KR940010266A - 웨이퍼 처리 챔버에서 돔형 가열 축받이용 클램프 링 - Google Patents

웨이퍼 처리 챔버에서 돔형 가열 축받이용 클램프 링 Download PDF

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Abstract

반도체용 웨이퍼를 처리하기 위한 챔버는 챔버 내부에 웨이퍼를 지지하기 위한 돔형 축받이와 시트가 만들어진 클럼프를 둘러싸고 있다. 시트는 돔형 축받이 위에 있는 웨이퍼 외주를 받아 고정하며, 웨이퍼의 외주를 맞물려 고정시키는 웨이퍼 물림면을 포함한다. 사용중일때 웨이퍼 물림면은 웨이퍼의 외주가 축받이 위에 고정되는 점에서 돔형 축받이에 대한 접선이 수평과 이루는 각과 감거나 좀 더 큰 각을 수평과 이룬다. 통상적으로 시트와 수평이 이루는 각은 웨이퍼가 축받이 위에 고정되는 점에서 돔형 축받이에 대한 접선각보다 약 3°가 더 크다.

Description

웨이퍼 처리 챔버에서 돔형 가열 축받이용 클램프 링
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 한 실시예를 설명하기 위한 제2도와 유사한 단면도,
제4도는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 제3도와 유사한 도면,
제5도는 웨이퍼 지지링과 돔형 축받이의 평면도,
제6도는 제5도에서 6-6라인을 따라 자른 단면도.

Claims (14)

  1. 돔형 축받이 위에서 처리되는 기판을 고정하기 위한 클램프에 있어서, 돔형 축받이으 바깥둘레에 적합한 형태를 갖고, 기판의 주요부분을 노출하기 위해 내부구멍을 완전히 에워싼 형태를 갖는 클램프의 바깥둘레 단면과, 상기 기판이 상기 돔형 축받이에 의지해 고정되고 있는 방향에 수직한 방향과 벌어진 제1각 만큼 경사져 있고, 상기 돔형 축받이의 돔형 피크를 향해서 경사져 있고, 돔형 축받이에 의지해 있는 기판의 바깥쪽 외주를 고정하기 위한 내부시트면을 포함하는 것을 특징으로 하는 돔형 축받이 위에서 처리되는 기판을 고정하기 위한 클램프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 돔형 축받이는 위쪽이 둥글게 돔형면을 가진 형태이고, 상기 바깥둘레 단면과 상기 시트 표면이 사실상 환형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 돔형 축받이 위에서 처리되는 기판을 고정하기 위한 클램프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기판이 상기 돔형 표면에 의지해 고정되는 점에서 상기 돔형 축받이의 돔형표면은 상기 제1각 보다 작은 제2각 정도 상기 수직으로 부터 경사져 있는 것을 특징으로 하는 돔형 축받이 위에서 처리되는 기판을 고정하기 위한 클램프.
  4. 처리과정 동안 기판을 고정하기 위한 클램핑 어셈블리에 있어서, 일반적으로 제1축에 대해서 둥글게 대칭인 돔형 표면을 가지는 돔형 축받이와, 상기 돔형 축받이에 관련된 제1축을 따라 움직일 수 있으며 접촉점에서 돔형 표면에 의지해 있는 기판을 고정하기 위한 환형 물림면을 가지는 클램프 링을 포함하고, 상기 접촉부분은 상기 제1축에 수직한 축으로 부터 제1각만큼 기울어져 있고, 상기 물림면은 상기 수직한 축으로 부터 제2각만큼 기울어져 있고, 상기 제2각은 상기 제1각과 같거나 좀더 큰 것을 특징으로 하는 처리과정동안 기판을 고정하기 위한 클램핑 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2각은 어떤 차이각 정도 상기 제1각보다 더 큰 것을 특징으로 하는 처리과정 동안 기판을 고정하기 위한 클램핑 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서, 상기 차이각은 ½도와 4도사이의 범위인 것을 특징으로 하는 처리과정 동안기판을 고정하기 위한 클램핑 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서, 상기 차이각이 1도와 3도 사이의 범위인 것을 특징으로 하는 처 리과정 동안 기판을 고정하기 위한 클램핑 어셈블리.
  8. 챔버와, 챔버 내부에서 기판을 지지하기 위한 돔형 표면을 가진 축받이와, 돔형 축받이 위에 있는 기판의 외주를 맞물려 고정시키기 위해 환형 클캠프를 포함하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 클램프는, 몸체와, 상기 몸체에 형성되며 기판의 외주를 맛물려 고정하기 위한 기판 물림면을 포함하며, 이용시에는 시트가 수평과 이루는 각도가 기판의 외주가 축받이 위에 고정되는 점에서 축받이의 돔형 표면에 대한 접선과 수평이 이루는 각보다 크거나 같게 만들어져 있는 시트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서, 시트에 의해 결정된, 수평에 대한 각은 기판이 축받이 위에 고정되는 점에서 축받이에 대한 접선의 각보다 약 3。가 더 큰것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서, 시트는 수평에 대해서 약 4。의 각을 결정하는 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서, 시트는 안쪽모서리를 포함하며, 안쪽 모서리는 둥근 모서리로 만들어져 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서, 축받이와 클램프 링은 공통 축을 가졌으며, 축받이는 기판이 클램프 링과 맞물리도록 하기 위해서 공통 축을 따라 움직이며, 기판이 축받이와 윤곽과 일치하게 굽어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서, 축받이와 기판 사이의 접면에서 빠져 나가도록 축받이에 만들어진 유체 전송관은 축받이와 기판 사이에 유체를 분사하고, 그 유체는 돔형 축받이의 표면으로 부터 기판의 일부분을 들어올려 기판이 기판물림면과 맞물리도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 제13항에 있어서, 축받이는 히터부분을 가지고 있고, 사용 중일때 축받이를 가열하고, 유체를 가열한 다음, 차례로 기판을 가열하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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