KR950033751A - 액티브 진동분리 시스템 - Google Patents

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KR950033751A
KR950033751A KR1019950005026A KR19950005026A KR950033751A KR 950033751 A KR950033751 A KR 950033751A KR 1019950005026 A KR1019950005026 A KR 1019950005026A KR 19950005026 A KR19950005026 A KR 19950005026A KR 950033751 A KR950033751 A KR 950033751A
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더블류. 슈베르트 데일
마이클 비어드 앤드류
프랭크 세드 스티븐
쥬니어 마리온 리차드 얼스
에이치. 폰 플로토 안드레아스
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브라이언 알. 오도넬
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Abstract

본 발명은 지지된 페이로드에서 진동을 분리하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 센서와 보강 작동기를 이용한 액티브 진동분리 시스템에 관한 것이다. 이 진동불리 시스템(10)은 케이스(300)내부의 소형 물체(18)를 지지하는 압전모터(12a-c:284:350)등의 복수의 보강 작동기를 포함한다. 소형 물체(18)와 페이로드(Mp)사이에는 패시브 분리기(20)가 설치된다. 보강 작동기가 압전모터인 경우, 케이스(300)의 측벽은 수평의 압전모터들 각각의 가변 길이를 따라 압축력을 가하여 대미지를 방지하는데 이용된다. 속도센서(17)와 작동기사이에는 시스템(10)에서 작동기의 가변길이를 제어하고 공진 모드를 보상하기 위한 보상회로(24)를 연결한다. 또는, 추가로 제어를 하기 위해 페이로드 속도센서(26)와 관련 회로망을 이용할 수도 있다. 모터에 작용하는 전단력을 최소화하는데는 압전모터와 함께 전단 디커플러를 이용한다.

Description

액티브 진동분리 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 2축선을 따른 분리를 보여주는 액티브 진동분리 시스템의 물리적 블럭도; 제6도는 액티브 진동불리 시스템의 제1실시예의 사시도; 6a도는 6도의 좌표도.

Claims (80)

  1. 소정 범위의 질량을 갖는 페이로드를 진동원에서 분리하는 액티브 진동분리시스템으로서: 상기 소정 범위의 페이로드 질량보다 적어도 1단위 작은 질량을 갖는 소형 물체; 제1및 제2의 양쪽 표면을 갖고, 이들 평면사이의 길이가 가변적이며, 축선과 정렬되고, 상기 제1표면은 상기 소형 물체에 결합되는 적어도 하나의 보강작동기; 상기 소형 물체와 페이로드 사이에 배치되는 패시브 분리기; 상기 소형 물체에 결합되고 이 소형 물체의 운동의 함수인 센서신호를 생성하기에 적합한 센서; 및 상기 보강 작동기에 상기 센서를 결합하고 상기 센서신호를 수신하기에 적합하며, 상기 시스템이 소정 범위의 진동주파수와 페이로드 질량에 걸쳐 안정되도록 상기 센서 신호를 변화시키기 위한 보상회로망과, 상기 변화된 센서신호의 함수로서 상기 보강 작동기의 길이를 변화시키도록 상기 보강 작동기에 결합된 제어회로망을 포함한 회로망;을 구비하고, 상기 페이로드와 진동원 사이에 배치되기에 적합한 액티브 진동분리 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보강 작동기가 압전모터인 액티브 진동분리 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 페이로드의 질량에 대한 상기 소형 물체의 질량의 비가 1/50-1/200범위에 있는 액티브 진동분리 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 패시브 분리기가 탄성중합체로 구성되는 액티브 진동분리 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 고정 작동기는 제1및 제2의 양쪽 표면을 갖고 이들 양 표면 사이에서 가변적인 길이를 갖는 제1, 제2, 제3보강 작동기중의 적어도 하나이고, 상기 제1, 제2, 제3보강 작동기들 각각은 나머지 보강 작동기들과 관련된 축선에 각도를 이루는 축선과 정렬되어 있으며, 상기 보강 작동기들 각각의 제1표면은 상기 소형 물체에 결합되어 3개 축선 각각을 따라 상기 진동원에서 상기 페이로드를 분리하는 기능을 하는 액티브 진동분리 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 축선들이 서로 직교하는 액티브 진동분리 시스템.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1보강 작동기의 상기 제1표면은 상기 제1표면과 상기 소형 물체 사이에 배치된 전단 디커플러에 의해 상기 소형 물체에 결합되는 액티브 진동분리 시스템.
  8. 제5항에 있어서, 상기 센서는 상기 소형 물체에 결합된 제1, 제2, 제3센서들중의 하나이고, 상기 센서들 각각은 상기 축선들 각각에 평행한 방향으로의 상기 소형 물체의 운동을 감지하며, 제1, 제2, 제3보강회로들을 통해 상기 센서들 각각이 상기 제1, 제2, 제3보강 작동기들 각각에 결합되는 액티브 진동분리 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 상기 센서신호는 속도신호이고, 상기 회로망에는 상기 속도신호를 적분하여 변위신호를 유도하고 이 변위신호의 출력을 갖는 속도 적분기가 있으며, 상기 회로망이 상기 속도적분기의 상기 출력에 결합되는 액티브 진동분리 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 보상회로망에는 상기 신서로 부터의 DC전압을 차단하는 DC차단회로가 있는 액티브 진동분리 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 DC차단회로는 전달함수로서를 갖고, S는 라플라스변환 연산자이며 W1은 약 0.3Hz의 주파수인 액티브 진동분리 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 상기 DC 차단회로가 아날로그 스테이지인 액티브 진동분리시스템.
  13. 제1항에 있어서, 상기 보상회로망은전달함수를 갖는 저주파 보상회로를 포함하고, S는 라플라스 변환 연산자, Tc1은 소정의 제1시정수, Tc2는 상기 제1시정수보다 약 20배 짧은 소정의 제2 시정수인 액티브 진동분리 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 센서는 서스펜션 주파수를 갖고, Tc1이 상기 서스펜션 주파수에 대략 어울리는 액티브 진동분리 시스템.0
  15. 제1항에 있어서, 상기 소정 범위의 질량이 500-2,0001b인 액티브 진동분리 시스템.
  16. 제1항에 있어서, 상기 보상회로망에는 상기 패시브 분리기의 공진주파수 영역에서 앞서는 위상 리드(phase lead)를 추가하는 리드위상 증가회로가 있는 액티브 진동분리 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 상기 리드위상 증가회로가 적어도 40도의 상기 주파수 영역에서 상기 센서신호의 위상 시프트를 일으키는 액티브 진동분리 시스템.
  18. 제16항에 있어서, 상기 리드위상 증가회로가 극과 제로가 각각 2개인 2개의 직렬연결 아날로그 리드래그 스테이지들을 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
  19. 제1항에 있어서, 상기 보상회로망에는 상기 센서신호상에서 동작하여 상기 보강 작동기와 상기 소형물체의 스프링상수에 의해 형성된 공진주파수보다 상당히 작은 주파수 도메인내의 한 포인트에서 게인을 1까지 감소시키는 게인감소회로가 있는 액티브 진동분리 시스템.
  20. 제19항에 있어서, 상기 고주파 게인감소회로는의 전달함수를 갖고, S는 전달함수 연산자이고 1/Tc3는 주파수 도메인내에서의 상기 1게인 포인트인 액티브 진동분리 시스템.
  21. 제19항에 있어서, 상기 고주파 게인감소회로가 아날로그 회로인 액티브 진동분리 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 상기 고주파 게인감소회로는 상기 1게인 포인트보다 앞의 제1주파수에서는 극을 갖고 상기 1게인 포인트 이후의 제2주파수에서는 제로를 갖는 2개의 직렬연결 래그 리드 회로로 구성되는 액티브 진동분리 시스템.
  23. 제19항에 있어서, 상기 공진주파수가 약 1500Hz이고, 상기 주파수 도메인내의 상기 1게인 포인트가 약 350Hz로 설정되는 액티브 진동분리 시스템.
  24. 제1항에 있어서, 상기 보상회로망에는 상기 소형 물체, 상기 페이로드 및 상기 패시브 분리기의 상호작용으로 유발된 공진주파수에서 낮은 게인의 노치를 갖는 노치필터회로가 있는 액티브 진동분리 시스템.
  25. 제24항에 있어서, 상기 노치필터회로의 노치가 약 300Hz인 액티브 진동분리 시스템.
  26. 제24항에 있어서, 상기 노치필터의 DC 게인의 거의 1인 액티브 진동분리 시스템.
  27. 소의 범위 질량을 갖는 페이로드를 진동 바닥면에서 분리하는 액티브 진동 분리시스템으로서: 상기 소정 범위의 페이로드 질량보다 적어도 1단위 작은 질량을 갖는 소형 물체; 제1및 제2의 양쪽 표면을 갖고, 이들 표면 사이의 길이가 가변적이며, 상기 가변 길이는 수신된 작동기 제어신호에 응답해 변화하고 상기 제1표면은 상기 소형 물체에 결합되어 상기 소형 물체를 지나는 축선에 평행하게 배치되는 적어도 하나의 보강 작동기; 상기 소형 물체와 페이로드 사이에 배치되고 상기 작동기에 대향하는 축선상에 배치되는 패시브 분리기; 및 상기 소형 물체상에 장착되어 소형 물체의 절대속도를 측정하고 속도신호를 생성하는 지오폰으로서, 상기 지오폰과 상기 보강 작동기에 결합된 회로망에서 상기 속도신호를 수신하고 적분하여 변위신호를 구하며, 상기 변위신호의 함수로서 상기 작동기 제어신호를 생성하는 지오폰;을 포함하고, 상기 페이로드와 진동원 사이에 배치되는 액티브 진동분리 시스템.
  28. 제27항에 있어서, 상기 보강 작동기가 상기 소형 물체와 진동원 사이에 배치되는 액티브 진동분리 시스템.
  29. 제28항에 있어서, 상기 페이로드의 질량에 대한 상기 소형 물체의 질량의 비가 1/50-1/200범위에 있는 액티브 진동분리 시스템.
  30. 소정 범위내의 질량을 갖고 제1축선을 따라 패시브 분리기 장착대에 힘을 가하는 페이로드를 지지하기에 적합한 패시브 분리기 장착대; 상기 페이로드에 결합되어 상기 제1축선에 팽행한 방향으로 페이로드의 절대속도를 감지하는 적어도 하나의 페이로드 속도센서; 상기 패시브 분리기 장착대를 지지하고 상기 페이로드 반대쪽에 배치되며, 상기 페이로드의 질량보다 적어도 1단위 낮은 질량을 갖는 소형 물체; 상기 소형 물체에 결합되어 상기 제1축선에 평행한 방향으로 소형 물체의 절대 속도를 감지하는 적어도 하나의 소형 물체 속도센서;상기 소형 물체에 인접해 상기 패시브 분리기 장착대 반대쪽에 배치되고, 그 길이는 이곳에 인가된 제어신호의 함수로서 변하도록 상기 제1축선과 정렬되는 적어도 하나의 보강 작동기; 및 상기 센서들에 결합된 입력들과 상기 제1보강 작동기에 결합된 적어도 하나의 출력을 갖고, 상기 센서로 부터 상기 입력에 나타나는 입력신호의 함수로서 발생되는 제어신호로 상기 페이로드의 진동을 보상하도록 상기 제1보강 증폭기를 제어하도록 작동하는 제어기;를 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
  31. 제30항에 있어서, 상기 제어기는 상기 소형 물체의 속도신호를 적분하여 변위신호를 구하는 적분기를 포함하고 상기 소형 물체의 변위신호의 함수로서 상기 제어신호를 생성하는 액티브 진동분리 시스템.
  32. 제 30항에 있어서, 상기 보강 작동기가 압전모터인 액티브 진동분리 시스템.
  33. 제30항에 있어서, 상기 페이로드의 질량에 대해 상기 소형 물체의 질량의 비고 1/50-1/200 범위에 있는 액티브 진동분리 시스템.
  34. 제30항에 있어서, 상기 제1축선에 각을 이루는 제2축선을 따라 상기 소형 물체와 물리적으로 연결되고 그 길이는 인가된 제2제어신호의 함수로서 상기 제2축선을 따라 가변적인 적어도 하나의 레이디얼 보강작동기; 상기 페이로드에 결합되어 상기 제2축선에 평행한 방향으로 페이로드의 제2절대속도를 감지하고 속도신호를 생성하는 제2페이로드 센서; 상기 소형 물체에 결합되어 상기 제2축선에 평행한 방향으로 소형 물체의 제2속도를 감지하고 속도신호를 생성하는 제2소형 물체 센서; 및 상기 제2페이로드와 소형 물체 속도신호들을 수신하고 이 제2신호를 함수로서 전달하는 제어기;를 포함하고, 상기 레이디얼 보강 작동기는 상기 제2제어신호에 의해 제어되는 상기 제2축선에 평행한 방향으로 발생하는 진동을 보상하는 액티브 진동분리 시스템.
  35. 제34항에 있어서, 상기 축선들이 서로 직교하는 액티브 진동분리 시스템.
  36. 제34항에 있어서, 상기 보강 작동기에 인접한 레이디얼 전단 디커플와 상기 제1보강 작동기에 인접한 제1전단 디커플러를 더 포함하고, 상기 전단 디커플러 각각은 각각의 축선에 직교하는 방향으로 상기 보강작동기를 각각이 받는 전단력을 감소 시키도록 작동하는 액티브 진동분리 시스템.
  37. 제34항에 있어서, 상기 소형 물체와 물리적으로 연결되고 상가 제1, 제2축선에 각을 이루는 제3축선을 따라 배치되며, 그 길이는 인가된 제3제어신호의 함수로서 가변적으로 상기 제3축선과 정렬되는 제2레이디얼보강 작동기; 상기 페이로드에 결합되어 상기 제3축선에 평행한 방향으로 페이로드의 제3속도를 감지하는 제3페이로드 속도센서; 상기 소형 물체에 결합되어 상기 제3축선에 평행한 방향으로 소형 물체의 제3속도를 감지하는 제3소형 물체 속도센서; 및 상기 제3소형 물체와 페이로드 센서들로 부터의 제3속도신호를 수신하도록 작동하고, 상기 제3속도신호들의 함수로서 상기 제3제어신호를 생성하는 제어기;를 포함하고, 상기 제2레이디얼 압전모터는 상기 제3제어신호를 수신함에 따라 상기 제3축선과 평행하게 진동을 보상하는 액티브 진동분리 시스템.
  38. 제37항에 있어서, 상기 제3축선이 상기 제1, 제2축선들중의 적어도 하나와 직교하는 액티브 진동분리 시스템.
  39. 제37항에 있어서, 상기 제2레이디얼 보강 작동기가 압전모터이고, 상기 제2레이디얼 보강 작동기를 상기 제3축선에 평행한 방향으로 압축시키는 수단을 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
  40. 제34항에 있어서, 상기 레이디얼 보강 작동기가 압전모터이고, 상기 제2축선에 평행한 방향으로 상기 레이디얼 보강 작동기를 압축하는 수단을 더 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
  41. 제30항에 있어서, 상기 소형 물체와 진동원중의 하나와 상기 제1보강 작동기 사이에 배치되고, 상기 제1축선에 직교하는 방향으로 상기 제1보강 작동기에 인가된 전단력을 감소시키는 기능을 하는 전단 디커플러를 더 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
  42. 제41항에 있어서, 상기 전단 디커플러에는 수직 강성보다 1단위 이상 작은 레이디얼 강성을 갖는 탄성중합체의 얇은 디스크가 있는 액티브 진동분리 시스템.
  43. 제42항에 있어서, 상기 디커플러에는 상기 탄성중합체 디스크의 양쪽면에 인접 배치된 2개의 단단한 디스크가 더 있는 액티브 진동분리 시스템.
  44. 제30항에 있어서, 상기 속도센서들이 지오폰인 액티브 진동분리 시스템.
  45. 전기적 제어신호에 응답하는 복수의 보강 작동기들을 이용하고, 서로 각도를 이루는 2게 이상의 축선상에서 진동 바닥면을 부터 페이로드를 분리하며, 각각의 보강 작동기는 양쪽의 제1및 제2표면과 이들 표면사이에서 가변적인 길이를 갖고, 상기 길이는 상기 전기적 제어신호들중의 적어도 하나의 함수값을 갖는 액티브 진동분리 시스템에 있어서: 상기 각 보강 작동기의 상기 제1표면에 인접 배치되고, 상기 제1표면에 인접한 단단한 제1디스크, 상기 제1표면에서 멀리 배치된 단단한 제2디스크, 및 상기 제1및 제2디스크 사이에 배치된 탄성중합체 디스크를 포함하고, 상기 길이에 직교하는 어떤 방향으로도 상기 보강 작동기에 작용하는 힘을 감소시키는 기능을 하는 전단 디커플러를 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
  46. 제45항에 있어서, 상기 전단 디커플러의 형상계수가 적어도 8인 액티브 진동분리 시스템.
  47. 제45항에 있어서, 상기 제1, 제2디스크가 금속으로 구성되는 액티브 진동분리 시스템.
  48. 제45항에 있어서, 각각의 축선 방향으로의 각각의 전단 디커플러에 대한 적어도 하나의 보강 작동기의 강성비가 상기 축선 방향에 직교하는 레이디얼 방향으로의 상기 디커플러에 대한 상기 보강 작동기의 강성비의약 10배인 액티브 진동분리 시스템.
  49. 공동을 형성한 측벽을 갖는 외부 케이스; 상기 케이스의 모든 면에서 떨어지도록 상기 공동내에 적어도 부분적으로 수용될 정도의 크기를 가지며, 소정 범위의 페이로드 질량보다 적어도 1단위 적은 질량을 갖고, 페이로드에 결합되기에 적합한 소형물체; 상기 측벽과 하중 축선을 교차하면서 서로 각을 이루는 제1및 제2축선들; 상기 제1, 제2및 하중 축선들 각각에 대해, 인가된 제어신호에 따라 길이가 변하며, 상기 가변 길이가 각 축선에 평행하도록 배치도고, 상기 소형 물체를 상기 케이스로 부터 이격시키는데 사용되는 적어도 하나의 보강 작동기; 각 축선에 대히, 상기 소형 물체에 연결되고 속도신호를 생성하는 기능을 갖는 센서; 및 상기센서로 부터 상기 속도신호를 수신하고 이 신호에 응답해 복수의 제어신호들을 생성하며, 상기 제어신호들을 상기 보강작동기들 각각에 인가하여 상기 가변 길이를 변화시키는 보상회로망;을 포함하는, 페이로드 분리용 액티브 진동분리 시스템.
  50. 제49항에 있어서, 상기 복수의 보강 작동기들은 그 길이가 서로 평행하고 상기 제어신호들 각각에 응답해 평행하게 작동되는 시스템.
  51. 제49항에 있어서, 상기 소형 물체와 페이로드를 연결하는 패시브 분리기를 더 포함하는 시스템.
  52. 제49항에 있어서, 상기 3개 축선이 서로 직교하는 시스템.
  53. 제49항에 있어서, 각각의 보강 작동기용으로, 상기 소형 물체와 케이스 중의 하나와 상기 보강 작동기사이에 배치되고, 상기 작동기의 축선에 평행한 방향의 강성은 작동기의 축선에 직교하는 방향으로 강성보다 적어도 2단위 큰 전단 디커플러를 더 포함하는 시스템.
  54. 제53항에 있어서, 상기 전단 디커플러 각각은 탄성중합체에 비해 비교적 유연하지 않은 재료로 된 제1및 제2부품들 사이에 배치된 탄성중합체 웨이퍼를 포함하고, 상기 제1부품은 상기 보강 작동기에 인접 배치되는 시스템.
  55. 제54항에 있어서, 상기 보강 작동기들중 첫번째 것의 길이는 상기 제1축선을 따라 가변적이고, 상기 제1축선을 따라 상기 첫번째 보강 작동기에 압축력이 인가되며, 상기 첫번째 보강작동기와 상기 소형 물체 사이에 상기 전단 디커플러들 각각이 배치되고; 나머지 2개의 축선은 상기 제1축선에 직교하는 평면상에 있고, 상기 평면 한쪽에서 상기 페이로드를 수용하기에 적합하며, 상기 전단 디커플러들 각각의 탄성중합체의 위치는 거의 상기 평면상에 또는 상기 페이로드 반대쪽인 상기 평면의 다른쪽에 있는 시스템.
  56. 제49항에 있어서, 상기 보강 작동기가 압전모터이고, 항상 각 축선에 평행한 방향으로 상기 압전모터에 압축력을 가하는 수단을 포함하는 시스템.
  57. 제56항에 있어서, 상기 페이로드가 상기 소형 물체를 통해 상기 압전모터들 중의 적어도 하나에 압축력을 가하는 시스템.
  58. 제56항에 있어서, 상기 페이로드가 상기 소형 물체 위헤 배치되고, 상기 압전 모터의 적어도 하나에 중력에 의한 압축력을 가하는 시스템.
  59. 제49항에 있어서, 상기 보강 작동기중의 적어도 한 작동기용으로, 상기 케이스와 상기 보강 작동기 사이에 압축력을 가하기 위해 적어도 하나의 보강 작동기상에 배치되는 스프링을 더 포함하는 시스템.
  60. 제59항에 있어서, 상기 보강 작동기의 축이 상기 측벽, 상기 소형 물체 및 반대쪽 측벽을 통해 신장되고, 상기 스프링은 상기 소형 물체에 인접하고 상기 보강 작동기 반대쪽에 있도록 상기 축선 부근에 배치되는 시스템.
  61. 제49항에 잇어서, 상기 반대쪽 측벽내의 상기 둘레에 형성된 상기 케이스내의 구멍과 상기 반대쪽 측벽에 부착된 리테이너판을 더 포함하고, 상기 스프링은 상기 소형물체와 상기 리테이너판 사이에 압축력을 가하는 시스템.
  62. 제49항에 있어서, 상기 스프링과 소형 물체 사이의 상기 축선상에 배치되는 제2전단 디커플러를 더 포함하고 상기 축선에 평행한 방향으로의 상기 디커플러의 탄성율은 상기 축선에 직교하는 방향으로서의 상기 제2디커플러의 탄성율보다 적어도 2단위 더 큰 시스템.
  63. 제48항에 있어서, 상기 스프링이 적어도 하나의 접시와셔를 포함하는 시스템.
  64. 제63항에 있어서, 상기 스프링이 적어도 제1, 제2접시와셔로 구성되고, 상기 제1와셔의 외부 림은 상기 제2와셔의 외부 림과 만나는 시스템.
  65. 제49항에 있어서, 상기 축선들이 교차하는 시스템.
  66. 페이로드를 패시브 분리기에 놓는 단계; 소정 범위의 페이로드 질량보다 적어도 1단위 작은 소형 물체에 패시브 분리기를 결합시키는 단계; 적어도 하나의 보강 작동기를 이용해 진동되기 쉬운 다박면에서 상기 소형물체를 지지하는 단계; 상기 소형 물체의 운동을 감지하는 단계; 상기 소형 물체 운동의 함수인 소형 물체센서신호를 생성하는 단계; 상기 소형 물체 센서신호의 함수인 제어신호를 생성하는 단계; 제어신호를 보강작동기에 인가하는 단계; 및 상기 인가 단계에 따라, 보강 작동기의 길이를 변화시켜 페이로드의 진동을 감소시키는 단계; 를 포함하는 페리로드에서 진동을 능동적으로 분리하는 방법.
  67. 제66항에 있어서, 상기 센서신호가 소형 물체의 속도함수인 방법.
  68. 제67항에 있어서, 상기 속도신호를 적분하여 소형 물체 변위신호를 구하는 단계; 및 상기 소형 물체의 변위함수로서 상기 제어신호를 구동하는 단계;를 더 포함하는 방법.
  69. 제66항에 있어서, 상기 센서신호를 변경하여 액티브 진동분리 시스템의 적어도 하나의 공진주파수를 보상하는 단계; 및 상기 제어신호를 변경된 센서신호의 함수로서 생성하는 단계;를 더 포함하는 방법.
  70. 제66항에 있어서, 페이로드의 운동을 감지하는 단계; 페이로드의 신호를 페이로드의 운동의 함수로서 생성하는 단계; 및 상기 제어신호를 센서신호와 페이로드 센서신호의 함수로서 생성하는 단계;를 더 포함하는 방법.
  71. 축선이 서로 각을 이루고 각 축선을 따라 길이가 가변적인 제1및 제2보강 작동기의 적어도 하나에 페이로드를 결합하는 단계; 각 축선에 평행한 제1및 제2방향 각각에서 페이로드에 관련된 운동을 감지하는 단계;상기 제1방향으로의 운동의 함수로서 제1 제어신호를 생성하는 단계; 상기 제2방향으로의 운동의 함수로서 제2제어신호를 생성하는 단계; 상기 제1, 제2보강 작동기들에 각각 제1, 제2 제어신호를 인가하는 단계; 상기인가단계에 응답해, 제1, 제2방향에서 감지된 운동량과 같은 양만큼 상기 제1, 제2보강 작동기들의 길이를 변화시키는 단계; 상기 제2보강 작동기의 길이를 변화시켜서 생기는 제1보강 작동기상의 전단력을 분리하는 단계; 및 제1보강 작동기의 길이를 변화시켜서 생기는 제2보강 작동기상의 전단력을 분리하는 단계;를 포함하는, 진동으로부터 페이로드를 능동적으로 분리하는 방법.
  72. 제71항에 있어서, 소정 범위의 페이로드의 질량보다 적어도 1단위 작은 소형 물체를 통해 보강 작동기에 페이로드를 결합하는 단계를 더 포함하는 방법.
  73. 제72항에 있어서, 패시브 분리기로 소형 물체를 페이로드에 결합하는 단계를 더 포함하는 방법.
  74. 제71항에 있어서, 패시브 분리기를 통해 페이로드를 보강 작동기에 연결하는 단계를 더 포함하는 방법.
  75. 제71항에 있어서, 상기 보강 작동기가 압전모터인 방법.
  76. 제71항에 있어서, 상기 제1, 제2축선들에 기울어지게 배치된 제3축선과 일치하는 가변 길이를 갖는 제3보강 작동기를 페이로드에 결합하는 단계; 상기 제3축선에 평행한 제3방향으로 상기 페이로드에 관련된 운동을 감지하는 단계; 상기 제3방향으로의 상기 운동의 함수로서 제3제어 신호를 생성하는 단계; 상기 제3제어신호를 제3보강 작동기에 인가하는 단계; 상기 인가단계에 응답해, 제3방향으로 감지된 운동량과 동일하게 상기 제3보강 작동기의 길이를 변화시키는 단계; 제1, 제2보강 작동기의 길이를 변화시켜서 생긴 전단력을 상기 제3보강작동기에서 분리하는 단계; 및 제3보강 작동기의 길이를 변화시켜서 생기는 제1, 제2보강 작동기상의 전단력을 분리하는 단계;를 포함하는 방법.
  77. 서로 각을 이루게 배치된 제1및 제2축선을 따라 길이가 가변적이고, 제1단부는 페이로드에 연결되며, 제2단부는 진동에 민감한 바닥면에 연결되는 제1및 제2보강 작동기; 상기 제1축선에 평행한 제1방향과 상기 제2축선에 평행한 제2방향으로 상기 페이로드에 관련한 운동을 감지하도록 페이로드에 연결되고, 제각기 제1및 제2센서신호를 생성하는 제1및 제2센서; 및 상기 제2센서신호의 함수로서 제1제어신호를 생성하고 상기 제1센서신호의 함수로서 제2제어신호를 생성하도록 상기 제1, 제2센서에 연결된 회로망;을 포함하는, 페이로드를 분리하기 위한 액티브 진동분리 시스템.
  78. 진동에 민감한 바닥면과 페이로드 사이에 축선을 따라 길이가 가변적인 적어도 하나의 보강 작동기를 연결하는 단계; 상기 축선에 평행한 방향으로 페이로드에 관련된 속도를 감지하는데 지오폰을 이용하는 단계; 상기 지오폰 이용단계에 응답해, 속도신호를 생성하는 단계; 상기 속도신호를 적분하여 변위신호를 얻는 단계; 상기 변위신호의 함수로서 제어신호를 생성하는 단계; 상기 제어신호를 상기 보강 직동기에 인가하는 단계; 및 상기 인가 단계에 응답해, 보강 증폭기의 길이를 변화시켜, 페이로드의 진동을 감소시키는 단계;를 포함하는, 페이로를 진동원에서 분리하는 방법.
  79. 제78항에 있어서, 소정 범위의 페이로드 질량보다 적어도 1단위 작은 질량의 소형 물체를 선택하는 단계; 패시브 분리기를 이용해 소정 물체에 페이로드를 연결하는 단계; 및 지오픈을 이용해 소형 물체의 속도를 감지하는 단계;를 포함하는 방법.
  80. 페이로드를 지지하기에 적합한 패시브 분리기; 소전 범위의 페이로드의 질량보다 적어도 1단위 작은 질량을 갖고, 상기 패시브 분리기에 연결되며 상기 페이로드 반대쪽에 배치되는 소형 물체; 상기소형 물체에 연결되고 소형 물체의 운동함수로서 소형 물체 센서신호를 생성하는 센서; 상기 센서에 연결되고 소형 물체센서신호의 함수로서 제어신호를 생성하기에 적합한 회로망; 및 진동원과 상기 소형 물체 사이에 배치되고 상기 회로망에 연결되어 상기 제어신호가 인가되며, 그 길이가 상기 제어신호의 함수로서 변화하여 상기 페이로드의 진동을 감쇠시키는 적어도 하나의 보강 작동기;를 포함하는 액티브 진동분리 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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