KR950012671A - 기판냉각장치 - Google Patents

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KR950012671A
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Abstract

처리실내에 펠티에 소자를 구비한 냉각플레이트를 설치하고, 그 냉각플레리트상의 기판을 냉각하도록한 기판냉각장치에 있어서, 기판을 냉각하는 기판냉각목표온도를 설정하는 냉각목표온도 설정구단을 설치함과 동시에, 기판냉각목표온도 보다도 낮은 설정온도에서 냉각수단을 기동하는 냉각수단기동수단을 설치하여, 기판의 온도가 기판냉각목로온도로 된 것을 판별하는데 따라 기판을 냉각플레이트에 의한 열의 영향을 받지않는 위치가지 상승이간시켜, 냉각처리를 종료한다. 이것에 의해, 기판을 고속으로 냉각해서 냉각처리시간을 단축하고 소정의 프로세스 모듈에서 구성할때의 기판냉각장치의 갯수를 적게하면서 처리 효율을 향상시킨다.

Description

기판냉각장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에서 기판냉각장치의 전체종단면도,
제2도는 기판냉각장치의 주요부 평면도,
제3도는 제1실시예의 블럭도.

Claims (12)

  1. 기판을 수용하기 위한 처리실과, 상기처리실내에서 상기 기판을 지지하는 냉각플레이트와, 상기 냉각 플레이트에 지지된 상기 기판을 냉각하기 위한 냉각수단을 구비한 기판냉각장치에 있어서, 상기 기판을 냉각하는 기판냉각 목표온도를 설정하는 목표온도설정수단과, 상기 냉각플레이트의 온도가 상기 목표온도보다도 저온으로 되도록 상기 냉각수단을 구동하기 위한 저온냉각구동수단과, 상기 기판의 온도가 상기 목표온도로 된 것을 판별하는데 따라서 상기 기판의 상기 냉각플레이트에 의한 열영향을 받지 않는 상태로 바꾸기 위한 제어수단을 구비하는 기판냉각장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 냉각플레이트 상대적으로 상기 기판을 승강하는 기판승강수단을 더 구비하고, 상기 기판이 상기 목표온도로 된 것을 판별하는데 따라, 제어수단은 상기 냉가플레이트에 의해 상기 기판이 열영향을 받지 않게 서로 상기 기판과 상기 냉각플레이트를 격리하는 상기 기판승강수단을 제어하는 기판냉각장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 냉각플레이트가 상기 목표온도 이하의 초기온도로 냉각되도록 상기 냉각수단을 제민하기 위한 초기 구동수단과, 상기 구동수단은 동작시켜서 상기 냉각플레이트상에 반입된 상기 기판을 검출하기 위한 기판검출수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은 상기 기판이 상기 목표온도로 된 것을 판별하는데 따라, 상기 초기 구동수단을 동작시키는 기판냉각장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 냉각수단은 펠티에 소자를 포함하는 기판냉각장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 냉각플레이트는 상기 기판을 미소갭으로 보지해서 지지된 구조로 된 기판냉각 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 냉각플레이트는 상기 기판을 견고하게 접촉하여 지지하는 구조로 되어 있는 기판냉각장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 냉각플레이트가 목표온도 이하의 초기온도로 냉각되도록 상기 냉각수단을 제어하기 위한 초기구동수단과. 상기 구동수단을 동작시켜서 상기 냉각플레이트상에 반입된 상기 기판을 검출 하기 위한 기판검출수단을 더 구비하고. 상기 제어수단은 상기 기판이 상기 목표온도로 된 것을 판별하는데 따라, 상기 초기구동수단을 동작시키는 기판냉각장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 냉각수단은 펠티에 소자를 포함하는 기판냉각장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 냉각플레이트는 상기 기판을 미소갭으로 보지해서 지지되는 구조로 되는 기판 냉각장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 냉각수단은 펠티에 소자를 포함하는 기판냉각장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 냉각 플레이트는 상기 기판을 미소갭으로 보조해서 지지되는 구조로 되는 기판냉각장치.
  12. 기판을 순용하기 위한 처리실과 상기 처리실에서 상기 기판을 지지하기 위한 냉각플레이트와, 상기 냉각플레이트상에 지지된 상기 기판을 냉각하기 위한 냉각수단을 가지는 기판 냉각장치에 있어서, 상기 기판이 냉각되도록 한 목포온도를 설정하기 위한 목표온도 설정수단과, 상기 목표온도 이하로 상기 냉각플레이트를 냉각하기 위한 상기 냉각수단을 구동하기 위한 구동수단을 구비하는 기판냉각처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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