KR950021694A - 광전자 집적회로 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 n형 실리콘 기판에 P형 불순물을 도핑한 후 게이트 절연체를 형성하고 그 위에 게이트와 소스 및 드레인 전극을 형성한 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접촉되도록 n형 실리콘 기판후면에 형성된 다공성(POROUS)실리콘막과, 상기 다공성 실리콘막에 적층 형성된 제1투명전극과, 상기 MOS형 박막 트랜지스터 위에 형성된 접합 다이오드막과, 상기 접합 다이오드에 적층 형성된 제2투면전극막으로 구성되어 해상도를 향상시키고 광열화 특성이 일어나지 않도록 하는 광정자 집적회로 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 광전자 집적회로의 기능요소를 나타낸 도면,
제3도는 본 발명에 따라 제작된 광전자 집적회로의 단면도.
Claims (2)
- n형 실리콘 기판에 P형 불순물을 도핑한 후 게이트 절연체를 형성하고, 그 위에 게이트와 소스 및 드레인 전극을 형성한 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과, 접촉되도록 n형 실리콘 기판후면에 형성된 다공성(POROUS)실리콘막과, 상기 다공성 실리콘막에 적층형성된 제1투명전극막과, 상기 MOS형 박막 트랜지스터 이에 형성된 접합 다이오드막과, 상기 접합다이오드에 적층형성된 제2투명전극막으로 구성된 것을 특징으로 하는 광전자 집적회로.
- n형 실리콘 기판에 게이트 절연층을 적층한 후 게이트와 소스 및 드레인 전극을 형성하여 박막 트랜지스터를 형성하는 박막 트랜지스터 형성과정과, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접촉되도록 n형 실리콘 기판 후면에 다공실 실리콘층을 형성하는 다공실 실리콘층 형성과정과, 상기 다공성 실리콘층에 투명도적막을 적용하여 형성하는 제1투명전극과 형성과정과 상기 박막 트랜지스터에 n형 또는 P형 실리콘을 순차적으로 적층하여 형성하는 집합 다이오드막 형성과정과, 상기 접합 다이오드막에 투명도전막(ITO)을 적층하여 형성하는 제2투명전극막 형성공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전자 집적회로의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930028579A KR950021694A (ko) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 광전자 집적회로 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930028579A KR950021694A (ko) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 광전자 집적회로 및 그 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950021694A true KR950021694A (ko) | 1995-07-26 |
Family
ID=66850657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930028579A KR950021694A (ko) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 광전자 집적회로 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950021694A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466396B1 (ko) * | 1995-12-30 | 2005-04-08 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 발광형액정표시장치 |
-
1993
- 1993-12-20 KR KR1019930028579A patent/KR950021694A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466396B1 (ko) * | 1995-12-30 | 2005-04-08 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 발광형액정표시장치 |
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |