KR950012917A - 레이저 다이오드의 제조방법 - Google Patents
레이저 다이오드의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 레이저 다이오드의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명 레이저 다이오드의 제조방법은 액상성장법의 되녹임 식각 및 재성장 방법에 의해 단절없이 한 단계 성장으로 수행됨으로, 종래의 2단계 성장에 비해 제작이 간단하고 재성장에 의한 불순물의 확산을 막을 수 있어 소자 특성 및 신뢰성을 향상된 레이저 다이오드를 제공할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도 내지 제6도는 본 발명에 따른 제조단계별 제조단계별 개략적인 공정 단면도이다.
Claims (5)
- (1)소정영역에 돌출부가 형성되도록 기판을 패터닝(patterning)하는 기판패터닝단계, (2)상기 돌출부에 대응한 전류차단층을 성장하는 전류차단층 성장단계, (3)소정이 식각공정으로 상기 기판 돌출부위를 식각하여 그 부분에 전류주입채널을 형성하는 채널형성단계, 및 (4)상기 전류차단층 및 채널영역에 대응하여 제1크래드층, 활성층, 제2크래드층을 순차적으로 재성장하는 다층성장단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2크래드층 상부에 콘택트층을 더 성장하고, 상기 기판저면과 콘택트층 상면에 오믹전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 전류주입채널형성이 액상성장법의 되녹임 식각에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 전류주입채널을 초승달 모양의 형상으로 하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 전류차단층성장단계와 채널형성단계 및 다층재성장단계가 연속적인 액상성장법의 성장/되녹임식각/재성장에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR1019930022321A KR950012917A (ko) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 레이저 다이오드의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|
| KR950012917A true KR950012917A (ko) | 1995-05-17 |
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ID=66824751
Family Applications (1)
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| KR1019930022321A KR950012917A (ko) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 레이저 다이오드의 제조방법 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR950012917A (ko) |
-
1993
- 1993-10-26 KR KR1019930022321A patent/KR950012917A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19931026 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |