KR950012278A - 높이를 식별하는 화상 인식 장치와 화상 인식장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법 - Google Patents

높이를 식별하는 화상 인식 장치와 화상 인식장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법 Download PDF

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Abstract

기판상에 배치된 많은 작은 돌출물에 대하여 그 높이를 빠르게 식별할 수 있는 화상 인식 장치와 상기 화상 인식 장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법이 제공되었다. 두 개의 슬릿 입사 빔은 광원으로부터 방출되고, 슬릿을 통과하여 기판의 표면에 수직한 방향의 입사각으로 기판상에 입사된다. 기판상에는 피검출물체의 불규칙성이 존재한다. 슬릿 빔은 피검출물체의 돌출 부분에 의하여 차단되며, 따라서 기판의 표면상에 야기된 휘선의 형태는 피검출물체의 높이에 따라서 변한다. 휘선의 화상은 텔레비젼 카메라에 의하여 픽업되고, 이에 의한 신호는 미리 저장된 화상 신호와 비교된다. 따라서, 피검출 물체의 높이가 소정의 범위에 있는가 그렇지 않은가에 무관하게 높이를 구별할 수 있다.

Description

높이를 식별하는 화상 인식 장치와 화상 인식장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명의 화상 인식 장치의 형태 및 본 발명의 화상 인식 장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법의 형태를 나타내는 구성요소 블럭도.
제6도는 본 실시예에서 사용된 기판 형태의 정면도.
제7도는 제6도의 라인 I-I 에서의 단면도.

Claims (7)

  1. 화상 인식 장치로서, 투사 빔을 방출하는 광원수단, 광원 수단 전방에 설치되어 있으며 기판상에 비스듬히 조사되는 투사빔을 두 개의 상호 평행한 슬릿 입사 빔으로 전환시키는 슬릿 수단, 슬릿 빔에 의하여 기판의 표면상에 야기된 휘선의 영상을 픽업하는 화상 픽업 수단, 및 이미 저장된 소정의 패턴 신호를 화상 픽업 수단에 의하여 픽업된 신호와 비교하는 화상처리수단을 구비하고, 상기 피검사 물체에는 피검출 돌출물체와 함께 제공되며, 돌출물 높이는 피검출 돌출물체에 의한 휘선의 불연속 유무를 기초로 하여 식별되는 것을 특징으로 하는 화상 인식 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화상 인식장치는 화상 픽업 수단의 전방에 배치된 실린더형 렌즈를 더 구비하며, 상기 실린더형 렌지는 폭 방향으로 피검사 물체상에 야기된 휘선의 화상을 확대하기에 적합하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 화상 인식 장치.
  3. 제1항에 있어서, 피검출물체의 높이의 크기는 피검사 물체상에 주사된 휘선과 피검출물체상에 주사된 휘선 사이의 간격의 크기를 토대로 하여 측정되는 것을 특징으로 하는 화상 인식 장치.
  4. 화상 인식장치로서, 피검사 물체를 가지는 회전가능한 스테이지와 함께 제공된 피검출물체 지지수단, 소정의 입사각에서 피검사 물체상에 슬릿 입사 빔을 주사하는 광원수단, 슬릿 빔에 의하여 피검사 물체상에 야기된 휘선의 화상을 픽업하는 화상 픽업 수단, 및 입사각의 휘선의 유무 사이의 관계에서 이미 저장된 소정의 패턴 신호를 화상 픽업 수단에 의하여 픽업된 신호와 비교하는 화상 처리 수단을 구비하며, 상기 피검사 물체는 피검출 돌출물체와 함께 제공되며, 돌출물체의 높이는 피검사 물체상의 휘선과 피검출 물체상의 휘선 사이의 간격크기를 기초로 하여 식별되며, 피검출 물체의 명확한 식별은 회전하는 스테이지의 위치를기초로 하여 가능해지는 특징을 가지는 화상 인식 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 화상 인식 장치는 피검출물체 지지수단과 광원 수단으로부터의 입사각의 상대적인 변경을 가능케하도록 형셩되는 것을 특징으로 하는 화상 인식 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 스테이지는 화상 픽업 수단 주위를 90°의 각으로 회전하는 것을 특징으로 하는 화상 인식 장치.
  7. 화상 인식 장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법으로서, 투사 빔을 방출하는 조사단계, 광원 수단 전방에 설치되어 있으며 피검사 물체상에 비스듬히 조사되는 투사 빔을 두 개의 상호 평행한 슬릿 입사 빔으로 전환하는 슬릿 빔 방출 단계, 슬릿 빔에 의하여 피검사 물체의 표면상에 야기된 휘선의 영상을 픽업하는 화상 픽업 단계, 및 이미 저장된 소정의 패턴 신호를 화상 픽업 단계에서 픽업된 신호와 비교하는 화상 처리 단계를 구비하며, 상기 피검사 물체는 피검출 돌출물체와 함께 제공되며, 돌출물 높이는 피검출 돌출 물체에 의한 휘선의 불연속 유무를 기초로하여 식별되는 것을 특징으로 하는 화상 인식장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940027094A 1993-10-22 1994-10-22 높이를 식별하는 화상 인식 장치와 화상 인식 장치를 사용하여 높이를 식별하는 방법 KR0163780B1 (ko)

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