KR950701604A - 합성 유리질 실리카 바디용 열처리 설비 - Google Patents

합성 유리질 실리카 바디용 열처리 설비

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Abstract

고순도의 합성 시리카 바디의 열처리에 적당한 유도 가열 노는 수직으로 설치된 관상 지지체(1)와 수용체의 온도를 상승 시키기 위한 유도 코일(3)을 포함하고 있음. 수용체는 흑연 및/또는 실리콘 카바이드로 제조되었고 액체 냉각 유도 코일로 둘러싸인 유리질 실리카 또는 용융석영으로 형성된 진공 외피(2)로 둘러 싸여있음. 진공외피(2)는 관상 수용체(1)이 1700℃로 가열되었을때 일어날 수 있는 외피의 탈유리질화 또는 변형 온도이하에서 작업 되도록 설계되었음.
다공성 합성 실리카 바디(9)의 소결은 대기압 또는 감압 분위기에서 진행되게 되었으며, 노는 가열한 바디를 지자하여 관상 수용체(1)의 중심축을 따라 승강 및 회전 운동을 할 수 있는 샤프트를 갖고 있음.

Description

합성 유리질 실리타 바디용 열처리 설비
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 노 조립체의 종단면도이고,
제2도는 장입 위치에 있는 매연 바디를 받아 들이는 상부 노 부분의 단면도이며,
제3도는 매연 바디를 중부 및 하부 노 부분으로 통과 시키는 과정을 보인 제1도에 도시된 노 조리체의 단면도이고,
제4도는 장입 준비 상태를 보인 상부 노 부분의 단면도이다.

Claims (8)

  1. 합성 실리카 바디를 고순도의 상태로 열처리하는데 적당한 유도 열처리 노에 있어서, 이노가 수직으로 설치된 관상 수용체와 수용체의 온도를 상승 시키기 위한 액체 냉각 유도 코일을 포함하고, 수용체는 흑연 및/또는 실리콘 카바이드로 제조되고 유리질 실리카 또는 용융 석영으로 형성된 진공 외피내에 설치 되어 있으며, 외피는 관상 지지체가 1700℃의 온도로 가열되었을때, 일어날 수 있는 외피의 탈유리질화 또는 변형이 일어나는 온도 이하에서 외피가 작업 되도록 구성된 액체 냉각 유도 코일에 둘러싸여 있고 다공성 합성 실리카 바디의 열처리 및/또는 소결이 대기압 또는 감압하에 진행될수 있도록 되었으며 노의 내부에는 가열할 바디를 지지하여 관상 수용체의 종측을 따라 승강 이동하거나 회전 운동을 할 수 있는 샤프트가 설치 되었음을 특징으로 하는 유도 가열노.
  2. 청구범위 1항에서, 유도 코일이 관상 수용체 보다 짧고 관상 수용체 내부의 다공성 합성 실리카 바디를 점진적인 가열 처리 또는 대역-소결할 수 있도록 관상 수용체의 종축을 따라 이동하는 가열 대역을 제공하도록 외피의 외주에 승강 이동할 수 있게 설치 되었음을 특징으로 하는 유도 가열 노.
  3. 청구범위 1항 또는 2항에서, 진공 외피가 하단에 개폐 장치를 갖고 있고 노를 한 처리 구역에서 다른 처리 구역으로 수평 이동시키는 캐리지 또는 그에 유사한 이송 지지 장치에 지지되었으며 개폐 장치에 의하여 축선상에 배치된 다른 열처리 장치에 결합되게 되었음을 특징으로 하는 유도 가열 노.
  4. 최소한 상하 2개의 노 챔버를 포함하는 다공성 합성 실리카 바디의 열처리 및/또는 소결용 조립체에 있어서, 상부 노는 실리카 매연 바디의 증착에 사용되는 설비 위까지 이동할 수 있는 청구범위 1항의 노로서 매연 바디를 하방으로부터 노 내로 장입하여 제어된 가스 분위기 및 제어된 온도와 압력하에 대역 소결이 일어나는 제2노챔버의 상부까지 제어된 가스 분위기와 온도하에서 이동시킬 수 있도록 된 것임을 특징으로 하는 조립체.
  5. 청구범위 1항 내지 3항중의 한항에 청구된 유도 가열 노 또는 청구범위 4항의 조립체내에서 진공, 무염소가스 분위기, 수소분위기, 수소함유 무염소 분위기, 중수소 함유 가스 분위기 및 염소-또는 불소함유 가스 분위기중의 하나 또는 그 이상의 분위기 하에 열처리하는 공정을 포함하는 다공성 합성 실리카 바디의 탈수 공정.
  6. 청구범위 1항 내지 3항중의 한 항에 청구된 유도 가열노 또는 청구범위 4항의 조립체내에서 불소함유가스의 분위기에서 열처리 및/또는 소결하는 공정을 포함하는 불소 함유 합성 실리카 유리 바디의 제조방법.
  7. 청구범위 1항 내지 3항중의 한 항에 청구된 유도 가열 노 또는 청구범위 4항의 조립체에서 진공 또는 수소 함유가스가 없는 분위기에서 소결한 실리카 바디를 수소 또는 암모니아, 메틴이나 기타의 탄화수소, 모노실란 또는 폴리실란 및 이들의 혼합물중에서 선택한 수소함유 무염소 환원가스를 함유하는 가스분위기나 또는 수소가 없는 대기중에서 높은 OH 레벨의 다공성 합성 실리카 바디를 열처리하여 10ppm OH 이하의 하이드록실 함량을 갖는 합성 실리카 유리를 제조하는 방법.
  8. 청구범위 1항 내지 3항중의 한항에 청구된 유도 가열 노 또는 청구범위 4항의 조립체 내에서 진공 또는 수소나 중수소 함유 가스가 없는 분위기에서 소결한 실리카 바디를 중 수소 또는 중수소 함유 무염소 환원가스 분위기하에 높은 OH 레벨의 다공성 실리카 바디를 열처리하여 10ppm OH 이하의 하이드록실 함량을 갖는 합성 실리카 유리를 제조하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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