-04-28
CZ101195A3 (en) 1996-11-13
DE69307722T2 (en) 1997-06-12
RU95109712A (en) 1996-12-27
KR950704679A (en) 1995-11-20
PL308462A1 (en) 1995-07-24
EP0665951B1 (en) 1997-01-22
FR2697086B1 (en) 1994-12-09
US5598262A (en) 1997-01-28
FR2697086A1 (en) 1994-04-22
EP0665951A1 (en) 1995-08-09
DE69307722D1 (en) 1997-03-06
JPH08502361A (en) 1996-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PL172759B1 (en) Method of and apparatus for inspecting transparent materials
US7382457B2 (en) Illumination system for material inspection
KR100996335B1 (en) Apparatus and methods for inspecting a composite structure for inconsistencies
US6175645B1 (en) Optical inspection method and apparatus
KR102386192B1 (en) Apparatus, method and computer program product for defect detection in work pieces
US7760350B2 (en) Glazing inspection
US6011620A (en) Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects
US5459330A (en) Process and device for the inspection of glass
US7006212B2 (en) Electrical circuit conductor inspection
US4630276A (en) Compact laser scanning system
JPH0674907A (en) Detection method for defect of tranparent plate-like body
JP4847128B2 (en) Surface defect inspection equipment
JPH08292021A (en) Foreign substance inspection device
EP0071202A1 (en) Method and apparatus for optically inspecting a moving web of glass
KR20140117613A (en) Device and method for identifying defects within the volume of a transparent pane and use of the device
KR930011703B1 (en) Method and apparatus for inspecting reticle
WO2010024067A1 (en) Defect inspection method, and defect inspection device
JPH11281337A (en) Defect inspecting apparatus
WO1996005503A1 (en) Device for testing optical elements
JP2002506526A (en) Method and apparatus for inspecting an item for defects
JP2002323454A (en) Method and apparatus for inspecting defects in specimen
WO1999064845A1 (en) Defect detecting unit
JPH041507A (en) Measuring method for thickness and surface strain of object and detecting method for mixed foreign matter
JPS5860245A (en) Method and device for inspecting transparent material strip
KR200250993Y1 (en) Non-uniformity Inspection Device in Transmissive Objects