KR980003890A - 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단 - Google Patents
웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단 Download PDFInfo
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단에 관해 게시한다. 본 발명은 웨이퍼의 구경보다 큰 면적을 갖는 평평한 판과, 상기 판 위에 설치되어 적어도 2군데의 웨이퍼의 측면과 상단 일부를 저복하여 웨이퍼를 상기 판의 중앙부 상단에서 상기 판과 일정한 간격을 유지하면서 평평하게 유지할 수 있는 웨이퍼 고정대들을 구비함으로써, 웨이퍼의 하단에 이물질이 부착되어 있더라도 웨이퍼는 전혀 영향을 받지않고 평평하게 유지될 수 있기 때문에 반도체 칩의 수율을 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단에 웨이퍼가 고정된 상태의 평면도.
제2도는 상기 제1도의 X-X′부분을 절단한 단면도.
제3도는 상기 제1도에 도시된 웨이퍼 고정 수단과 웨이퍼 사이에 이물질이 삽입된 상태의 단면도.
제4도는 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단에 웨이퍼가 고정된 상태의 평면도.
제5도는 상기 제4도의 Y-Y′부분을 절단한 단면도.
Claims (1)
- 웨이퍼의 구경보다 큰 면적을 각각 평평한 판; 상기 판 위에 설치되어 적어도 2군데의 웨이퍼의 측면과 상단일부를 접촉하여 웨이퍼를 상기 판의 중앙부 상단에서 상기 판과 일정한 간격을 유지하면서 평평하게 유지할 수 있는 웨이퍼 고정대들을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960024013A KR980003890A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960024013A KR980003890A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980003890A true KR980003890A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66240256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960024013A KR980003890A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 웨이퍼 정렬 노광 장치의 웨이퍼 고정 수단 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980003890A (ko) |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960024013A patent/KR980003890A/ko not_active Application Discontinuation
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