CN102141733B - 减振装置及应用其的光刻装置 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种减振装置，承载有一负载。减振装置包括基座、壳体、活塞、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；第一气室刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞通过第一气室内的流体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动，在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆，在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比，空气弹簧的容积更大，摆机构更长，从而减振装置刚度可降得更低，并且本发明的减振装置结构紧凑，设计简单。

Description

减振装置及应用其的光刻装置

技术领域

本发明是有关于一种减振定位装置，且特别是有关于一种减振装置。

背景技术

随着用户对精密设备要求的提高，很多精密设备(比如光刻机、精密测量仪器等)对振动的要求也越来越苛刻。传统的被动式减振器已经无法满足需求，必须使用主动减振器对振动进行控制。常见的主动减振器一般采用被动隔振模块与主动执行器并联的方式。为了实现对地基振动的低频振动高衰减，需要降低被动隔振装置的刚度，从而降低隔振系统的固有频率。典型装置见美国专利US5844664、美国专利US5823307等。

美国专利US5844664使用洛仑兹电机作为垂向和水平向的主动控制作动器，垂向采用空气弹簧用于隔离地基传来的垂向振动，在空气弹簧的活塞中设计了摆机构，通过柔性细杆的变形形成低刚度的水平向弹簧，用于隔离地基的水平向振动。该装置存在如下缺点：

1.钟摆机构放置在活塞上，占据了空气弹簧的空间，增大了相同体积下空气弹簧的刚度。空气弹簧的刚度公式为如果V减小，则空气弹簧的刚度增大，不利于低频隔振。

2.空气弹簧的大小和高度限制了摆机构的水平向刚度。摆机构的柔性细杆越长，则水平向刚度越小，由于空气弹簧体积的限制，摆机构的长度有限，刚度也较大。

3.减振器空气弹簧的活塞的设计需要综合考虑摆机构设计、气体密封等问题。

4.减振器的钟摆机构和空气弹簧腔室设计相耦合，设计复杂。

美国专利US6953109与专利US5844664类似，不同之处在于将柔性摆机构换成柔性筒结构，采用该设计虽然能实现空气弹簧的密封，但是柔性筒结构的设计和制造均比较复杂。

发明内容

本发明的目的是提供一种刚度更低、结构紧凑、设计简单的减振装置。

为大上述目的，本发明提出一种减振装置，承载有一负载，包括：基座、壳体、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；第一气室刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞通过第一气室内的流体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。

本发明中，摆机构由至少1个柔性单元组成，柔性单元连接在活塞和壳体之间。其中，柔性单元为细杆，细杆的材料为金属，特别的，细杆材料为钢。柔性单元为X摆、折叠摆或倒摆。进一步，摆机构柔性细杆的数目为3根或4根。

本发明中，第一气室内部的液体为空气。

本发明中，在第一气室和活塞之间设置膜结构，用于流体的密封。

本发明中，在第一气室和活塞之间设置气浮装置，用于第一气室和活塞之间的无摩擦连接。其中气浮装置包括：高压气源，特别的该高压气源为第一气室的高压空气；喷射高压空气的小孔，特别的该小孔设置在活塞上，或(和)设置在与活塞所接触的第一气室表面的内壁；连接高压气源的管道，该管道用于连接小孔和高压气源；排放喷射空气的管道，特别的，该管道设置在活塞或第一气室表面接触表面的内壁。

本发明，减振装置进一步包括：第二气室；连接管道，用于连接第一气室和第二气室。进一步，减振装置包括气动阀、高压气源和气动管道。气动阀设置在第一气室或第二气室上；气动管道用于连接高压气源和气动阀；在第一气室或第二气室上设置用于控制气室气压的气动阀。

进一步，在壳体和基座之间进一步包括如下结构单元至少1个相对位置传感器、至少1个相对位置传感器、至少1个振动传感器、至少1个直线驱动器和控制器。至少1个相对位置传感器用于测量壳体和基座之间的相对位置；至少1个振动传感器设置在壳体上或(和)基座上，用于测量壳体或(和)基座的振动；至少1个直线驱动器用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；控制器根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

本发明中，摆机构进一步包括至少一个第一摆机构和至少一个连接单元。第一摆机构由至少1个柔性连接单元组成，特别的，柔性连接单元为柔性细杆或倒摆；连接单元将多个第一摆机构串联，从而进一步降低了减振装置的水平向刚度。

本发明另提出一种减振装置，承载有一负载，包括基座、壳体、活塞、第一气室、膜结构和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；活塞刚性连接在壳体上；第一气室内部充满高压气体，支撑所述的活塞；膜结构设置在第一气室和活塞之间，用于气体的密封；摆机构安装在活塞和基座之间，用于在水平向对基座和活塞之间产生低刚度连接。

本发明中，减振装置进一步包括：第二气室、第一连接管道、高压气源、气动阀和第二连接管道。第一连接管道用于连接第一气室和第二气室，从而进一步降低减振装置的垂向刚度；气动阀设置在第一气室或第二气室上，用于控制所连接气室的压力；第二连接管道用于连接高压气源和气动阀。

本发明中，减振装置进一步包括至少1个相对位置传感器、至少1个振动传感器、至少1个直线驱动器和控制器。至少1个相对位置传感器设置在壳体和基座之间，用于测量壳体和基座之间的相对位置；至少1个振动传感器设置在壳体上或(和)基座上，用于测量壳体或(和)基座的振动；至少1个直线驱动器设置在壳体和基座之间，用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；控制器根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

本发明中，摆机构进一步包括至少一个第一摆机构和至少一个连接单元。第一摆机构由至少1个柔性连接单元组成，特别的，柔性连接单元为柔性细杆或倒摆；连接单元将多个第一摆机构串联，从而进一步降低了摆机构的水平向刚度。

本发明另提出一种光刻装置，包括产生辐射束的辐射源、产生理想图案的成像装置、用于感光形成所需的图案的衬底、用于将成像装置产生的理想图案投影到所述的衬底上的投影系统、用于支撑所述的投影系统的内部框架、支撑在地基上的基础框架、用于隔离基础框架传递到内部框架的振动的至少一个减振装置。减振装置包括基座、壳体、第一气室、活塞和摆机构。基座支撑在所述的外部框架上；壳体用于支撑所述的内部框架；第一气室刚性连接在基座上，内部充满气体；活塞通过第一气室内的气体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。

本发明中，减振装置进一步包括：至少一个气室、至少一个气动伺服阀和高压气源。至少一个气室与第一气室相连，用于降低减振装置的刚度；至少一个气动伺服阀连接在第一气室或与第一气室相连的气室上，用于控制所连接气室的气压；高压气源连接在气动伺服阀上，为减振装置的气室供气；

本发明中，其特征在于减振装置进一步包括至少1个相对位置传感器、至少1个振动传感器、至少1个直线驱动器和控制器。至少1个相对位置传感器设置在壳体和基座之间，用于测量壳体和基座之间的相对位置；至少1个振动传感器设置在壳体上或(和)基座上，用于测量壳体或(和)基座的振动；至少1个直线驱动器设置在壳体和基座之间，用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；控制器根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

综上所述，本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动，在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆，在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比，空气弹簧的容积更大，摆机构更长，从而减振装置刚度可降得更低，并且本发明的减振装置结构紧凑，设计简单。

附图说明

图1所示为本发明的减振装置的第一实施例的结构示意图。

图2所示为本发明的减振装置三根柔性细杆水平向分布示意图。

图3所示为本发明的减振装置四根柔性细杆水平向分布示意图。

图4所示为本发明的减振装置的第二实施例的结构示意图。

图5所示为本发明的减振装置的第三实施例的结构示意图。

图6a、图6b和图6c所示为本发明的减振装置的第三实施例的两个摆机构几种串联形式。

图7所示为本发明的减振装置的第四实施例的结构示意图。

图8a和图8b所示为本发明的减振装置的第四实施例的两个摆机构几种串联形式。

图9所示为本发明的减振装置的第五实施例的结构示意图。

具体实施方式

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

图1所示为本发明的减振装置的第一实施例的结构示意图。如图1所示，101为减振器的负载，102为空气弹簧活塞，103为密封膜，104a和104b为柔性细杆，105为第一气室，106为气管，107为第二气室，108为外壳，109为垂向运动的直线电机，110为水平向运动的直线电机，111为减振器的基座，112为气压控制阀，113为限位螺钉，114和115分别测量垂向和水平向相对位移的位置传感器，116和117分别为用于测量负载垂向和水平向的振动传感器。118和119分别为用于测量地基水平向和垂向的振动传感器。

负载101作用在减振器外壳108上，外壳108与与空气弹簧活塞102之间有4根柔性细杆104a、104b、104c和104d。柔性细杆104与负载力方向平行，在与负载力垂直方向上成对称分布，均匀分布于圆周上，如图2所示。摆机构104包含大于等于2根柔性细杆，其数目也可为3根，对称分布在圆周上，如图3所示。柔性细杆104在垂向刚度较大，在水平向容易发生弯曲。以3根柔性杆组成的摆机构在水平向的刚度的计算公式为：

$k_1=\frac{\mathrm{mg}}{L}+\frac{36\mathrm{EI}}{l^3}$

可作以下参数设定：

m＝隔振载荷(＝1500kg)

g＝重力加速度(＝9.81m/s²)

L＝摆长(＝300mm)

l＝摆弯曲部分长度(＝250mm)

I＝惯性矩(＝π/64·D⁴，设定为圆截面)

E＝2.1×10¹¹[N/m²](为碳钢的杨氏模量)

D＝摆的直径(＝5mm)

从而，k₁＝0.64×10⁵N/m，故该种工况下的水平方向固有频率为：

${\mathrm{\ω}}_{n1}=\sqrt{\frac{k_1}{m}}=6.52\mathrm{rad}/s$

$f_{n1}=\frac{{\mathrm{\ω}}_n}{2\mathrm{\π}}=1.04\mathrm{Hz}$

对于该种设计参数的减振器，固有频率较低，能有效隔离传递到负载的中低频水平向的地基振动。

活塞102与第一气室105的通过膜结构103连接，活塞102的负载通过第一气室105内的高压空气支撑。第二气室107是为提高气室总体积，从而降低刚度，当然也可以不要该第二气室。

第一气室105和第二气室107通过气管106连接，气管106的孔径需要特别设计，从而满足一定的阻尼要求。第一气室105和第二气室107的总体积为V。空气弹簧的刚度公式为

$k_2=\frac{\mathrm{\κ}\·A^2\·p}{V}$

可作以下参数设定：

κ＝1.41(传热比)

A＝0.03m2(活塞支撑面积)

p＝5bar(气压)

V＝0.15m3(气室总体积)

可算出刚度k₂＝0.425×10⁵N/m，故该种工况下的垂向固有频率为：

${\mathrm{\ω}}_{n2}=\sqrt{\frac{k_2}{m}}=5.32\mathrm{rad}/s$

$f_{n1}=\frac{{\mathrm{\ω}}_n}{2\mathrm{\π}}=0.85\mathrm{Hz}$

对该组设计参数的减振器，垂向的固有频率极低。

112为电磁阀，用于实现对空气弹簧气压的主动控制。

振动传感器116、117及118、119分别用于测量负载和地基的垂向和水平向的振动，可以为速度传感器或加速度传感器。116、117优先为Geophone绝对速度传感器，118、119优先为加速度传感器。

通过相对位移传感器114、115测量地基相对负载的相对位置，负载的速度或加速度，用于直线电机109、110的主动反馈控制，直线电机109、110优先为音圈电机。

振动传感器116、117测量的地基振动用于直线电机109、110和电磁阀112的主动前馈控制。采用该反馈和前馈的主动控制方案，能极大衰减减振器共振峰，并提高中低频振动控制效果。

螺钉113用于减振器的限位，方便减振器的运输。

综上所述，本发明的机构紧凑、设计简单，并且采用本发明的摆机构及空气弹簧能极大降低减振器的固有频率。通过本发明的空气弹簧、气动阀及测量装置组成的闭环系统，可以控制垂向的位置，并衰减垂向的振动。通过本发明的摆机构在水平向的挠性变形、水平向电机及测量装置组成的闭环系统，可以控制水平向的位置，并衰减地基水平向的振动。而且对于本领域的一般技术人员而言有本发明所揭示的技术方案可进一步推知，采用单个的本发明减振装置能应用于主动减振系统的垂直方向和水平方向两自由度方向的减振，采用三个或三个以上的本发明减振装置的组合使用，能达到X，Y，Z，Rx，Ry，Rz六个自由度方向减振，在此不复赘述。

图4所示为本发明的减振装置的第二实施例的结构示意图。如图4所示，201为减振器的负载，202为空气弹簧活塞，203为密封膜，204a和204b为柔性细杆，205为第一气室，206为阻尼孔，207为第二气室，208为外壳，209为垂向运动的直线电机，210为水平向运动的直线电机，211为减振器的基座，212为气压控制阀，213为限位螺钉，214和215分别测量垂向和水平向相对位移的位置传感器，216和217分别为用于测量负载垂向和水平向的振动传感器。218和219分别为用于测量地基水平向和垂向的振动传感器。

负载201作用在减振器外壳208上，外壳208与与空气弹簧活塞202之间有4根柔性细杆204a、204b、204c和204d。柔性细杆4与负载力方向平行，在与负载力垂直方向上成对称分布，均匀分布于圆周上，如图2所示。摆机构4包含大于等于2根柔性细杆，其数目也可为3根，对称分布在圆周上，如图2和图3所示。柔性细杆4在垂向刚度较大，在水平向容易发生弯曲。以3根柔性杆组成的摆机构水平刚度初略计算公式为：

$k_1=\frac{\mathrm{mg}}{L}+\frac{36\mathrm{EI}}{l^3}$

可作以下参数设定：

m＝隔振载荷(＝1500kg)

g＝重力加速度(＝9.81m/s²)

L＝摆长(＝300mm)

l＝摆弯曲部分长度(＝250mm)

I＝惯性矩(＝π/64·D⁴，设定为圆截面)

E＝2.1×10¹¹[N/m²](为碳钢的杨氏模量)

D＝摆的直径(＝5mm)

从而，k₁＝0.64×10⁵N/m，故该种工况下的水平方向固有频率为：

${\mathrm{\ω}}_{n1}=\sqrt{\frac{k_1}{m}}=6.52\mathrm{rad}/s$

$f_{n1}=\frac{{\mathrm{\ω}}_n}{2\mathrm{\π}}=1.04\mathrm{Hz}$

对于该种设计参数的减振器，固有频率较低，能有效隔离传递到负载的中低频水平向的地基振动。

活塞202与第一气室205的通过膜结构3连接，活塞202的负载通过第一气室205内的高压空气支撑。第一气室205、第二气室207和气管6形成带阻尼孔的双腔室空气弹簧。空气弹簧的刚度公式为

$k_2=\frac{\mathrm{\κ}\·A^2\·p}{V}$

可作以下参数设定：

κ＝1.41(传热比)

A＝0.03m2(活塞支撑面积)

p＝5bar(气压)

V＝0.15m3(气室总体积)

可算出刚度k₂＝0.425×10⁵N/m，故该种工况下的垂向固有频率为：

${\mathrm{\ω}}_{n2}=\sqrt{\frac{k_2}{m}}=5.32\mathrm{rad}/s$

$f_{n1}=\frac{{\mathrm{\ω}}_n}{2\mathrm{\π}}=0.85\mathrm{Hz}$

对该组设计参数的减振器，垂向的固有频率极低。

阻尼孔用于提高减振器的相对阻尼，在本发明中，不局限为单个阻尼孔，可以为多个并行的小阻尼孔。212为电磁阀，用于实现对空气弹簧气压的主动控制。

振动传感器216、217及218、219分别用于测量负载和地基的垂向和水平向的振动，可以为速度传感器或加速度传感器。216、217优先为Geophone绝对速度传感器，218、219优先为加速度传感器。

通过相对位移传感器214、215测量地基相对负载的相对位置，负载的速度或加速度，用于直线电机109、110的主动反馈控制。直线电机109、110优先为音圈电机。

振动传感器216、217测量的地基振动用于直线电机109、110和电磁阀212的主动前馈控制。采用该反馈和前馈的主动控制方案，能极大衰减减振器共振峰，并提高中低频振动控制效果。螺钉213用于减振器的限位，方便减振器的运输。

综上所述，本发明的机构紧凑、设计简单，并且采用本发明的摆机构及空气弹簧能极大降低减振器的固有频率。通过本发明的空气弹簧、气动阀及测量装置组成的闭环系统，可以控制垂向的位置，并衰减垂向的振动。通过本发明的摆机构在水平向的挠性变形、水平向电机及测量装置组成的闭环系统，可以控制水平向的位置，并衰减地基水平向的振动。而且对于本领域的一般技术人员而言有本发明所揭示的技术方案可进一步推知，采用单个的本发明减振装置能应用于主动减振系统的垂直方向和水平方向两自由度方向的减振，采用三个或三个以上的本发明减振装置的组合使用，能达到X，Y，Z，Rx，Ry，Rz六个自由度方向减振，在此不复赘述。

如图5所示，在第二实施例的基础上，本发明第三实施例设计了串联的摆机构。如图5所示，摆机构304可以为对称分布的3～4根柔性杆，优先为3根。支撑板320用于连接摆机构304和摆机构321。摆机构321优先采用图6a、图6b和图6c所示的位置布置。

摆机构304的刚度为k₄，摆机构21的刚度为k₂₁。摆机构304和摆机构321串联，则其总刚度可按如下公式计算

$k=\frac{k_4{k}_{21}}{k_4+k_{21}}$

为说明该优势，本发明的摆机构304和摆机构321设计与第一实施例相同，刚度都为第一实施例所给出的0.64×10⁵N/m，则按照上述的公式，两者组合的总刚度为k＝0.32×10⁵N/m。则其水平向的固有频率变成

${\mathrm{\ω}}_n=\sqrt{\frac{k}{m}}=4.61\mathrm{rad}/s$

$f_n=\frac{{\mathrm{\ω}}_n}{2\mathrm{\π}}=0.74\mathrm{Hz}$

当然本发明对串联摆机构的数目不作限定，可以串联多个摆机构，但是优先为2个摆机构串联。在本实施例中，两个摆机构在同一个角度，也可以在空间上错开，如图6a、图6b和图6c所示。在图6a的(1)中，柔性杆304a及321a、304b及321b、304c及321c、304d及321d分别处于同一径向布置。在(2)中，柔性杆304a及321a、304b及321b、304c及321c、304d及321d分别则为相互交错布置。图6b与图6a类似，不同的是杆的数目减少2根。图6c与图6b类似，不同的是摆机构304及摆机构321在同一个圆内，从而结构上更加紧凑。

图9所示为本发明的减振装置的第四实施例的结构示意图。如图9所示，401为减振器的负载，402为减振器支撑板，403为垂向运动的直线电机，404为水平向运动的直线电机，405为限位螺钉，406为空气弹簧活塞，407为空气弹簧密封膜，408a和408b为柔性细杆，409为第一气室，4010为阻尼孔，411为第二气室，412为外壳，413为气压控制阀，414为基座，415和416分别测量垂向和水平向相对位移的位置传感器，417和418分别为用于测量负载垂向和水平向的振动传感器。419和420分别为用于测量地基水平向和垂向的振动传感器。

如图9所示，负载401通过支撑板直接支撑在空气弹簧的活塞406上，活塞406和第一气室409采用膜407连接。第一气室409、第二气室411及气管410用于构成了空气弹簧。采用增大第二气室411的方法降低减振器的垂向刚度。采用电磁阀413用于对减振器的空气弹簧进行主动控制。

在第二气室11的底座与减振器的外壳412之间设置有摆机构408，包括柔性摆杆408a、408b、408c及408d。摆机构408也可为3根柔性细杆或大于3根柔性细杆。由于摆机构由支撑板402一直连接到底座414，其长度较长，从而降低摆机构的刚度。

本实施例的传感器、执行器及控制与第一实施例相同，不再重复描述。

需要特别说明的是，本发明的减振装置不局限于上述实施例中所限定的方式，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明进行修改或者等同替换，而不脱离本发明的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (20)

1.一种减振装置，承载有一负载，其特征在于，包括：

基座；

壳体，用于支撑所述的负载；

第一气室，刚性连接在基座上，内部充满气体；

活塞，通过第一气室内的气体所支撑；

柔性细杆，安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。

2.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，柔性细杆连接在活塞和壳体之间。

3.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，柔性细杆为X摆、折叠摆或倒摆。

4.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，柔性细杆的材料为金属。

5.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，柔性细杆的数目为3根或4根。

6.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，第一气室内部的气体为空气。

7.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，在第一气室和活塞之间设置膜结构，用于气体的密封。

8.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，在第一气室和活塞之间设置气浮装置，用于第一气室和活塞之间的无摩擦连接。

9.根据权利要求8所述的减振装置，其特征在于，气浮装置包括：高压气源，该高压气源为第一气室的高压空气；喷射高压空气的小孔，该小孔设置在活塞上或设置在与活塞所接触的第一气室表面的内壁；连接高压气源的管道，该管道用于连接小孔和高压气源；排放喷射空气的管道，该管道设置在活塞或第一气室表面接触表面的内壁。

10.根据权利要求6所述的减振装置，其特征在于，减振装置还包括：第二气室；连接管道，用于连接第一气室和第二气室。

11.根据权利要求10所述的减振装置，其特征在于，减振装置还包括：

气动阀，设置在第一气室或第二气室上；

高压气源；

气动管道，用于连接高压气源和气动阀；

在第一气室或第二气室上设置用于控制气室气压的气动阀。

12.根据权利要求11所述的减振装置，其特征在于，在壳体和基座之间还包括如下结构单元：

至少1个相对位置传感器，用于测量壳体和基座之间的相对位置；

至少1个振动传感器，设置在壳体上或基座上，用于测量壳体或基座的振动；

至少1个直线驱动器，用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；

控制器，根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

13.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，柔性细杆还包括：

至少一个第一柔性细杆；

至少一个连接单元，连接单元将多个第一柔性细杆串联，从而降低了减振装置的水平向刚度。

14.一种减振装置，承载有一负载，其特征在于，包括：

基座；

壳体，用于支撑所述的负载；

活塞，刚性连接在壳体上；

第一气室，内部充满高压气体，支撑所述的活塞；

膜结构，设置在第一气室和活塞之间，用于气体的密封；

柔性细杆，安装在活塞和基座之间，用于在水平向对基座和活塞之间产生低刚度连接。

15.根据权利要求11所述的减振装置，其特征在于，减振装置还包括：

第二气室；

第一连接管道，用于连接第一气室和第二气室；

高压气源；

气动阀，设置在第一气室或第二气室上，用于控制所连接气室的压力；

第二连接管道，用于连接高压气源和气动阀。

16.根据权利要求15所述的减振装置，其特征在于，减振装置还包括：

至少1个相对位置传感器，设置在壳体和基座之间，用于测量壳体和基座之间的相对位置；

至少1个振动传感器，设置在壳体上或基座上，用于测量壳体或基座的振动；

至少1个直线驱动器，设置在壳体和基座之间，用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；

控制器，根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

17.根据权利要求14所述的减振装置，其特征在于，柔性细杆还包括：

至少一个第一柔性细杆；

至少一个连接单元，连接单元将多个第一柔性细杆串联。

18.一种光刻装置，包括：

产生辐射束的辐射源；

产生理想图案的成像装置；

衬底，用于感光形成所需的图案；

投影系统，用于将成像装置产生的理想图案投影到所述的衬底上；

内部框架，用于支撑所述的投影系统；

基础框架，支撑在地基上；

至少一个减振装置，用于隔离基础框架传递到内部框架的振动，其特征在于，减振装置包括：

基座，支撑在所述的外部框架上；

壳体，用于支撑所述的内部框架；

第一气室，刚性连接在基座上，内部充满气体；

活塞，通过第一气室内的气体所支撑；

柔性细杆，安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。

19.根据权利要求18所述的光刻装置，其特征在于减振装置还包括：

至少一个气室与第一气室相连，用于降低减振装置的刚度；

至少一个气动伺服阀，连接在第一气室或与第一气室相连的气室上，用于控制所连接气室的气压；

高压气源，连接在气动伺服阀上，为减振装置的气室供气；

20.根据权利要求19所述的光刻装置，其特征在于减振装置还包括：

至少1个相对位置传感器，设置在壳体和基座之间，用于测量壳体和基座之间的相对位置；

至少1个振动传感器，设置在壳体上或基座上，用于测量壳体或基座的振动；

至少1个直线驱动器，设置在壳体和基座之间，用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；

控制器，根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

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