CZ101195A3 - Process and apparatus for investigating transparent material - Google Patents

Process and apparatus for investigating transparent material Download PDF

Info

Publication number
CZ101195A3
CZ101195A3 CZ951011A CZ101195A CZ101195A3 CZ 101195 A3 CZ101195 A3 CZ 101195A3 CZ 951011 A CZ951011 A CZ 951011A CZ 101195 A CZ101195 A CZ 101195A CZ 101195 A3 CZ101195 A3 CZ 101195A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
camera
thickness
light
images
defects
Prior art date
Application number
CZ951011A
Other languages
English (en)
Inventor
Yann Jutard
Jean-Jacques Sacre
Original Assignee
Thomson Csf
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson Csf filed Critical Thomson Csf
Publication of CZ101195A3 publication Critical patent/CZ101195A3/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/38Concrete; Lime; Mortar; Gypsum; Bricks; Ceramics; Glass
    • G01N33/386Glass
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8829Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry
    • G01N2021/8832Structured background, e.g. for transparent objects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G01N2021/8962Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod for detecting separately opaque flaws and refracting flaws
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G01N2021/8967Discriminating defects on opposite sides or at different depths of sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/10Scanning
    • G01N2201/102Video camera

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Způsob a zařízení pro prohlížení transparentního materiálu
Oblast techniky
Vynález se týká způsobu a zařízení pro prohlížení transparentního materiálu a vztahuje se na oblast automatického prohlížení v průmyslovém měřítku zobrazováním na výstupu výrobní linky.
Dosavadní stav technikv
Prohlížení transparentního materiálu, jako je například sklo, spočívá v detekci a zjištění polohy vnitřních kazů, vytvářených při výrobě skla. Vliv těchto kazů na kvalitu skleněného výrobku závisí na jejich počtu, jejich tvaru a normám kvality skleněného výrobku podle předpokládaného použití.
Tyto vady jsou několika jsou bublinové a zrnkové kazy. vady povahu plynových bublin, riálu, jejichž tvar se liší od vláknu nebo jehlici s poměrem délky k(šířce typů, z nichž nejdůležitější U bublinových kazů mají tyto uzavřených v roztaveném matíi1“ kuličky až k velmi protáhlému větší než deset, základních sločástice ve
U typu zrnka se jedná o vady stejnořódosti žek, které mají za následek tvorbu viditelné skle.
Velikost a tvar těchto vnitřních kazů se mění podle materiálu a hloubky v materiálu. Jejich velikost je zpravidla menší než milimetr, přičemž maximální rozlišení dosahuje desetiny milimetru.
Automatická analýza kvality materiálu je automatická detekce kazů materiálu, která přímo reaguje na jeho výrobu. Tato analýza dovoluje vyřazovat vadné výrobky, ale také používat spolehlivých statistických údajů pokud jde o počet á velikost kazů za účelem úpravy tužných parametrů výroby materiálu.
.+,
-2Ve známých prohlížecích zařízeních se používá pozorovací systém spočívající ve světelném zdroji například typu
Λ, y laseru, osvětlujícím transparentní materiál, který se má
I prohlížet. Světelné záření je po průchodu v materiálu analyzováno detekčním zařízením, citlivým na světelná záření, například kamerou CCD, a dovoluje detekci a hloubkové zjištění polohy eventuelních kazů.
Použití umělého vidění pro prohlídku transparentních materiálů a zejména skla je však v současné době omezeno nedostatkem účinnosti pokud jde o rozlišování mezi poruchami povrchu, jako jsou částice prachu ležící na povrchu materiálu, který se má prohlížet, a vnitřními kazy, které jsou skutečnými výrobními vadami uvnitř hmoty materiálu., Přítomnost prachových částic na povrchu může být totiž skutečně zdrojem^ nejasností, když se zjistí skutečná vada materiálu, ležící: v blízkosti povrchu. Částice prachu jsou osvětlovány v blízkosti světelného zdroje a mohou maskovat eventuelní kaz, ležící v blízkosti povrchu. Kromě toho určité kazy protáhlého tvaru se při styku se světelným svazkem nelesknou a nejsou; tedy zjišťovány.
Vynález si proto klade za úkol odstranit výše uvedené nedostatky .
j
Podstata vynálezu
Vynález přináší způsob prohlížení transparentního materiálu osvětlením prostřednictvím nejméně jednoho světelného zdroje, a pozorováním tlouštky materiálu nejméně jednou kamerou, jehož podstatou je, že se rovnoměrně osvětluje světlé pozadí, umístěné vzhledem ke kameře za materiálem, pro jeho zvi1 ditelnění průhledem přes materiál, pokrývající zorné pole kamery a sloužící jako referenční plocha kontrastu, přičemž se osvětluje ze strany povrch materiálu pro rozlišování kazů uvnitř materiálu od parazitních prvků uložených na jeho povrchu, přičemž se průhledem kamerou, umístěnou na svislici
-3k povrchu materiálu, zviditelňuje sled kontrastních obrazů reprodukujících tlouštku materiálu, a informace získané po sobe' následujícími obrazy, reprezentativními přo’ materiál,’ ' viděný v jeho tlouštce, se zpracovávají pro detekci a zjišťování polohy kazů uvnitř tlouštky materiálu.
Vynález se také vztahuje na prohlížecí zařízení pro provádění výše uvedeného způsobu.
Vynález má výhodu v tom, že umožňuje rozlišovat vnořené vady ve hmotě materiálu v blízkosti povrchu parazitních povrchových prvků, jako jsou částice prachu. Rovněž dovoluje zjistit.polohu.kazů. bez ohledu na jejich tvar a jejich orientaci a rovněž dovoluje měřit jejich hloubku v materiálu.
*
Přehled obrázků na výkresech
Vynález je blíže vysvětlen v následujícím popisu na příkladech provedení s odvoláním na připojené výkresy, ve kterých znázorňuje obr.l celkový pohled na prohlížecí zařízení podle vynálezu, obr.2 pohled ze strany na provedení zařízeni', z obr:l, obr.3 podrobnost zařízení podle vynálezu a obr.4 optické schéma.
Na obrázcích jsou stejnojmenné prvky označeny stejnými vsta‘hovými značkami. · · —- ·.···· -· - .....
Příklady provedeni vynálezu
Prohlížecí zařízení podle vynálezu obsahuje v provedení schematická znázorněném v půdorysném pohledu na obr.l detekční stanici 1 pro detekci a stanovování polohy vad vé“. třech rozměrech X, ‘Y, Z. Transparentní materiál 2 je položen na dopravníku, tvořeném například dvěma rovnoběžnými kolejnicemi 3^ a 32, podporujícími materiál 2, který se postupně prohlíží, když prochází pod detekční stanicí 1, přičemž posun dopravníku se provádí ve směru osy X při orientaci znázorněné šipkou. Stanice 1 poskytuje jeden nebo více neznázorněných obrazů po sobě následujících řezů materiálu 2.
-4Na obr.2 je znázorněn boční pohled na zařízení podle vynálezu. Na tomto obrázku nejsou kolejnice .3-j. ,3>2 dopravníku
Í znázorněny. Zařízení obsahuje černobílou kameru 4., používající například snímače typu CCD, pozorujícího průhledem prohlíženého materiálu 2. Podle optiky, která je jí přiřazena, kamera 4 pokrývá proměnlivou oblast materiálu s danou rozlišovací schopností. Seřízení objektivu kamery 4 je předmětem kompromisu mezi hloubkou pole pokrývajícího tlouštku materiálu 2 o velikosti několika milimetrů, a zvětšením zajišťujícím detekci vad 5 s maximální rozlišovací schopností řádově v desetinách milimetru.
Kamera 4 je umístěna na kolmici k hornímu povrchu 6 materiálu 2.
* ·
S odstupem pod materiálem 2 je umístěno slabě osvět-. .
leně světlé pozadí 7. Kamera 4 pokrývá oblast pozorování materiálu odpovídající řezu v tlouštce materiálu 2 a nedostává přímé světlo, pocházející z osvětlení světlého pozadí 7. Pro získání rovnoměrného osvětlení na pozadí 7 jsou okolo svět- .
lého pozadí 7 umístěny neonové trubice, například trubice.
8.1» 8.2' a pozadí tak rozptyluje světlo, které dopadá na jeho povrch. Může být vytvořeno například z bílého papíru. Toto světlé pozadí 7 vytváří rovinu, jejíž rovnoměrný kontrast slouží jako referenční kontrast. V příkladě pozadí z bílého papíru tak kamera 4 reprodukuje zcela bílý obraz, odpovídající řezu transparentním materiálem 2 bez kazu. Naproti tomu jakýkoli kaz 5, přítomný ve hmotě materiálu 2, je zaznamenáván na světlém pozadí 7 jako tmavá skvrna.
$ | Stranou materiálu 2 je umístěn zdroj 9^ a 92 světelného svazku, například bílého světla. Orientace světelných paprsku dopadajících na horní povrch 6 materiálu 2 je určena tak, že téměř nevnikají do materiálu 2, takže, neosvětlují kazy 5 obsažené v blízkosti povrchu 6. Osvětlení je napřík-5lad provedeno neonovými trubicemi slabého výkonu. Jsou umístěny do takového zařízení 10]^ a 102. že světelné paprsky vycházejí . všechny prakticky, vzájemně .rovnoběžně. Zařízení
10·^ a 1O2 je například tvořeno dvěma rovinnými plochami? £ uloženými rovnoběžně a sloužícími jako optický vodič pro i světelné paprsky. Cílem tohoto osvětlení je osvítit horní povrch 6 materiálu 2. Vše, co se nachází na povrchu v zorném poli kamery 4 je tak osvíceno a vychyl-uje vysokou světelnou intenzitu zpět ke kameře 4_.
Osvětlení, vedené přes povrch, může rovněž používat světelný zdroj, jehož vlnová délka dopadajících paprsků, vydávaných zdrojem, je taková, že nevnikají do materiálu s daným indexem lomu. V tomto případě jsou detektory kamery přizpůsobeny pro. zjišúování vlnových délek. Prach 11 ležící na horním povrchu 6 materiálu 2 se projevuje na obrazu rekonstituovaném kamerou 4 buď jako světlejší body, například bílé, které se odlišuji od světlého pozadí Z, které může být lehce šedavé a sloúžit jako referenční odstín kontrastu, nebo vnořené do pozadí 7.
Pod materiálem, který se má prohlížet, je mezi kolej- . nicemi 3^ a 32 mezi materiálem 2 a světlým pozadím 7 umístěn světelný zdroj-12 laserového typu, vysílající svazek svírá-, jící určený úhel a mezi spodním povrchem 14 materiálu 2 a svazkem 13. Laserový zdroj 12 se spřažen s neznázorněným prostředkem, známým jako expanzní prostředek svazku. Tento prostředek je například tvořen optickou tyčí tak, že rozšiřuje laserový svazek 13 vysílaným zdrojem 12 do jediného směru. Nakloněné uspořádání laserového zdroje 12 vzhledem ke spodnímu povrchu 14 materiálu 2 dovoluje používat pouze je- I dinou kameru 4 v případě, že materiál není rovinný, ale je 'J lehce konvexní.
Obr.3 znázorňuje částečný perspektivní pohled na výše uvedené provedení, ukazující v souřadnicovém systému X-Y-Z
-6materiál 2 osvětlený laserovým zdrojem 12. Laserový svazek
13, přizpůsobený předchozími optickými prostředky, tvoří světelnou clonu, vyznačenou šrafovanou oblastí, která odpovídá v každém okamžiku šikmému řezu materiálem 2,.
Obr.4 znázorňuje částečný řez materiálem 2 a polohu laseru 12 vzhledem k materiálu 2. Laserový svazek 13./ vysílaný laserovým zdrojem 12, prochází tlouštkou transparentního materiálu 2 a svírá úhel a se spodním povrchem 14 materiálu 2, Každý povrch 6 a 14 materiálu 2, kterým takto prochází laserový svazek 13 v bodech A a B, se přenáší na obraz vodorovnou stopovou čarou, nebo křivkou sledující zakřivení materiálu, s převyšujícím jasem vzhledem k pozadí 7. Vzdálenost mezi každou z těchto stopových čar slouží jako referenční hodnota pro výpočet hloubky kazů 5 v tlouštce materiálu^ &
vymezovaného dvěma čarami. Výška roviny řezu materiálu, J zviditelněné kamerou 4 v materiálu 2, je tak dána segmentem AB znázorněným jako průsečnice laserového svazku 13 s transparentním materiálem 2.
f '
Na obr.4 jsou znázorněny tečkovanými čarami paprsky a a b a jedná se o paprsky, vysílané laserovým svazkem 13Λ ,Jf vytvářené rozptylem na každém rozhraní vzduch/materiál a materiál/vzduch na površích 14., <5, zjišťované kamerou 4.
Tím, že jsou takto rozptýleny, vylučují oslnění kamery 4.
Toto uspořádání, aniž by jím docházelo k příliš velké absorbci záření, dovoluje zabránit násobným odrazům ve viditelném spektru. Velikost úhlu a, v němž je nakloněn laserový zdroj
12, dovoluje kromě toho zvýšit rozlišovací schopnost při mě“ ření hloubky kazů 5, nebot segment AB je delší ve srovnání se segmentem protínajícím svisle tlouštku materiálu 2. Úhel a je například 45° a nad ním se rozlišovací schopnost relativní chyby měření hloubky kazu 5 zmenšuje.
Informace poskytované stanicí 1. dovolují zjišťování polohy zobrazováním kazů ve třech rozměrech X,Y a Z. Infor-7mace o světelnosti kazu 5 kromě toho dovoluje přibližně kvantifikovat jeho velikost.
Při použití kamery 4, pracující s rychlostí 25 obrazů za sekundu a maximální rychlostí rovnoměrného posunu 5 cm za sekundu se tedy kaz 5 posouvá o 2 mm na obraz. Rychlost rovnoměrného posunu je spojena s frekvencí získávání obrazů kamerou 4 a kompromis s různými osvětleními používanými v rámci vynálezu dovoluje optimalizovat kvalitu obrazů.
Obrazy, získávané při posunu transparentního materiálu 2, neseňěho dopravníkem 3χ a J2 vzhledem ke stanici 1 pro detekci a zjišťování polohy, dovoluje získávat od jednoho obrazu na druhý informace vhodné pro následující analýzu. Světelnost dovoluje oddělovat obrazy 5, znázorňované..tmavými skvrnami na světlém pozadí 7, sloužícím jako referenční plocha. . Souřadnice. X, Y obrazových' bodů reprezentativníchpro kaz 5 a tedy tmavé skvrny dovolují určovat polohu kazu
-l v obrazu, přičemž posun těchto obrazových bodů na sledu více obrazů, například deseti.,, dovoluje .uvést do vzájemného vztahu informace, přítomné; na, těchto, .obrazech.,, a.. zvýšené Λητ. tenzity vznikající při setkání laserového svazku 13 s kazem5 dovolují vypočítávat neznázornéným počítačem jeho hloubku v materiálu, 2.
Pro oddělování tmavých skvrn odpovídajících kazům od světlého pozadí 7, jakož i eventuelně od nadměrných jasů vyplývajících z přítomnosti prachu 11 počítač používá například metodu výpočtu adaptivním prahem a/nebo detekce obrysu .
Z více sbíraných informací se při způsobu dále provádí sledování kazu 5 v tlouštce materiálu 2·, reprezentovaného tmavým bodem a po té jasným bodem při přechodu kazu 5 do laserového svazku 33, a prachových částic 11, reprezentovaných body světlejšími než pozadí 7 nebo vnořenými ro rovnoměrného
-8kontrastu pozadí 7 od jednoho obrazu na druhý. Využití redundance informací tak činí detekci kazů spolehlivější.
Zpracovávání obrazu prováděného počítačem je tak místě zaostřené na oblasti blízké předpokládanému kazu 5, aby se vzal v úvahu jeho tvar, jeho jas atd. jemná analýza této oblasti používá například předvidací algoritmus používající metodu statistické korelace.
Vynález se neomezuje na způsob a zařízení pro prohlížení, jaké byly výše popsány. Zejména byl popsán dopravník, na němž je unášen transparentní materiál, který se přesouvá vzhledem ke svislici pozorovací stanice. Je však možné použít, aniž by se opustil rámec vynálezu, pohyblivý pozorovací prostředek přičemž prohlížený materiál zůstává nehybný. Toto uspořádání je obzvláště vhodné pro velké prohlížené di-., iy.
Dále může osvětlení bílým světlem sledující povrch a osvětlení světlého pozadí provedeny světelnými zdroji odlišné povahy vůči těm, jaké byly popsány, a uzpůsobené typu snímače používaného kamerou. Důležitým omezením, které je třeba respektovat, je poskytnout celkové osvětlení dovolující kameře rozlišit parazitní prvek od povrchu vnitřního kazu.
Konečně je možné, aniž by se opustil vynález, spojit s prostředkem pro detekci a lokalizaci druhý totožný prostředek, uspořádaný vzájemně opačně vůči prvnímu, pro detekci parazitních prvků povrchu, uložených na dolním povrchu materiálu.

Claims (9)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Způsob prohlížení transparentního materiálu (2) osvětlením prostřednictvím nejméně jednoho světelného zdro- li je, a pozorováním tlouštky materiálu (2) nejméně jednou ka- y měrou (4), vyznačený tím, , že se rovnoměrně osvětluje světlé pozadí (7), umístěné vzhledem ke kameře (4) za materiálem, pro jeho zviditelnění průhledem přes materiál (2), pokrývající zorné pole kamery (4) a sloužící jako referenční plocha kontrastu, přičemž se osvětluje ze strany povrch materiálu (2) pro rozlišování kazů (5) uvnitř materiálu (2) od parazitních prvků (11) uložených na jeho povrchu, přičemž se průhledem kamerou (4), umístěnou na svislici k povrchu materiálu (2), zviditelňuje sled kontrastních obrazů reprodukujících tlouštku materiálu (2), a informace získané po sobě následujícími obrazy, reprezentativními pro materiál (2), viděný v jeho tlouštce, se zpracovávají pro detekci a zjišťování polohy kazů (5) uvnitř tlouštky materiálu (2).
  2. 2. Způsob podle nároku.1 vyznačený tím, že se dále provádí,osvětlení laserovým svazkem .(13),. procházejícím materiálem (2) v jeho tlouštce a nakloněným vzhledem k jehopovrchu pro vytváření rovinné a šikmé světelné clony, v zorném poli kamery (4), a průhledem kamerou (4) se zviditelňuje sled kontrastních obrazů, reprodukujících po sobě následující řezy materiálem (2).
    I
  3. 3. Způsob podle nároku 1 nebo 2 vyznačený tím, že se informace získané obrazy poskytované kamerou (
  4. 4) zpracovávají a oddělují se tmavé skvrny, odpovídající kazům (5) uvnitř tlouštky materiálu (2), od světlého pozadí (7), sloužící jako referenční plocha kontrastu, přičemž se určují souřadnice (X, Y) obrazových bodů reprezentativních pro kazy na obrazu, a informace získané na více obrazech se uvádějí do vzájemného stavu a vypočítává se hloubka kazů (5) osvětlovaných laserovým svazkem (13) na základě světelných stop re-10prezentativních pro tlouštku materiálu (2), sloužících jako referenční prostředek pro výpočet.
    >> 4. Způsob podle kteréhokoli z nároků 1 až 3 vyznačený | tím, že se zviditelňují po sobě následující řezy materiálem (2) a materiál (2) se posouvá na dopravníku (3^, 32) podporujícím ho ve vodorovné rovině (XY) pod fixním prostředkem (1) pro detekci a zjišťování polohy.
  5. 5. Způsob podle nároku 4 vyznačený tím, že se dále spojuje první fixní prostředek (1) s druhým totožným prostředkem, umístěným v opačném směru, pro zviditelňování parazitních prvků, uložených na jedné i druhé straně transparentního materiálu (2).
    .5
  6. 6. Zařízení pro provádění způsobu podle kteréhokoliz nároku 1 až 5 vyznačené tím, že obsahuje nejméně jeden prostředek (1) pro detekci a zjišťování polohy, obsahující kameru (4), uloženou na svislici k materiálu (2), který se má prohlížet, pro zviditelňování sledu obrazů reprezentujících po sobě následující řezy v tlouštce materiálu (2), světlé pozadí (7), umístěné vzhledem ke kameře (4) za mate-b riálem (2), pokrývající zorné pole kamery (4), zdroj (9^, 92) postranního osvětlení materiálu (2), jehož světelný svazek je odrážen povrchem materiálu (2) ke kameře (4), zdroj osvětlení typu laseru (12), spojený s prostředky rozšiřování svazku v jediném směru pro vytváření šikmé světelné clony, určené k osvětlování po sobé následujících řezových rovin v tlouštce materiálu (2), a počítač pro zpracovávání obrazů pro detekci a zjišťování polohy vad (5) v tlouštce materiálu
  7. 7. Zařízení podle nároku 6 vyznačené tím, že zdroj osvětleni typu laseru (12) je uložen vzhledem ke kameře (4) za materiálem (2) pro vytváření šikmé světelné clony.
  8. 8. Zařízení podle nároku 6 nebo 7 vyznačené tím, že počítač obsahuje ústrojí pro vypočítávání adaptivním prahem a/nebo pro detekci obrysu pro oddělování tmavých skvrn od světlého pozadí (7).
  9. 9. Zařízení podle kteréhokoli z nároků & až 8 vyznačené tím, že počítač obsahuje předvídací ústrojí pro detekci kazů (5) na po sobě následujících obrazech při použití metody statistické korelace.
CZ951011A 1992-10-20 1993-10-13 Process and apparatus for investigating transparent material CZ101195A3 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9212526A FR2697086B1 (fr) 1992-10-20 1992-10-20 Procédé et dispositif d'inspection de matériau transparent.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ101195A3 true CZ101195A3 (en) 1996-11-13

Family

ID=9434692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ951011A CZ101195A3 (en) 1992-10-20 1993-10-13 Process and apparatus for investigating transparent material

Country Status (10)

Country Link
US (1) US5598262A (cs)
EP (1) EP0665951B1 (cs)
JP (1) JPH08502361A (cs)
KR (1) KR950704679A (cs)
CZ (1) CZ101195A3 (cs)
DE (1) DE69307722T2 (cs)
FR (1) FR2697086B1 (cs)
PL (1) PL172759B1 (cs)
RU (1) RU95109712A (cs)
WO (1) WO1994009358A1 (cs)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5715051A (en) * 1996-10-21 1998-02-03 Medar, Inc. Method and system for detecting defects in optically transmissive coatings formed on optical media substrates
KR100532238B1 (ko) * 1997-03-10 2006-02-28 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 박판막 검사방법, 이에 사용되는 장치 및 검사시스템
GB9812091D0 (en) * 1998-06-05 1998-08-05 Glaverbel Defect detecting unit
GB2338309B (en) * 1998-06-13 2002-05-08 Neil Colin Hamilton Recognition apparatus for toughened glass
JP3330089B2 (ja) 1998-09-30 2002-09-30 株式会社大協精工 ゴム製品の検査方法及び装置
ES2156071B1 (es) * 1999-03-01 2002-02-01 Sevilla Juan Antonio Lasso Equipo de luz coherente xenon para el control de calidad en la fabricacion del vidrio.
US6521905B1 (en) * 1999-09-22 2003-02-18 Nexpress Solutions Llc Method and device for detecting the position of a transparent moving conveyor belt
JP4647090B2 (ja) * 2000-12-13 2011-03-09 ローム株式会社 透明積層体の検査装置
US6885904B2 (en) * 2001-05-18 2005-04-26 Advanced Vision Particle Measurement, Inc. Control feedback system and method for bulk material industrial processes using automated object or particle analysis
US6629010B2 (en) 2001-05-18 2003-09-30 Advanced Vision Particle Measurement, Inc. Control feedback system and method for bulk material industrial processes using automated object or particle analysis
US7142295B2 (en) * 2003-03-05 2006-11-28 Corning Incorporated Inspection of transparent substrates for defects
DE102004005019A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-18 Isra Glass Vision Gmbh Verfahren zur Bestimmung der Tiefe eines Fehlers in einem Glasband
US7122819B2 (en) * 2004-05-06 2006-10-17 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for imager die package quality testing
DE102004026375B4 (de) * 2004-05-29 2007-03-22 Isra Glass Vision Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Kratzern
US7199386B2 (en) * 2004-07-29 2007-04-03 General Electric Company System and method for detecting defects in a light-management film
KR101332786B1 (ko) * 2005-02-18 2013-11-25 쇼오트 아게 결함 검출 및/또는 분류 방법 및 장치
US7567344B2 (en) * 2006-05-12 2009-07-28 Corning Incorporated Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate
US7369240B1 (en) 2006-07-20 2008-05-06 Litesentry Corporation Apparatus and methods for real-time adaptive inspection for glass production
US7551274B1 (en) 2007-02-28 2009-06-23 Lite Sentry Corporation Defect detection lighting system and methods for large glass sheets
KR20100004927A (ko) * 2007-03-16 2010-01-13 아사히 가세이 케미칼즈 가부시키가이샤 중공사 다공막의 결함 검사 방법, 결함 검사 장치 및 제조 방법
US7800749B2 (en) * 2007-05-31 2010-09-21 Corning Incorporated Inspection technique for transparent substrates
DE102007037812B4 (de) * 2007-08-10 2023-03-16 Carl Zeiss Optotechnik GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils
WO2010065270A2 (en) * 2008-11-25 2010-06-10 3M Innovative Properties Company Apparatus and method for cleaning flexible webs
JP4796160B2 (ja) * 2009-02-27 2011-10-19 三菱重工業株式会社 薄膜の検査装置及び検査方法
DE102010021853B4 (de) 2010-05-28 2012-04-26 Isra Vision Ag Einrichtung und Verfahren zur optischen Überprüfung eines Gegenstands
IT1402103B1 (it) * 2010-10-08 2013-08-28 Università Di Pisa Metodo e dispositivo per rilevare la posizione geometrica di un difetto in un oggetto
WO2012077683A1 (ja) * 2010-12-09 2012-06-14 旭硝子株式会社 ガラスリボン内欠陥測定方法およびガラスリボン内欠陥測定システム
JP5874139B2 (ja) * 2011-12-01 2016-03-02 国立大学法人東京工業大学 膜材料の欠陥の光学的観察方法および装置
US9790465B2 (en) 2013-04-30 2017-10-17 Corning Incorporated Spheroid cell culture well article and methods thereof
DE102013107215B3 (de) 2013-07-09 2014-10-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Spiegelsubstrat-Rohlings aus Titan-dotiertem Kieselglas für die EUV-Lithographie, sowie System zur Positionsbestimmung von Defekten in einem Rohling
DE202014102853U1 (de) 2014-06-23 2014-07-14 Oliver Gabriel Vorrichtung zur Detektion der optischen Güte einer transparenten Materialoberfläche sowie deren Verwendung
CN107109328B (zh) 2014-10-29 2021-02-05 康宁股份有限公司 细胞培养插入件
US11857970B2 (en) 2017-07-14 2024-01-02 Corning Incorporated Cell culture vessel
EP3652290B1 (en) 2017-07-14 2022-05-04 Corning Incorporated 3d cell culture vessels for manual or automatic media exchange
WO2019014610A1 (en) 2017-07-14 2019-01-17 Corning Incorporated CELL CULTURE CONTAINER FOR 3D CULTURE AND METHODS OF CULTURING 3D CELLS
PL3649226T3 (pl) 2018-07-13 2022-05-16 Corning Incorporated Płytki mikrodołkowe z boczną ścianką zawierającą powierzchnię dostarczającą płynną pożywkę
EP3649229B1 (en) 2018-07-13 2021-08-25 Corning Incorporated Cell culture vessels with stabilizer devices
US11661574B2 (en) 2018-07-13 2023-05-30 Corning Incorporated Fluidic devices including microplates with interconnected wells
ES2942576T3 (es) 2018-11-20 2023-06-02 Simulacions Optiques S L Dispositivo de verificación de un circuito integrado con un emisor optoelectrónico, sistema de fabricación y procedimiento de verificación y de fabricación correspondiente
EP3838470A1 (de) * 2019-12-17 2021-06-23 Bystronic Laser AG Fremdteil- und schlackendetektion an einem arbeitstisch
US20230314337A1 (en) * 2020-08-04 2023-10-05 Corning Incorporated Methods and apparatus for inspecting a material
CN113899760A (zh) * 2021-09-30 2022-01-07 长沙韶光铬版有限公司 一种玻璃基板的检测方法、装置、电子设备及存储介质

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2042526A (en) * 1932-09-01 1936-06-02 Libbey Owens Ford Glass Co Sheet glass inspection apparatus
US3519362A (en) * 1968-03-12 1970-07-07 Ppg Industries Inc Glass color streak detector including a flexible background material biased against the glass
US3814946A (en) * 1972-12-04 1974-06-04 Asahi Glass Co Ltd Method of detecting defects in transparent and semitransparent bodies
JPS61207953A (ja) * 1985-03-12 1986-09-16 Nec Corp 自動外観検査装置
JPS6232345A (ja) * 1985-08-02 1987-02-12 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 欠点検出装置
DE3611574A1 (de) * 1986-04-07 1987-10-08 Georg Markthaler Vorrichtung zur qualitaetskontrolle
KR960012330B1 (ko) * 1987-05-27 1996-09-18 마쓰무라 미노루 투광판재의 식별형 결점 검출 장치
DE3816392A1 (de) * 1988-05-13 1989-11-23 Ver Glaswerke Gmbh Verfahren zur bestimmung der optischen qualitaet von flachglas oder flachglasprodukten
DE3926349A1 (de) * 1989-08-09 1991-02-14 Sick Optik Elektronik Erwin Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
WO1994009358A1 (fr) 1994-04-28
DE69307722D1 (de) 1997-03-06
PL172759B1 (en) 1997-11-28
EP0665951B1 (fr) 1997-01-22
JPH08502361A (ja) 1996-03-12
EP0665951A1 (fr) 1995-08-09
RU95109712A (ru) 1996-12-27
FR2697086B1 (fr) 1994-12-09
DE69307722T2 (de) 1997-06-12
KR950704679A (ko) 1995-11-20
FR2697086A1 (fr) 1994-04-22
US5598262A (en) 1997-01-28
PL308462A1 (en) 1995-07-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ101195A3 (en) Process and apparatus for investigating transparent material
JP5932110B2 (ja) 原石のインクルージョンを検出/同定する方法および機器
US5459330A (en) Process and device for the inspection of glass
KR100756254B1 (ko) 투명 매체의 다크뷰 검사 시스템
US7760350B2 (en) Glazing inspection
US4675730A (en) Video surface inspection system
FI94551B (fi) Menetelmä ja laite liikkuvan työkappaleen pintaprofiilin tarkkailemiseksi
US4895446A (en) Particle detection method and apparatus
US4630276A (en) Compact laser scanning system
US20210341353A1 (en) System and method for inspecting optical power and thickness of ophthalmic lenses immersed in a solution
US5128550A (en) Method of and an apparatus for testing large area panes for optical quality
KR20220047684A (ko) 워크 피스들에서의 결함 검출을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품
IL138414A (en) Apparatus and method for optically measuring an object surface contour
EP0071202A1 (en) Method and apparatus for optically inspecting a moving web of glass
GB2095828A (en) Detection of defects in fibrous arrays
CN114018944A (zh) 一种单晶硅棒自动检测系统及检测方法
CN111351805A (zh) 光源模块、浮法玻璃在线缺陷检测装置及其检测方法
CN212207156U (zh) 光源模块、浮法玻璃在线缺陷检测装置
WO1999064845A1 (en) Defect detecting unit
JP3822567B2 (ja) 移動するストリップの自動表面検査装置
JPH041507A (ja) 被験体の厚さ及び表面歪み測定方法並びに混入異物検出方法
CN117929376B (zh) 一种基于主动光源的植物叶片透射与反射纹理影像同步采集装置与方法
JP4002139B2 (ja) 非破壊検査装置
KR19980065419U (ko) 투과형 물체 내부의 불균일 검사장치
JP2002055054A (ja) シートの検査方法およびシートの製造方法