KR950014883A - 오염 원소 농도 분석 장치 - Google Patents

오염 원소 농도 분석 장치 Download PDF

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KR950014883A
KR950014883A KR1019940031034A KR19940031034A KR950014883A KR 950014883 A KR950014883 A KR 950014883A KR 1019940031034 A KR1019940031034 A KR 1019940031034A KR 19940031034 A KR19940031034 A KR 19940031034A KR 950014883 A KR950014883 A KR 950014883A
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구니히로 미야자끼
아야꼬 시마자끼
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사또 후미오
가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

관측 파형에 퍼크 깨짐이 있어도 정확한 피크 분리를 행할 수 있는 오염 원소 농도 분석 장치를 제공한다.
피크 분리 수단이 관측 파형으로부터 오염 원소의 피크를 검출하는 제1 피크 검출 수단과, 제1 피크 검출 수단에서 검출된 프크로부터 소정 채널수 내에 다른 피크가 존재하는가의 여부를 검출하는 제2 피크 검출 수단과, 제2 피크 검출 수단이 다른 피크를 검출한 경우에 각 피크 사이에 위치하는 채널 번호와 신호 강도를 추출하는 채널 추출 수단과, 각 피크를 참의 피크라고 가정한 경우의 각각에 관한 평가량 Yi=∑i｜P-pi｜ ×Ci(P;가정한 참의 피크의 채널 번호, pi;피크 간 채널의 채널 번호, Ci,채널 번호 p,의 신호 강도)를 산출하는 평가량 연산 수단과, 평가량 연산 수단에서 산출된 평가량 Yi를 비교해서 이 평가량 Yi가 최소가 되는 피크를 참의 피크로 판정하는 피크 판정 수단을 구비한다.

Description

오염 원소 농도 분석 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (2)

  1. 기반 표면에서 발생한 형광 X선 파형을 검출하는 검출 수단, 이 검출기로부터 출력된 신호 파형으로부터 피분석 오염 원소의 피크를 분리시키는 피크 분리 수단 및 상기 피크 분리 수단에서 분리된 상기 피크를 이용해서 상기 피검출 오염 원소의 농도를 검출하는 농도 검출 수단을 갖는 오염 원소 분석 장치에 있어서, 상기 피크 분리 수단이 상기 검출 수단으로부터 입력된 파형에서 상기 피검출 오염 원소의 피크를 검출하는 제1 피크 검출 수단, 상기 제1 피크 검출 수단에서 검출된 피크를 중심으로 하여 소정의 채널수내에 다른 피크가 존재하는가의 여부를 검출하는 제2 피크 검출 수단, 상기 제2 피크 검출 수단이 다른 피크를 검출한 경우에 각 피크 사이에 위치하는 채널 번호와 신호 강도를 추출하는 채널 추출 수단, 이들 각 피크를 참의 피크라고 가정한 경우의 각각에 관한 평가량 YiYi=∑i｜P-pi｜ ×CiP;가정한 참의 피크의 채널 번호, Pi;피크 간 채널의 채널 번호, Ci,채널 번호 Pi의 신호 강도를 산출 하는 평가량 연산 수단 및 상기 평가량 연산 수단에서 산출된 평가량 Yi를 비교해서 이 평가량 Yi가 최소가 되는 경우의 피크를 참의 피크로 판정하는 피크 판정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 오염 원소 농도 분석 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 피크 분리 수단은, 상기 제1 피크 검출 수단 및 상기 제2 피크 검출 수단에서 검출된 각 피크의 반값 반폭 중에서 최대의 것을 참의 반값 반폭으로 하여 채용하는 반값 반폭 판정 수단 및 상기 피크 판정 수단에서 판정된 상기 참의 피크의 피크 위치에서의 신호 강도을 Pp9해당 피크의 측정 파형의 면적을 A0, 해당 피크의 모델 파형 면적을 Ag로서 P×=Pp× (A0/Ag)가 되는 연산을 행함으로써 피크 높이 P×를 산출하는 피크 높이 산출 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 요염 원소 농도 분석 장치
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940031034A 1993-11-25 1994-11-24 오염 원소 농도 분석 방법 KR0170435B1 (ko)

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