KR940702587A - 크라이오 펌프(cryogenic pump) - Google Patents

크라이오 펌프(cryogenic pump)

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KR940702587A
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Abstract

본 발명은 하우징(2), 흡입밸브(33), 가열 가능한 펌프표면(11) 및 펌프 내부 챔버(9)에 접속된 저 진공펌프(45)를 포함하는, 냉동 유니트(3)로 작동되는 크라이오 펌프에 관한 것이다. 높은 압력에서 응축된 가스를 제거함으로써 크라이오 펌프를 신속히 재생하기 위해, 크라이오 펌프에 재생밸브(47)를 가진 제거될 응축물용 라인(46)을 설치한다.

Description

크라이오 펌프(CRYOGENIC PUMP)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 제어 및 전력공급 장치를 가진 본 발명의 크라이오 펌프를 나타낸 개략도이고, 제4도는 진공 절연부를 가진 실시예의 단면도이다.

Claims (32)

  1. 하우징(2), 흡입밸브(33), 가열가능한 펌프표면(11) 및 펌프 내부챔버(9)에 접속된 저 진공펌프(45)를 포함하는, 냉동유니트(3)로 작동되는 크라이오 펌프(1)에 있어서, 재생밸브(47)를 가진 제거될 응축물용 라인(46)을 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  2. 제1항에 있어서, 재생밸브(47)는-재생밸브 다음에 배치된-이송장치(50)가 놓인 배출라인(46)의 구성부분인 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 배출라인(46)의 유입구가 차폐부(6)의 하부영역에 놓이는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  4. 제3항에 있어서, 차폐부(6)의 바닥(7) 및/또는 벽은 배출라인(46)의 유입구가 차폐부(6)의 가장 낮은 장소에 연결되도록 경사지는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  5. 제3항 또는 4항에 있어서, 차폐부(6)의 바닥영역에 가열수단(16)이 놓이는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  6. 제1항 또는 2항에 있어서, 제2단계(5)의 펌프표면(11)하부에-필수적으로 가열되는 경우-깔때기 또는 홈(85)이 놓이며, 상기 깔대기 또는 홈의 배출구가 배출라인(46)내로 뻗는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  7. 제1항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서, 재생밸브(47)가 첵밸브로 형성되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  8. 제1항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서, 재생밸브(47)에 가열수단(48)이 설치되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  9. 제1항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서, 재생밸브(47)에 온도센서(49)가 설치되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  10. 제1항 내지 9항 중 어느 한 항에 있어서, 재생밸브(47)의 밀봉표면(68,71)앞에-흐름방향으로 볼때-필터(78)가 지지되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  11. 제1항 내지 10항중 어느 한 항에 있어서, 재생밸브(47)는 안 앞면이 밸브시이트(68)를 형성하는 원통형 밸브 하우징(67)를 가지며, 중심핀(73)을 통해 밸브하우징(67)의 앞면 개구에 지지된 중앙 슬리브(72)내에 안내되는 밸브 디스크(69)가 제공되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  12. 제11항에 있어서, 밸브하우징(67)이 파이프부(62)와 함께 플랜지(61)에 고정되며, 상기 플랜지(61)내로 배출라인(46)이 뻗는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  13. 제1항 내지 12항중 어느 한 항에 있어서, 재생밸브(47)가 센서에 의해 활성화되도록 제어되는 밸브인 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  14. 제1항 내지 13항 중 어느 한 항에 있어서, 펌프 내부 챔버(9)내에서 가스를 통해 일어나는 펌프 하우징(2)으로 부터 펌프표면(6,8)상으로의 열전달을 방지하는 수단(25,81,82)이 설치되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  15. 제14항에 있어서, 외부 하우징(2)과 차폐부(6,7)사이에 낮은 열전도성 재료가 놓이는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  16. 제14항에 있어서, 외부하우징(2)이 적어도 부분적으로 2중벽(벽(81), (82))으로 형성되고 밀폐된, 진공화 가능한 사이공간(25)을 형성하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  17. 제16항에 있어서, 적어도 내벽(82)이 특수강으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  18. 제17항에 있어서, 내벽(82)의 두께가 1㎜, 특히 0.5㎜보다 작은 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  19. 외부하우징(2), 다단 냉각원(3), 및 상기 냉각원(3)의 제1단계(4)에 열전도 접속된 차폐부(6)를 포함하며, 상기 차폐부가 -외부 하우징(2)과 함께 사이공간(25)을 형성하고, -냉각원(3)의 제1단계(4)에 열전도 접속되며, -저온 펌프표면(12,13)이 놓이는 내부챔버(펌프챔버(9))를 형성하는, 제14항에 따른 크라이오 펌프에 있어서, 사이 공간(25)이 진공밀봉 방식으로 설계된 공간인 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  20. 제19항에 있어서, 차폐부(6)가 냉동 유니트(3)의 제1단계에 진공 밀봉방식으로 접속되고, 차폐부(6)의 상부 가장자리가 외부 하우징(2)에 또는 외부 하우징(2)에 제공된 플랜지(27)에 낮은 열전도성의, 진공밀봉된, 열운동을 보상하는 부품, 특히 벨로우즈(26)를 통해 접속되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  21. 제16항 내지 20항중 어느 한 항에 있어서, 접속 슬리브(31,32)가 설치되며, 그중 하나는 사이공간(25)내로 그리고 다른 하나는 펌프 내부챔버(9)내로 뻗고, 상기 접속슬리브는 밸브(42)를 통해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  22. 제21항에 있어서, 밸브(42)가 제어밸브 또는 첵밸브로 형성되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  23. 내부챔버(9)와 사이공간(25)의 접속이 내부챔버내의 압력(P)이 약 10-3mbar이하일때 개방되고 압력(P)이 10-3mbar보다 클때 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  24. 제22항에 있어서, 밸브(42)가 절연 진공부(25)내의 압력이 펌프 내부 챔버(25)내의 압력보다 약 100mbar정도 더 클때 개방위치를 취하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  25. 제16항 내지 24항 중 어느 한 항에 있어서, 절연 진공부(25)를 통해 안내되는 접속 슬리브(21 및/또는 32)가 2중 파이프(51,52)로 구현되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  26. 제16항 내지 24항중 어느 한 항에 있어서, 절연 진공부(25)를 통해 안내되는 접속 슬리브(21 및/또는 32)는 절연 진공부(25)에 배치된, 낮은 열전도성 재료, 특히 특수강으로된 벨로우즈(53,54)를 가지는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  27. 제25항 또는 26항에 있어서, 차폐부(6)의 바닥 영역(7)을 통해 안내된 접속 슬리브(21 및/또는 23)가 펌프 내부챔버(9)내로 돌출한 가장자리(55,56)를 가지는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  28. 제25항, 26항 또는 27항에 있어서, 배출라인(46)이 접속 슬리브(21,32)를 통해 안내되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  29. 제16항 내지 28항에 있어서, 사이공간(25)이 진공밀봉 방식으로 설계된 공간이고, 상기 공간에 게터 또는 냉각가능한 표면영역상에 제공되는 흡착물질(58,83)이 놓이는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  30. 제29항에 있어서, 2중벽으로 형성된 하우징(2)에서 절연진공부(25)를 향한 내벽(82)영역이 흡착물질(83)을 가지며, 펌프 내부챔버(9)를 향한 상기 영역의 측면이 냉각 브리지(84)를 통해 냉동 유니트(3)의 제1단계(4)에 접속되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  31. 제29항에 있어서, 차폐부(6)가 내벽을 형성하는 절연진공부(25)에서 차폐부(6)의 외측면상에, 특히 그것의 바닥(7) 영역에 흡착물질(58)이 제공되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
  32. 제16항 내지 31항 중 어느 한 항에 있어서, 차폐부(6)의 외측면이 적어도 분적으로 감게되는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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