KR950014354A - 진공 웨브 코팅용 증발기 - Google Patents

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케니쓰 박스터 얀
아더 비숍 챨스
챨스 맥기 데이비드
왓킨스 키쓰
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프랭크 케이시
제네럴 배큠 이큅먼트 엘티디
수잔 제인 젠틀
임페리얼 케미칼 인더스트리스 피엘씨
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    • C23C14/20—Metallic material, boron or silicon on organic substrates

Abstract

본 발명은 증발수단으로부터 코팅재료(36)를 운반하여 기재(21)상에 증착시키는 증기 배출수단(29)을 지닌 증발수단(15,32)로 구성되는 진공 웨브 코팅장치에서 웨브 기재상에 코팅하기 위해 증착시킬 증기를 발생시키는 장치에 관한 것이다. 증발 수단은 불활성 개스를 증발수단에 공급하여 재료의 증발을 중단시키고/시키거나 증발 수단을 냉각시키는 수단으로 추가로 구성된다. 이로써 증발은 신속히 중단되어 기재 및/또는 코팅재료의 교체를 가능케 해준다. 불활성 개스는 냉각수단을 통해 재순환시키는 것이 유리하며, 불활성 개스의 일부 또는 전부를 증기 배출 수단을 통해 증발 수단내로 “역공급”할수 있다. 상기 장치는 코팅 공정시 중단시간을 상당히 감소시켜준다.

Description

진공 웨브 코팅용 증발기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 단측 코팅용으로 배열된 본 발명 웨브 코팅장치의 횡단면도.
제3도는 웨브 코팅장치용 증발기의 입단면도.
제5도는 제1도 장치유닛의 선택적 배향을 보여주는 부분 단면도.

Claims (12)

  1. 증기를 운반하여 증착 영역(30)의 웨브 기재(21)상에 증착시키는 최소한 1개의 출구 노즐로 구성되는 증기 배출수단(29)을 갖는, 웨브 기재(21)상에 증착시킬 코팅재료(36)의 기화용 증발수단(15,32)으로 구성되며 증발 수단에 불활성 개스를 공급하여 증발 수단으로부터 재료(36)의 증발을 중단시키고/시키거나 증발 수단을 냉각시킬 수 있는 공급수단(15)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 웨브 코팅용 증발기.
  2. 제1항에 있어서, 개스 공급수단(45,46)은 기화시킬 재료 주위로 냉각개스를 공급하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증발기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 증발수단(15)이 최소한 1개의 증기출구 노즐(29)을 지니며 증기 출구노즐(들)을 제외하고는 밀봉되어 있고 작동시에는 기화시킬 코팅재료(36)를 함유하는 최소한 1개의 증류기(37)로 구성되는 것을 특징으로 하는 증발기.
  4. 제3항에 있어서, 증류기(37)의 열 용량이 작은 것을 특징으로 하는 증류기.
  5. 최소한 1개의 증착영역(30)을 함유하는 진공 챔버; 증착 영역에 웨브 기재(21)를 유지하기 위한 웨브 유지수단(10,13,24,25); 및 웨브 기재상에 증착시킬 재료를 기화시키기 위한 증발수단(15,32)으로 구성되며, 상기 증발수단(15,32)은 증기를 운반하여 증착영역(30)내의 웨브 기재(21)상에 증착시키는 최소한 1개의 출구 노즐로 구성되는 증기 배출수단(2)을 가지며; 상기 증발수단은 불활성 개스를 증발수단에 공급하여 재료의 증발을 중단시키고/시키거나 증발 수단을 냉각시킬 수 있는 공급수단(45,46)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 웨브 코팅용 장치.
  6. 제5항에 있어서, 개스 공급수단(45,46)이 불활성 개스원으로부터 진공챔버(12)내로 연결된 1개이상의 개스 운반 도관(46)으로 구성되는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 개스 운반 도관이 증기 배출수단(29)과 소통하는 진공 챔버의 일부분에 개스를 운반하여 칭 개스가 증기 배출수단을 통해 증발 수단내의 코팅재료(36)로 역공급될 수 있도록 배열되어 있는 장치.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 최소한 1개의 개스 운반 도관(46)이 개스를 개스원으로부터 증발 수단내의 코팅 재료(36)로 직접 공급하도록 배열되어 있는 장치.
  9. 제6항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 웨브 유지수단(10,13,24,25)이 증착 영역(30)을 통해 웨브 기재(21)를 연속적으로 진행시키기위한 웨브 운빈 시스템(10,13,24,25)으로 구성되는 장치.
  10. 웨브 기재(21)를 냉각된 증착영역(30)내에 유지하는 단계; 기재상에 증착시킬 재료(36)를 기화시키는 단계; 발생된 증기를 증착영역(30)의 기재 표면으로 운반하는 단계; 및 증기를 기재상에 코팅으로 응축시키는 단계로 구성되며; 필요한 경우 기화시킬 재료 주위로 재료의 증발 증기압보다 높은 압력으로 불활성개스를 공급하여 재료(36)의 증발을 중단시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 웨브코팅방법.
  11. 제10항에 있어서, 기화되지 않고 남아있는 임의의 재료(36)와 재료를 가열하거나 함유하는 임의의 장치(36,37,43)를 냉각시키기에 충분한 불활성 개스를 공급하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 불활성 개스를 난류 조건하에 공급하는 것을 특징으로 하는 방법.
    참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940029247A 1993-11-09 1994-11-09 진공 웨브 코팅용 증발기 KR950014354A (ko)

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