KR950030332A - 캐패시터 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 캐패시터 제조방법에 관한것으로, 캐패시터 저장전극의 표면적을 증대시키기위하여 다수의 기둥을 갖는 저장전극을 반구형 폴리실리콘층을 이용하면서 용이하게 형성할 수 있는 기술이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (1)
- 반도체소자에 적용되는 캐패시터 제조방법에 있어서, 실리콘기판상에 절연막을 증착하고, 전체구조 상부에 폴리실리콘층을 중착하고, 폴리실리콘층의 표면에 반구형 폴리실리콘층을 형성하는 단계와, 반구형 실리콘층 상부에 질화막을 일정두께 중착하는 단계와, 질화막의 일정 두께를 마스크 없이 건식식각하여 반구형 폴리실리콘층 사이의 요홈에만 질화막을 남기는 단계와, 남아 있는 질화막을 식각하되, 노출된 지역의 반구형 폴리실리콘층과 그하부의 폴리실리콘층을 이방성 식각하괴, 폴리실리콘층의 바닥에 폴리실리콘층이 일정 두께 남도록 식각하는 단계를 포함하여 다수의 기둥을 갖는 저장전극으로 이루어진 캐패시터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940007166A KR950030332A (ko) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 캐패시터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940007166A KR950030332A (ko) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 캐패시터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950030332A true KR950030332A (ko) | 1995-11-24 |
Family
ID=66677712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940007166A KR950030332A (ko) | 1994-04-06 | 1994-04-06 | 캐패시터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950030332A (ko) |
-
1994
- 1994-04-06 KR KR1019940007166A patent/KR950030332A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |