JPH07280449A - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉Info
- Publication number
- JPH07280449A JPH07280449A JP7069294A JP7069294A JPH07280449A JP H07280449 A JPH07280449 A JP H07280449A JP 7069294 A JP7069294 A JP 7069294A JP 7069294 A JP7069294 A JP 7069294A JP H07280449 A JPH07280449 A JP H07280449A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- furnace
- seal
- heat insulating
- insulating material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】処理室の高速排気や炉内汚染防止に加えて、急
速冷却、急速加熱を可能にした熱処理炉を提供する。 【構成】従来のタイトボックスに代えて、ヒータ５と断
熱材２の間に、ガスや液体を通過させ難いグラファイト
製のシート４をそのシート内側が気密になるように配置
し、ヒータ電極部５ａ、炉床６の脚部６ａ、排気管７ａ
の各々のシート貫通部をシール５０、６０、７０を介し
て密封した。
速冷却、急速加熱を可能にした熱処理炉を提供する。 【構成】従来のタイトボックスに代えて、ヒータ５と断
熱材２の間に、ガスや液体を通過させ難いグラファイト
製のシート４をそのシート内側が気密になるように配置
し、ヒータ電極部５ａ、炉床６の脚部６ａ、排気管７ａ
の各々のシート貫通部をシール５０、６０、７０を介し
て密封した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄熱処理炉を始めと
して、焼入・焼戻炉、脱脂焼結炉、ろう付炉、純化炉、
連続炉の処理室などに適用可能な熱処理炉に関するもの
である。
して、焼入・焼戻炉、脱脂焼結炉、ろう付炉、純化炉、
連続炉の処理室などに適用可能な熱処理炉に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】この種の熱処理炉として、グラファイト
フェルト製の断熱材の内側に、ヒータに包囲されたグラ
ファイト製のタイトボックスを配置し、そのタイトボッ
クスの内側に排気口を配置し、前記タイトボックス内を
直接炉外に排気できるようにしたものが知られている。
フェルト製の断熱材の内側に、ヒータに包囲されたグラ
ファイト製のタイトボックスを配置し、そのタイトボッ
クスの内側に排気口を配置し、前記タイトボックス内を
直接炉外に排気できるようにしたものが知られている。
【０００３】かかるタイトボックスを設けた目的は、タ
イトボックスに外側空間から内側空間へ向かうガスの流
れを形成して処理室で発生した蒸気の外側空間への漏
出、ひいては断熱材や炉胴等の汚染防止を図る点にあ
る。
イトボックスに外側空間から内側空間へ向かうガスの流
れを形成して処理室で発生した蒸気の外側空間への漏
出、ひいては断熱材や炉胴等の汚染防止を図る点にあ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構造のものは、タイトボックスの熱容量が大きいため、
炉内の急速冷却、急速加熱ができず、炉の稼動効率の低
下が避け難いという問題がある。一方、タイトボックス
の板厚を薄くすると、内外の差圧や強冷時の風圧に対し
て強度上問題になる。
構造のものは、タイトボックスの熱容量が大きいため、
炉内の急速冷却、急速加熱ができず、炉の稼動効率の低
下が避け難いという問題がある。一方、タイトボックス
の板厚を薄くすると、内外の差圧や強冷時の風圧に対し
て強度上問題になる。
【０００５】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、炉内汚染防止に加えて、急速冷却、
急速加熱を可能にした熱処理炉を提供することを目的と
している。
れたものであって、炉内汚染防止に加えて、急速冷却、
急速加熱を可能にした熱処理炉を提供することを目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、従来のタイトボックスに代えて、ヒー
タと断熱材の間に、ガスや液体を通過させ難いグラファ
イト又は金属製のシートをそのシート内側が気密になる
ように配置すると共に、シートの内側に排気口を設け、
各シート貫通部をシールを介して密封したことを特徴と
する。
達成するために、従来のタイトボックスに代えて、ヒー
タと断熱材の間に、ガスや液体を通過させ難いグラファ
イト又は金属製のシートをそのシート内側が気密になる
ように配置すると共に、シートの内側に排気口を設け、
各シート貫通部をシールを介して密封したことを特徴と
する。
【０００７】特に、ヒータに対応するシート貫通部に施
すシールは、電気的に絶縁であることが望ましい。
すシールは、電気的に絶縁であることが望ましい。
【０００８】また、各シールの配設位置は炉内の加熱領
域に設定することが望ましい。
域に設定することが望ましい。
【０００９】
【作用】このような構成のものであれば、シートがタイ
トボックスと略等価な機能を発揮しつつ、急速冷却、急
速加熱を実現することになる。すなわち、シートは断熱
材を介して支持されるため、内外の差圧や強冷時の風圧
に対して十分な強度を有する。また、シートにより熱処
理室がほぼ密閉され、そのシート内に排気口が開口する
ため、処理の種類に応じて熱処理室で発生する油やバイ
ンダ、ろう等の蒸気の拡散領域を制限し、それらの発生
ガスを速やかに排気するため、炉内汚染防止を図ること
ができる。さらに、シート内にヒータが設けてあり、シ
ート内全域が昇温するため、蒸気が冷えてシート内やシ
ール部に付着する恐れもない。そして、シート自体はタ
イトボックスに比べて遥かに熱容量が小さいため、冷却
や加熱を無駄なく行い、それらの高速化を図ることがで
きる。
トボックスと略等価な機能を発揮しつつ、急速冷却、急
速加熱を実現することになる。すなわち、シートは断熱
材を介して支持されるため、内外の差圧や強冷時の風圧
に対して十分な強度を有する。また、シートにより熱処
理室がほぼ密閉され、そのシート内に排気口が開口する
ため、処理の種類に応じて熱処理室で発生する油やバイ
ンダ、ろう等の蒸気の拡散領域を制限し、それらの発生
ガスを速やかに排気するため、炉内汚染防止を図ること
ができる。さらに、シート内にヒータが設けてあり、シ
ート内全域が昇温するため、蒸気が冷えてシート内やシ
ール部に付着する恐れもない。そして、シート自体はタ
イトボックスに比べて遥かに熱容量が小さいため、冷却
や加熱を無駄なく行い、それらの高速化を図ることがで
きる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１〜図４を参
照して説明する。
照して説明する。
【００１１】この熱処理炉は、図１および図２に示すよ
うに、炉胴１の内側に、グラファイトフェルトを素材と
する円筒形の成形断熱材２および蓋状の断熱材３を配置
し、それらの断熱材２、３の内側に、熱処理室Ｓをほぼ
気密に包囲するグラファイトのシート４を配置して、該
シート４の適宜箇所を図示しないピンにより断熱材２、
３に止着している。一方、シート４の内側には、炉内構
成要素としてロッドヒータ５、処理物Ｗを載置する炉床
６、および排気口７が配置してある。そして、それらの
炉内構成要素５、６、７を前記シート４および断熱材２
を貫通して炉胴１に支持させている。具体的には、ロッ
ドヒータ５はその電極部５ａを絶縁碍子５ｂを介して炉
胴１に固設され、炉床６はその脚部６ａを介して炉胴１
に固設され、排気口７は該排気口７を形成する排気管７
ａが炉胴１に固設されている。そして、それらの電極部
５ａ、脚部６ａおよび排気管７ａのシート貫通部をそれ
ぞれシールしている。
うに、炉胴１の内側に、グラファイトフェルトを素材と
する円筒形の成形断熱材２および蓋状の断熱材３を配置
し、それらの断熱材２、３の内側に、熱処理室Ｓをほぼ
気密に包囲するグラファイトのシート４を配置して、該
シート４の適宜箇所を図示しないピンにより断熱材２、
３に止着している。一方、シート４の内側には、炉内構
成要素としてロッドヒータ５、処理物Ｗを載置する炉床
６、および排気口７が配置してある。そして、それらの
炉内構成要素５、６、７を前記シート４および断熱材２
を貫通して炉胴１に支持させている。具体的には、ロッ
ドヒータ５はその電極部５ａを絶縁碍子５ｂを介して炉
胴１に固設され、炉床６はその脚部６ａを介して炉胴１
に固設され、排気口７は該排気口７を形成する排気管７
ａが炉胴１に固設されている。そして、それらの電極部
５ａ、脚部６ａおよび排気管７ａのシート貫通部をそれ
ぞれシールしている。
【００１２】電極部５ａに対応するシート貫通部のシー
ル５０は、図３に示すように、断熱材２の内面および外
面に添設され断熱材２の貫通孔２ａに一致する貫通孔５
１ａを有した補強板５１と、一方の補強板５１の貫通孔
５１ａから断熱材２の貫通孔２ａに挿入し他方の補強板
５１の貫通孔５１ａに螺着した筒状体５２と、その筒状
体５２に挿入する電極部５ａの軸端部に螺合させてなる
銅電極５３と、前記電極部５ａの外周に嵌装したスライ
ダ５５と、このスライダ５５と前記電極部５ａの端部５
４との間に弾設したグラファイト製のバネ５６と、筒状
体５２の外方端に形成した底壁５２ａおよびスライダ５
５の先端の間に介挿した絶縁性を有するアルミナ製のシ
ールワッシャ５７とを具備している。銅電極５３は図１
に示すように絶縁碍子５ｂを介して炉胴１に設けたフラ
ンジ部１ａに支持させてある。スライダ５５の先端は部
分球面になっており、このスライダ５５が、テーパをな
す前記シールワッシャ５７に幾何学的に密接に添設する
ようになっている。このスライダ５５の内周にはラビリ
ンス５５ａが設けてある。また、前記シールワッシャ５
７は前記筒状体５２の底壁５２ａに対してある程度のス
ライド移動が許容されている。このようにして、このシ
ール５０は断熱材２の膨脹、収縮に起因した軸方向のズ
レをバネ５６の作用で吸収し、横方向のズレをシールワ
ッシャ５７のスライド動作で吸収し、回転方向のズレを
スライダ５５の球面とシールワッシャ５７のテーパ面と
の密接な添接状態を通じて許容した状態下に、貫通部を
略気密にシールしている。
ル５０は、図３に示すように、断熱材２の内面および外
面に添設され断熱材２の貫通孔２ａに一致する貫通孔５
１ａを有した補強板５１と、一方の補強板５１の貫通孔
５１ａから断熱材２の貫通孔２ａに挿入し他方の補強板
５１の貫通孔５１ａに螺着した筒状体５２と、その筒状
体５２に挿入する電極部５ａの軸端部に螺合させてなる
銅電極５３と、前記電極部５ａの外周に嵌装したスライ
ダ５５と、このスライダ５５と前記電極部５ａの端部５
４との間に弾設したグラファイト製のバネ５６と、筒状
体５２の外方端に形成した底壁５２ａおよびスライダ５
５の先端の間に介挿した絶縁性を有するアルミナ製のシ
ールワッシャ５７とを具備している。銅電極５３は図１
に示すように絶縁碍子５ｂを介して炉胴１に設けたフラ
ンジ部１ａに支持させてある。スライダ５５の先端は部
分球面になっており、このスライダ５５が、テーパをな
す前記シールワッシャ５７に幾何学的に密接に添設する
ようになっている。このスライダ５５の内周にはラビリ
ンス５５ａが設けてある。また、前記シールワッシャ５
７は前記筒状体５２の底壁５２ａに対してある程度のス
ライド移動が許容されている。このようにして、このシ
ール５０は断熱材２の膨脹、収縮に起因した軸方向のズ
レをバネ５６の作用で吸収し、横方向のズレをシールワ
ッシャ５７のスライド動作で吸収し、回転方向のズレを
スライダ５５の球面とシールワッシャ５７のテーパ面と
の密接な添接状態を通じて許容した状態下に、貫通部を
略気密にシールしている。
【００１３】一方、炉床６の脚部６ａに対応するシート
貫通部のシール６０は、図４に示すように、断熱材２の
内面および外面に添設され断熱材２の貫通孔２ａに一致
する貫通孔６１ａを有した補強板６１と、一方の補強板
６１の貫通孔６１ａから断熱材２の貫通孔２ａに挿入し
他方の補強板５１の貫通孔５１ａに螺着した筒状体６２
と、その筒状体６２に挿入する脚部６ａの軸端部に配置
した脚支持部材６３と、前記脚部６ａの外周に嵌装した
スライダ６５と、このスライダ６５と炉床６との間に弾
設したグラファイト製の板バネ６６と、筒状体６２の外
方端に形成した受座６２ａとスライダ６５との間に介挿
したグラファイト製のシールワッシャ６７とを具備して
いる。スライダ６５の一部は部分球面になっており、こ
のスライダ６５が、テーパをなす前記シールワッシャ６
７に幾何学的に密接に添設するようになっている。前記
シールワッシャ６７は前記筒状体６２の受座６２ａに対
してある程度のスライド移動が許容されている。このよ
うにして、このシール６０は断熱材２の膨脹、収縮に起
因した軸方向のズレをバネ６６の作用で吸収し、横方向
のズレをシールワッシャ６７のスライド動作で吸収し、
回転方向のズレをスライダ６５の球面とワッシャ６７の
テーパ面との密接な添接状態を通じて許容した状態下
に、貫通部を略気密にシールしている。類似のシール構
造が、排気管７ａに対応するシート貫通部７ｂのシール
７０にも適用されており、説明は省略する。
貫通部のシール６０は、図４に示すように、断熱材２の
内面および外面に添設され断熱材２の貫通孔２ａに一致
する貫通孔６１ａを有した補強板６１と、一方の補強板
６１の貫通孔６１ａから断熱材２の貫通孔２ａに挿入し
他方の補強板５１の貫通孔５１ａに螺着した筒状体６２
と、その筒状体６２に挿入する脚部６ａの軸端部に配置
した脚支持部材６３と、前記脚部６ａの外周に嵌装した
スライダ６５と、このスライダ６５と炉床６との間に弾
設したグラファイト製の板バネ６６と、筒状体６２の外
方端に形成した受座６２ａとスライダ６５との間に介挿
したグラファイト製のシールワッシャ６７とを具備して
いる。スライダ６５の一部は部分球面になっており、こ
のスライダ６５が、テーパをなす前記シールワッシャ６
７に幾何学的に密接に添設するようになっている。前記
シールワッシャ６７は前記筒状体６２の受座６２ａに対
してある程度のスライド移動が許容されている。このよ
うにして、このシール６０は断熱材２の膨脹、収縮に起
因した軸方向のズレをバネ６６の作用で吸収し、横方向
のズレをシールワッシャ６７のスライド動作で吸収し、
回転方向のズレをスライダ６５の球面とワッシャ６７の
テーパ面との密接な添接状態を通じて許容した状態下
に、貫通部を略気密にシールしている。類似のシール構
造が、排気管７ａに対応するシート貫通部７ｂのシール
７０にも適用されており、説明は省略する。
【００１４】なお、図１に示すように、前記排気管７ａ
はバルブ８１、トラップ８２を介してメカニカルブース
タポンプ８３および油回転真空ポンプ８４に接続されて
おり、熱処理室Ｓを直接排気し得るようになっている。
また、同時に両ポンプ８３、８４は、バルブ８５、油拡
散ポンプ８６、主弁８７、バイパス弁８８とともに炉内
空間Ａを排気する主排気系路をも構成している。さら
に、図において９１は炉内空間にＮ2 等のスウィープガ
スを導入する給気系路であり、９０は焼結時にパーシャ
ルガスを流す内導入系路である。さらにまた、９２は送
風ファン、９３は熱交換器であり、断熱扉３に接続した
アクチュエータ９４を作動させて断熱材２を開き、その
状態で熱交換器８３において冷却したガスを送風ファン
９２により熱処理室Ｓに送給するようになっている。
はバルブ８１、トラップ８２を介してメカニカルブース
タポンプ８３および油回転真空ポンプ８４に接続されて
おり、熱処理室Ｓを直接排気し得るようになっている。
また、同時に両ポンプ８３、８４は、バルブ８５、油拡
散ポンプ８６、主弁８７、バイパス弁８８とともに炉内
空間Ａを排気する主排気系路をも構成している。さら
に、図において９１は炉内空間にＮ2 等のスウィープガ
スを導入する給気系路であり、９０は焼結時にパーシャ
ルガスを流す内導入系路である。さらにまた、９２は送
風ファン、９３は熱交換器であり、断熱扉３に接続した
アクチュエータ９４を作動させて断熱材２を開き、その
状態で熱交換器８３において冷却したガスを送風ファン
９２により熱処理室Ｓに送給するようになっている。
【００１５】このような構成のものであれば、シート４
がタイトボックスと略等価な機能を発揮しつつ、炉の急
速冷却、急速加熱を実現することになる。すなわち、シ
ート４は断熱材２、３を介して支持されるため、内外の
差圧や冷却風に対して十分な強度を有する。また、シー
ト４により熱処理室Ｓがほぼ密閉され、そのシート４内
に排気口７が開口するため、処理の種類に応じて熱処理
室Ｓで発生する油やバインダ、ろう等の蒸気の拡散領域
を制限し、それらの発生ガスを排気口７を通じて速やか
に排気するため、蒸気が炉内空間Ａに漏出して汚染を惹
起する事態を防止することができる。さらに、シート４
内にロッドヒータ５が設けてあり、シート４内全域が加
熱昇温に付されるため、蒸気が冷えてシート４やシール
部に付着する恐れもない。特に、図４に示すシール６０
等は高温領域に最も近い位置にあるため、ガスの付着を
極めて有効に防止することができる。そして、シート４
自体はタイトボックスに比べて遥かに熱容量が小さいた
め、冷却や加熱を無駄なく行い、それらの高速化を図
り、ひいては炉の稼動効率を確実に向上させることがで
きる。更にまた、本実施例では各シール５０、６０、７
０において、断熱材２の膨脹、収縮に起因した軸方向、
横方向および回転方向のズレに拘らず、シール性を担保
しているため、組付けが簡単である上に、様々な熱処理
環境の変化に弾力的に対応して長期にわたってそのシー
ル効果、ひいては上述した本実施例特有の効果を有効に
持続させることが可能となる。
がタイトボックスと略等価な機能を発揮しつつ、炉の急
速冷却、急速加熱を実現することになる。すなわち、シ
ート４は断熱材２、３を介して支持されるため、内外の
差圧や冷却風に対して十分な強度を有する。また、シー
ト４により熱処理室Ｓがほぼ密閉され、そのシート４内
に排気口７が開口するため、処理の種類に応じて熱処理
室Ｓで発生する油やバインダ、ろう等の蒸気の拡散領域
を制限し、それらの発生ガスを排気口７を通じて速やか
に排気するため、蒸気が炉内空間Ａに漏出して汚染を惹
起する事態を防止することができる。さらに、シート４
内にロッドヒータ５が設けてあり、シート４内全域が加
熱昇温に付されるため、蒸気が冷えてシート４やシール
部に付着する恐れもない。特に、図４に示すシール６０
等は高温領域に最も近い位置にあるため、ガスの付着を
極めて有効に防止することができる。そして、シート４
自体はタイトボックスに比べて遥かに熱容量が小さいた
め、冷却や加熱を無駄なく行い、それらの高速化を図
り、ひいては炉の稼動効率を確実に向上させることがで
きる。更にまた、本実施例では各シール５０、６０、７
０において、断熱材２の膨脹、収縮に起因した軸方向、
横方向および回転方向のズレに拘らず、シール性を担保
しているため、組付けが簡単である上に、様々な熱処理
環境の変化に弾力的に対応して長期にわたってそのシー
ル効果、ひいては上述した本実施例特有の効果を有効に
持続させることが可能となる。
【００１６】なお、グラファイト製のバネに代えて、図
５に示すような弾性フェルト５８を重ねて使用してもよ
い。また、同図のように、筒状部材５２の外方端面にシ
ールワッシャ５７を配設し、このシールワッシャ５７に
銅電極５３側からスライダ５５を圧接するように構成す
ることもできる。さらに、電極部５ａのシールワッシャ
はアルミナ製に限らず、絶縁性に優れていれば他のセラ
ミックでも構わない。また、上記実施例ではシート４が
グラファイト製のものであるが、気密性を高めるため
に、シートの表面にガラス状カーボンのコーティングを
行ったり、金属製のものを用いることもできる。さらに
また、シートに代えてフォイルを断熱材の内面に貼着す
るようにしても構わない。その他の構成も、本発明の趣
旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
５に示すような弾性フェルト５８を重ねて使用してもよ
い。また、同図のように、筒状部材５２の外方端面にシ
ールワッシャ５７を配設し、このシールワッシャ５７に
銅電極５３側からスライダ５５を圧接するように構成す
ることもできる。さらに、電極部５ａのシールワッシャ
はアルミナ製に限らず、絶縁性に優れていれば他のセラ
ミックでも構わない。また、上記実施例ではシート４が
グラファイト製のものであるが、気密性を高めるため
に、シートの表面にガラス状カーボンのコーティングを
行ったり、金属製のものを用いることもできる。さらに
また、シートに代えてフォイルを断熱材の内面に貼着す
るようにしても構わない。その他の構成も、本発明の趣
旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明の熱処理炉は、以上説明したよう
に、従来のタイトボックスに代えて、ヒータと断熱材の
間に、ガスや液体を通過させ難いグラファイト又は金属
製のシートをそのシート内側が気密になるように配置
し、各シート貫通部をシールを介して密封したものであ
る。そのため、シートがタイトボックスと略等価な機能
を発揮しつつ、炉の急速冷却、急速加熱を実現し、従来
のタイトボックス構造に比べて炉の稼動効率を有効に向
上させる優れた効果を奏する。
に、従来のタイトボックスに代えて、ヒータと断熱材の
間に、ガスや液体を通過させ難いグラファイト又は金属
製のシートをそのシート内側が気密になるように配置
し、各シート貫通部をシールを介して密封したものであ
る。そのため、シートがタイトボックスと略等価な機能
を発揮しつつ、炉の急速冷却、急速加熱を実現し、従来
のタイトボックス構造に比べて炉の稼動効率を有効に向
上させる優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す全体縦断面図。
【図２】同部分横断面図。
【図３】同実施例の電極貫通部に対応したシートのシー
ル構造を拡大して示す図。
ル構造を拡大して示す図。
【図４】同実施例の炉床の脚部貫通部に対応したシート
のシール構造を拡大して示す図。
のシール構造を拡大して示す図。
【図５】本発明の他の実施例を示す図３に対応した図。
【符号の説明】 Ｓ…熱処理室 １…炉胴 ２、３…断熱材 ４…シート ５…ロッドヒータ ６…炉床 ７…排気口 ５０、６０、７０…シール
Claims (1)
- 【請求項１】グラファイトフェルト製の断熱材の内側
に、熱処理室をほぼ気密に包囲するグラファイト又は金
属製のシートを配置し、そのシートの内側にヒータを配
置するとともに、シートの内側に開口する排気口を設
け、各シート貫通部をシールを介して密封していること
を特徴とする熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7069294A JPH07280449A (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7069294A JPH07280449A (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07280449A true JPH07280449A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13438952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7069294A Pending JPH07280449A (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07280449A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005325371A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空浸炭炉 |
| WO2012095875A1 (en) * | 2011-01-12 | 2012-07-19 | H.T. Solutions S.R.L. | A transportable equipment for the thermal treatment of metals |
-
1994
- 1994-04-08 JP JP7069294A patent/JPH07280449A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005325371A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空浸炭炉 |
| WO2012095875A1 (en) * | 2011-01-12 | 2012-07-19 | H.T. Solutions S.R.L. | A transportable equipment for the thermal treatment of metals |
| CN103765142A (zh) * | 2011-01-12 | 2014-04-30 | H.T.解决方案有限责任公司 | 用于金属热处理的可运输设备 |
| RU2579859C2 (ru) * | 2011-01-12 | 2016-04-10 | Х.Т. Солюшнс С.Р.Л. | Передвижная печь для термической обработки металлов |
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