KR950027392A - 박막형 가스센서 및 이의 제조방법 - Google Patents
박막형 가스센서 및 이의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 박막형 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 단일히터를 사용하여 제조공정을 단순화하고 수율을 향상시키고 소자를 소형화시키기 위한 것이다. 본 발명은 실리콘기판과, 상기 실리콘기판위에 형성된 지지막, 상기 지지막위에 형성된 히터부, 상기 히터부위에 형성된 절연층, 상기 절연층위에 형성된 패드및 전극층, 상기 전극층위에 형성된 복수개의 서로 다른 가스감응층을 포함하여 이루어진 박막형 가스센서를 제공하며, 이를 제조하기 위한 방법으로서 실리콘기판위에 지지막을 형성하는 공정과, 상기 지지막상에 히터부를 형성하는 공정, 상기 히터부가 형성된 지지막 전면에 절연층을 형성하는 공정, 상기 절연층을 선택적으로 식각하여 소정부분에 상기 히터부를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 공정, 상기 콘택홀상부의 절연층상에 패드를 형성하는 공정, 상기 절연층상에 온도센서와 전극층을 형성하는 공정, 상기 온도센서 및 전극층상에 가스감응막을 형성하는 공정, 상기 실리콘기판의 후면을 이방성식각하는 공정을 포함하여 이루어진 박막형 가스센서 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 가스센서 평면도.
제5도는 본 발명의 박막형 가스센서 단면도.
제6도는 본 발명의 가스센서용 히터구조도.
Claims (7)
- 실리콘기판과, 상기 실리콘기판위에 형성된 지지막, 상기 지지막위에 형성된 히터부, 상기 히터부위에 형성된 절연층, 상기 절연층위에 형성된 온도센서 및 전극층, 상기 전극층위에 형성된 복수개의 서로 다른 가스감응층을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 가스센서.
- 제1항에 있어서, 상기 히터부는 상기 서로 다른 감응층이 각각 서로 다른 동작온도를 가지도록 하기 위해 히터의 선폭이 서로 다르게 형성됨을 특징으로 하는 박막형 가스센서.
- 제1항에 있어서, 상기 히터부는 상기 서로 다른 감응층이 각각 서로 다른 동작온도를 가지도록 하기 위해 히터선 사이의 간격이 다르게 형성됨을 특징으로 하는 박막형 가스센서.
- 제1항에 있어서, 상기 히터부는 상기 서로 다른 감응층이 각각 서로 다른 동작온도를 가지도록 하기 위해 히터의 선폭이 서로 다르게 형성되고 히터선 사이의 간격이 다르게 형성됨을 특징으로 하는 박막형 가스센서.
- 제1항에 있어서, 상기 히터부는 백금/티타늄의 이중구조로 형성됨을 특징으로 하는 박막형 가스센서.
- 제1항에 있어서, 상기 지지막을 SiNx로 이루어짐을 특징으로 하는 박막형 가스센서.
- 실리콘기판위에 지지막을 형성하는 공정과, 상기 지지막상에 히터부를 형성하는 공정, 상기 히터부가 형성된 지지막 전면에 절연층을 형성하는 공정, 상기 절연층을 선택적으로 식각하여 소정부분에 상기 히터부를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 공정, 상기 콘택홀 상부의 절연층상에 패드를 형성하는 공정, 상기 절연층상에 온도센서와 전극층을 동시에 형성하는 공정, 상기 온도센서 및 전극층상에 가스감응막을 형성하는 공정, 상기 실리콘기판의 후면을 이방성식각하는 공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 가스센서 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940005132A KR950027392A (ko) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 박막형 가스센서 및 이의 제조방법 |
| US08/337,065 US5605612A (en) | 1993-11-11 | 1994-11-10 | Gas sensor and manufacturing method of the same |
| CN94119636.4A CN1056447C (zh) | 1993-11-11 | 1994-11-11 | 气敏器件及其制造方法 |
| JP6278103A JP2793135B2 (ja) | 1993-11-11 | 1994-11-11 | 薄膜型ガスセンサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940005132A KR950027392A (ko) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 박막형 가스센서 및 이의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950027392A true KR950027392A (ko) | 1995-10-16 |
Family
ID=66689699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940005132A KR950027392A (ko) | 1993-11-11 | 1994-03-15 | 박막형 가스센서 및 이의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950027392A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100585664B1 (ko) * | 2004-01-20 | 2006-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 박막형 습도 센서 및 그 제조 방법 |
| KR100914938B1 (ko) * | 2007-12-07 | 2009-08-31 | 한국전자통신연구원 | 마이크로 가열 장치, 마이크로 가열 장치 제조 방법 및그를 이용한 환경 센서 |
-
1994
- 1994-03-15 KR KR1019940005132A patent/KR950027392A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100585664B1 (ko) * | 2004-01-20 | 2006-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 박막형 습도 센서 및 그 제조 방법 |
| KR100914938B1 (ko) * | 2007-12-07 | 2009-08-31 | 한국전자통신연구원 | 마이크로 가열 장치, 마이크로 가열 장치 제조 방법 및그를 이용한 환경 센서 |
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