KR940012563A - 공정실에서 웨이퍼를 자동적으로 위치시키기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

공정실에서 웨이퍼를 자동적으로 위치시키기 위한 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

자동제어시스템, 특히 반도체 웨이퍼와 같은 구동가능한 물체의 중심점을 검출시키고 물체지지대의 위치를 측정시키키 위한 개선된 위치제어수단은 선별된 예정위치에 상대적으로 물체를 정확하게 위치시킬 목적으로 선별된 예정점으로 물체와 지지대의 상대적인 위치를 검출시키키 위하여 물체와 지지대의 구동의 아치형 경로에 가로지르도록 위치된 일련의 센서를 사용한다.

Description

공정실에서 웨이퍼를 자동적으로 위치시키기 위한 시스템 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 시스템 조립체의 개략도이다.
제2도는 제1도의 선 2-2를 따라서 취한 반도체 처리공정실의 단면도이다.
제3a도 내지 3d도는 본 발명의 기판 중심측정기 특징을 새기기 위하여 센서 배열을 교차시키고 제1챔버에서 제2챔버로 교체시키며 자동설비를 연속적으로 구동시키는 것을 예시한 제1도에 도시한 전송실의 단면도들이다.
제4도는 6개의 센서촉발위치와 기판촉발위치의 좌표위치의 결정에 사용된 회전 비교위치의 자동설비중심의 기하학적 관계를 도시한 개략도이다.
제5도는 세 개의 센서촉발위치와 기판의 중심점의 결정에 사용된 기판의 중심 사이의 기하학적 관계를 도시한 개략도이다.
제6a도는 광센서의 상태변화와 파동형태와 이에 상응하는 개별적인 그리고 결합된 간섭신호를 나타내는 전개도이다.
제6b도는 센서신호의 순서화된 처리용의 간단한 회로이다.
제7도는 본 발명의 중심측정방법을 수행하기 위하여 사용된 컴퓨터 프로그램 중심측정기의 흐름도이다.

Claims (17)

  1. a) 제1위치와 선별된 제2위치사이의 예정된 아치경로를 따라서 물체를 전송시키는 구동가능한 지지체를 포함하고, 상기 구동가능한 지지체의 위치는 항상 탐지되고 상기 구동가능한 지지체에 대한 상기 물체의 위치는 초기에는 탐지되지 않는 물체 전송수단과, b) 적어도 두 개는 상기 아치형 경로에 가로지른 축을 따라서 설치되고, 상기 아치경로를 따라서 구동가능한 지지대의 의해서 전송되고 관통될 때 물체의 원주상의 다수의 위치를 검출시키기 위하여 작동되어서 상기 구동가능한 지지대의 공지된 위치에 상대적인 상기 물체의 위치를 결정시키는 신호를 발생시키는 일련의 센서들과, 그리고 (c) 상기 예정될 위치에 물체를 위치시키기 위하여 작동되고 신호에 응답하는 수단으로 구성되는 예정된 위치에 물체를 정확하게 위치시키기 위한 시스템.
  2. 중앙전송실과 상기 중앙전송실의 원주를 따라서 설치된 다수의 원주상의 챔버와 상기 전송실내에 설치되고 물체를 선적시키고, 이동시키며 하역시키기 위하여 상기 원주상의 챔버 전체에서 선두모서리와 말미모서리를 가지는 물체 지지대를 가진 구동가능한 물체 전송수단을 가지며 상기 물체지지대는 상기 원주상의 챔버들 사이에 형성된 아치형 경로를 따라 상기 중앙전송실내에서 구동되는 물체처리 장치에 있어서, a) 물체지지 참고점의 위치를 나타내는 물체지지 참고신호를 제공하기 위한 수단과, b) 아치경로에 가로지른 축을 따라서 장착된 적어도 두 개의 센서를 포함하고, 상기 센서는 관통할 때 구동시키는 물체의 선두모서리와 말미모서리에 의해서 촉진되고 물체위치 참고점이 결정될 수 있는 상응하는 물체 위치신호를 전개시키는 센서배열체와, c) 물체지지 참고신호와 물체위치 신호에 대해서 응답하고 물체지지대에 상대적으로 물체위치를 계산하기 위하여 작동대며 상기 원주상의 챔버중 하나에 있는 상기 선별된 위치에 상기 물체를 위치시키기 위하여 상기 선별된 위치에 상대적인 상응하는 오프셋 위치로 상기 물체지지대를 구동시키도록 계속적으로 작동되는 수단으로 구성되어서 상기 지지대에 상대적으로 물체의 위치를 검색시키고 상기 원주상의 챔버중 하나의 챔버에 물체를 정확하게 위치시키도록 상기 전송수단을 작동시키는 위치제어수단을 포함하는 물체처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 물체는 일반적으로 원형안 반도체 웨이퍼로 구성되고 이것의 중심점은 상기 웨이퍼가 상기 물체지지대상에 정확하게 위치될 때 상기 물체지지 중심점과 동심으로 되는 물체처리장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 물체위치신호와 상기 물체지지신호에 응답하는 수단은 챔버에서 챔버로 상기 웨이퍼의 전송을 제어하기 위하여 프로그램화된 컴퓨터 시스템을 포함하는 물체처리장치.
  5. 제4항에 있어서, 물체지지 참고신호를 제공하는 상기 수단은 상기 물체지지 참고신호를 저장하도록 미리 기록된 기억장치를 포함하는 물체처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 미리 기록된 물체지지 참고신호는 상기 센서들 중 하나의 센서와 정렬되어서 상기 물체지지대를 홈 위치에서 특정한 위치로 구동시키고 상기 물체지지 참고신호를 계산하기 위하여 상응하는 구동정보를 사용함으로써 얻어지는 물체처리장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 물체지지대는 상기 센서에 의해서 검색가능한 부속품을 가진 외팔보형 블레이드를 포함하는 물체처리장치.
  8. 제7항에 있어서, 물체지지대의 검색가능한 부속품은 상기 센서에 의해서 검색가능한 모서리를 가진 상기 블레이드내에 제공되고 동심상으로 설치된 오리피스를 포함하는 물체처리장치.
  9. 제7항에 있어서, 원주상의 챔버들중 하나의 챔버에 형성된 웨이퍼 위치를 상기 미리 설정된 위치가 인식하는 물체처리장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 센서들은 상기 중앙전송실의 외부에 위치되는 물체처리장치.
  11. 제4항에 있어서, 상가 컴퓨터 시스템은 웨이퍼와 물체 지지 참고점을 결정시키고, 상기 물체지지대에 대한 상기 웨이퍼의 상대적인 위치를 계산하기 위하여 작동되는 제어논리수단과, 물체지지대의 구동을 제어하기 위한 수단과, 논리제어 수단과 센서배열체를 교차시키기 위한 수단으로 구성되는 물체처리장치.
  12. 물체가 지지되고 제1위치와 공지되어 선택된 제2위치사이에 잇는 아치형 경로를 따라서 구동가능한 물체지대에 대하여 물체의 상대적인 위치를 검출시킴으로써 중심점을 가진 상기 물체를 상기 제1위치로부터 상기 제2위치로 정확하게 위치시키고, 상기 구동가능한 물체지지대의 위치는 항상 공지되어 있고 상기 구동가능한 물체지지대에 대한 상기 물체의 위치는 초기에는 공지되어 있지 않은 방법에 있어서, 아치형 경로를 가로지른 축을 따라서 설치된 적어도 두 개의 센서를 포함하는 일련의 센서들을 제공하는 단계와, 상기 물체의 위치를 상기 구동가능한 물체지지대의 공지된 위치에 상대적으로 결정시킬 수 있는 물체신호를 발생시키기 위하여 센서들을 촉발시키도록 아치형 경로를 따라서 구동 가능한 물체지지대를 구동시킴으로써 물체의 원주를 따라서 원주상의 점들을 검출시키는 단계와, 물체신호로부터 구동가능한 물체지지대의 공지된 위치에 상대적으로 물체위치를 계산하는단계와, 그리고 상기 물체의 상기 구동가능한 물체 지지대와 그 위에 지지되는 상기 물체를 상기 선별된 제2위치로 구동시키는 단계로 이루어지는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 물체위치를 계산하는 상기 단계는, a) 구동가능한 물체지지대의 공지된 위치와 물체위치 신호로부터 물체의 적어도 세 개의 극좌표점을 결정시키는 단계와, b) 상기 극좌표점들을 직교좌표점으로 변환시키는 단계와, c) 적어도 두쌍의 직교좌표점으로 구성되는 가상선에 대하여 가상의 수직 이등분선의 기울기를 계산하는 단계와, d) 상기 직교좌표점들의 쌍으로 구성되는 가상선의 중간점을 계산하는 단계와, e) 계산된 기울기와 중간점으로부터 수직이등분선의 교차점을 계산하는 단계와, f) 상기 직교좌표점들의 여러쌍에 알맞도록 상기 c) 단계, d) 단계, e) 단계를 반복적으로 수행하는 단계와, g) 특정한 수치범위의 계산된 교차점을 비교하는 단계와, 그리고 h) 특별한 수치범위내에 떨어지느 교차점의 평균값을 계산하는 단계로 이루어지는 방법.
  14. 너비를 알고, 검출가능한 부속품과 공정시스템내 공지된 위치에 상대적인 홈 참고위치를 가지는 구동가능한 물체지지대의 위치를 결정시키고, 상기 구동가능한 지지대는 전송실의 원주를 따라서 설치된 다수의 챔버를 가진 상기 전송실내에 설치되고 방사상 축을 교차시키는 아치형 경로를 따라서 상기 처리실들 사이에 구동가능한 방법에 있어서, 센서신호를 제공하기 위하여 상기 중앙전송실내 상기 방사상 축을 따른 점에 설치된 적어도 하나의 센서를 제공하고 상기 센서는 상기 아치형 경로를 따라서 장착되는 단계와, 센서위치 신호를 발생시키기 위하여 상기 센서들중 적어도 하나의 위치를 검출시키는 단계와, 물체지지 위치신호를 발생시키기 위하여 구동가능한 물체지지대의 위치를 검출시키는 단계와, 그리고 상기 센서위치신호와 물체지지 위치신호로부터 공기된 위치에 상대적으로 물체지지대의 위치를 계산하는 단계로 구성되는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 센서들중 적어도 하나의 센서의 위치를 검출시킨 상기 단계는, 상기 검출된 선두모서리와 말미모서리의 점위치를 나타내는 신호를 발생시키도록 센서를 촉진시키도록 아치형 경로를 따른 구동가능한 물체지지대를 구동시킴으로써 상기 구동가능한 물체지지대의 선두모서리와 말미모서리를 검출시키는 단계와, 수치로 상기 점위치를 기록시키는 단계와, 상기 센서위치의 회전각을 제공하도록 작동하는 상기 밸브의 평균을 계산하는 단계와, 계사된 회전각과 구동가능한 물체지지대의 공지된 너비로부터 센서위치의 반경을 계산하는 단계로 이루어지는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 구동가능한 물체지지대의 위치를 검출시키는 상기 단계는 상기 구동가능한 물체지지대의 위치는 센서위치의 방사상측과 같은 방향이 되도록 구동가능한 물체지지대를 회전시키는 단계와, 상기 구동가능한 물체지지대의 상기 검출가능한 부속품의 선두모서리와 말미모서리를 검출시키고 상응하는 위치신호를 발생시키도록 작동시키기 위하여 상기 센서를 촉발시키는 센서의 회전축을 따라서 구동가능한 물체지지대를 연장시키는 단계와, 수치로 상기 위치신호를 기록하는 단계와, 상기 선택된 위치로 상대적으로 상기 물체지지대를 구동시키기 위하여 상대적인 위치값으로서 상기 수치와 동일한 상기 지지대의 상기 아치형 경로를 따라서 점을 계산하는 단계로 이루어진다.
  17. 미리 선별된 위치에 있는 물체를 정확하게 위치시키기 위한 방법에 있어서, a) 물체가 지지되는 구동가능한 물체지지대에 대한 물체의 상대적인 위치를 검출시키고, 상기 물체지지대는 제1위치와 상기 미리 선별된 위치사이에 있는 아치형 경로를 따라서 구동가능하며, 상기 구동가능한 물체지지대의 위치는 초기에는 미지이고 사이 구동가능한 물체지지대에 상대적인 상기 물체의 최기위치도 미지인 단계와, b) 아치형 경로에 가로지른 축을 따라서 장착된 적어도 두 개 센서들의 배열체를 제공하는 단계와, c) 센서신호를 발생시키도록 센서위 위치를 검출시키는 단계와, d) 구동가능한 물체지지대의 위치를 검출시키는 단계와, e) 상기 센서신호와 물체지지신호로부터 미리 선별된 위치에 대하여 구동가능한 물체지지대의 상대적인 위치를 계산하는 단계와, f) 물체위치점이 상기 구동가능한 물체지지대에 상대적으로 계산될 수 있는 물체신호를 발생시키기 위하여 센서를 촉발시키도록 아치형 경로를 따라서 구동가능한 물체지지대를 구동시킴으로써 물체의 원주를 따라 원주점들을 검출시키는 단계와, 그리고 g) 물체신호와 물체지지대 신호로부터 구동가능한 물체지지대의 위치에 상대적인 물체위치점을 계산하는 단계로 구성되는 단계와, 그리고 상기 물체의 물체위치점이 상기 미리 선별된 위치와 동일하도록 미리 선별된 위치로 그 위에 지지되는 상기 물체와 상기 구동가능한 물체지지대를 구동시키도록 작동시키는 수단을 포함하는 방법.
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