KR940018483A - 고체표면의 습윤처리방법 및 장치 - Google Patents

고체표면의 습윤처리방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은 환경오염문제를 회피하고 처리될 제품을 손상시키거나 오염시키지 않으면서 산업제품이나 의료용품의 제조를 위한 부품이나 반제품의 세척이나 에칭 또는 사후처리 등의 표면처리를 수행하기 위한 것이다. 물론, 탱크속에서 전기분해되며, 탱크는 다공격막에 의해 양극실과 음극실로 분할되어 있고, 전기분해에 따라 양극실에는 H+이온을 갖는 양극성 담수가 마련되고 음극실에는 OH-이온을 갖는 음극성 담수가 마련된다. 양극성 담수의음극성 담수는 전기분해 탱크로부터 따로따로 방출되며, 앙극성 담수와 음극성 담수 중 선택된 하나가 습윤처리의 대상에 접촉된다. 400nm 이하의 파장을 갖는 전자기파나 3000nm 이상의 파장을 갖는 전자기파를 전기분해될 물에 대해 방사하거나 물에 대해 이산화탄소기체나 암모늄아세테이트 등과 같은 미량의 전해보조물을 부가하거나 또는 그 두가지 모두를 함으로써 전기분해의 효율이 향상될 수 있다.

Description

고체표면의 습윤처리방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 세척장치를 도시한 선도, 제2(A)도는 다층구조를 갖는 반도체장치의 생산과정에서 형성되는 중간층의 절연필름의 부분단면도.

Claims (23)

  1. 제품의 표면을 습윤처리하는 방법에 있어서, 수소이온(H+)을 갖는 양극성 담수와 수산이온(OH-)을 갖는 음극성 담수를 마련하고 양극성 담수와 음극성 담수를 서로 분리시키기 위해 물을 전기분해하는 단계와, 양극성 담수와 음극성 담수중 임의의 하나를 습윤처리될 제품의 표면에 연속적으로 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 접촉단계후에 양극성 담수와 음극성 담수 중 나머지 하나를 습윤처리될 제품의 표면에 연속적으로 접촉시키는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 전기분해단계가 물을 전기분해시키는 직류전류의 강도를 제어함으로써 양극성 담수의 수소이온농도와 음극성 담수의 수산이온농도를 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 전기분해단계가 전기분해될 물에 대해 전해보조물을 부가함으로써 물의 전기분해의 효율을 향상시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 전해보조들이 이산화탄소기체인 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는방법.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 전해보조들이 수용성 암모늄솔트인 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 암모늄솔트가 암모늄아세테이트인 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  8. 제 4 항에 있어서, 상기 전기분해단계가 상기 전해보조물의 부가량을 제어함으로써 양극성 담수의 수소이온농도와 음극성 담수의 수산이온농도를 제어하는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품의 표면을 습윤처리하는 방법.
  9. 제 1 항에 있어서, 파장이 400nm 이하인 전자기파를 전기분해되는 물에 방사함으로써 물의 전기분해의 효율을 향상시키는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 전자기파를 물에 방사하는 단계가 상기 전기분해단계 내내 계속되는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  11. 제 9 항에 있어서, 전자기파를 물에 방사하는 단계가 전기분해전류가 안정상태에 도달하기까지의 전기분해단계의 초기에서만 행해지는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 전자기파의 강도를 제어함으로써 양극성 담수의 수소이온농도와 음극성 담수의 수산이온농도를 제어하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 제품이 반도체장치의 제조에 이용되는 실리콘웨이퍼인 것을 특징으로 하는 제품의 표면을 습윤처리하는 방법.
  14. 반도체장치의 제조과정에서 형성되는 절연필름의 표면, 즉, 콜로이드형 실리카로 오염될 수 있는 표면을 세척하는 방법에 있어서, 수소이온(H+)을 갖는 양극성 담수와 수산이온(OH-)을 갖는 음극성 담수를 마련하고 양극성 담수와 음극성 담수를 분리시키기 위해 물을 전기분해하는 단계와, 음극성 담수를 절연필름의 표면과 연속적으로 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세척방법.
  15. 제품표면을 습윤처리하는 장치에 있어서, 양극과 음극 및 이온투과성 다공격막이 구비되고 내부가 양극이 있는 양극실과 음극이 있는 음극실로 분할된 전기분해탱크와, 상기 전기분해탱크속에 정수된 물을 공급하는 물공급수단과, 상기 양극과 음극의 사이에 직류전압을 가하기 위한 직류전원수단과, 상기 전기분해탱크의 음극실에 연결되어 물의 전기분해에 따른 음극성 담수를 연속적으로 받아들이게 하고 상기 음극실로부터 수산이온(OH-)을 받아들이는 제1처리탱크및, 상기 전기분해탱크의 양극실에 연결되어 물의 전기분해에 따른 양극성 담수를 연속적으로 받아들이게 하고 상기 양극실로부터 수소이온(H+)을 받아들이는 제2처리탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 방법.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 양극성 담수의 수소이온농도를 탐지하는 수단과, 상기 음극성 담수의 수산이온농도를 탐지하는 수단 및, 탐지된 수소이온농도와 수산이온농도 중 적어도 하나에 근거하여 직류전원수단의 출력을 제어하는 수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  17. 제 15 항에 있어서, 상기 전기분해탱크속에 공급될 물에 전해보조물을 부가함으로써 물의 전기분해의 효율을 향상시키는 수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 양극성 담수의 수소이온농도를 탐지하는 수단과 상기 음극성 담수의 수산이온농도를 탐지하는 수단 및, 탐지된 수소이온농도와 수산이온농도 중 적어도 하나에 근거하여 상기 전해보조물의 부가량을 제어하는 수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  19. 제 15 항에 있어서, 상기 전기분해탱크의 양극실 및 음극실의 물에 대해 파장이 400nm 이하인 전자기파를방사하는 전자기적 방사수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 제2처리탱크속으로 공급되는 양극성 담수의 산화력을 탐지하는 수단과, 상기 제1처리탱크속으로 공급되는 음극성 담수의 환원력을 탐지하는 수단 및, 상기 전자기적 방사수단의 출력을 제어하는 수단을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  21. 제 15 항에 있어서, 상기 전기분해탱크의 양극실 및 음극실의 물에 대해 파장이 3000nm 이상인 전자기파를 방사하는 전자기적 방사수단을 부가적으로 포함하는 것을 특정으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 제2처리탱크속으로 공급되는 양극성 담수의 산화력을 탐지하는 수단과, 상기 제1처리탱크속으로 공급되는 음극성 담수의 환원력을 탐지하는 수단 및 상기 전자기적 방사수단을 출력을 제어하는 수단을부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
  23. 제 15 항에 있어서, 상기 제1처리탱크와 제2처리탱크에 연결된 폐수탱크와, 상기 폐수탱크 및 상기물공급수단에 연결된 정수기를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 제품표면을 습윤처리하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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