KR950004486A - 웨이퍼의 필드 영역 분할 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자의 제조 공정중 포토 마스트 스텝(photo mask step)에서 노광을 실시할 때 발생되는 웨이퍼 및 스텝퍼 스테이지(stepper stage)의 정렬 에러를 감시 및 방지하는 웨이퍼의 플랫트 죤(flat-zone) 정렬 장치에 관한 것으로, 웨이퍼(1)에 패턴 형성 후 분할된 필드 영역(3)의 하단라인과 웨이퍼(1)의 플래트 죤(la)과의 정렬을 식별하기 위하여 상기 웨이퍼(1)의 플래트 죤*la)에 버어니어 기능을 할 수 있도록 미세하게 나누어지도록 소정모양으로 형성된 정렬감시용 보조 패턴(4)을 형성하는 제4단계를 구비하여 초기 노광으로부터 발생한 웨이퍼의 정렬에러를 웨이퍼의 패턴 형성시에 신뢰성 있게 조사할 수 있으므로 해서 웨이퍼의 재생산 및 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

웨이퍼의 필드 영역 분할 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도의 (A) 및 (B)는 종래 웨이퍼의 플래트 죤 정렬이 불일치한 상태의 마스크 공정도, 제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼의 플래트 죤과 필드 영역과의 정렬상태를 감시하기 위한 버어니어패턴을 형성 공정도, 제3도는 본 발명에 의한 웨이퍼의 필드 영역 분할 공정 후 웨이퍼의 정렬을 식별하는 상태도.

Claims (1)

1. 도포된 웨이퍼(1)가 스탭퍼(2) 스테이지에 장착되는 제1단계와, 상기 웨이퍼(1)에 마스크패턴을 형성하기 위하여 노광기에 의해 노광을 하는 제2단계와, 상기 노광에 의해 형성된 패턴과 웨이퍼(1)의 플래트죤(la)의 정렬상태를 식별하는 제3단계의 웨이퍼 필드영역 분할 방법에 있어서, 상기 웨이퍼(1)에 패턴 형성 후 분할된 필드 영역(3)의 하단 라인과 웨이퍼(1)의 플래트 죤(la)과의 정렬을 식별하기 위하여 상기 웨이퍼(1)의 플래트 죤(la)에 버어니어 기능을 할 수 있도록 미세하게 나누어지는 소정모양으로 형성된 정렬감시용 보조 패턴(4)을 형성하는 제4단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 필드 영역 분할방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.