KR950021416A - 금속배선 형성방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 금속배선 형성방법에 관한 것으로, 특히 소정정도의 단차를 갖는 지역에 금속막 증착시 균일한 방향성을 갖고 증착되는 금속원자를 여과해냄으로써 다방향으로 증착되는 금속막을 형성하는 것을 특징으로 함으로써, 본 발명은 막의 스텝커버리지 특성을 개선하여 일렉트로마이그레이션(electromigration)에 의한 금속막의 단선, 열적파괴 등을 방지하여 소자의 신뢰성 향상의 효과를 얻을 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 일실시예의 금속막의 방향성 증착개략도.
Claims (3)
- 스퍼터링 기법을 이용한 금속배선 형성방법에 있어서, 소정정도의 단차를 갖는 지역에 금속막 증착시 균일한 방향성을 갖고 증착되는 금속원자를 여과해냄으로써 다방향으로 증착되는 금속막을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속배선 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 여과시 콜리메이터(collimator,2)를 이용하는 것을 특징으로 하는 금속배선 형성방법.
- 제2항에 있어서, 상기 콜리메이터 (2)는 길이와 폭의 비가 1대 0.5내지 3대 1인 것을 특징으로 하는 금속배선 형성 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930028077A KR950021416A (ko) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 금속배선 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930028077A KR950021416A (ko) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 금속배선 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950021416A true KR950021416A (ko) | 1995-07-26 |
Family
ID=66850816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930028077A KR950021416A (ko) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 금속배선 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950021416A (ko) |
-
1993
- 1993-12-16 KR KR1019930028077A patent/KR950021416A/ko not_active Application Discontinuation
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