KR930702803A - 레이저 발진 장치 - Google Patents

레이저 발진 장치

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KR930702803A
KR930702803A KR1019930701556A KR930701556A KR930702803A KR 930702803 A KR930702803 A KR 930702803A KR 1019930701556 A KR1019930701556 A KR 1019930701556A KR 930701556 A KR930701556 A KR 930701556A KR 930702803 A KR930702803 A KR 930702803A
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heat exchanger
laser
plate heat
laser gas
discharge tube
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KR1019930701556A
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야수유끼 모리따
겐지 미쯔이
미쯔오 마나베
Original Assignee
이나바 세이우에몬
화낙 가부시끼가이샤
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    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
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Abstract

열 교환기에 의한 먼지등의 발생을 방지해서 광학 부품의 수명을 연장하고, 열 교환기 자체를 소형화해서 레이저 출력을 더욱 고출력화한 레이저 발진 장치이다. 레이저 발진 장치(1)의 냉각기로서 플레이트형 열 교환기(41)이 사용된다. 플레이트형 열 교환기(41)은 그 제조 공정에서 먼지 등을 제거할 수 있으므로 열 교환기에 연장할 수 있다. 또 플레이트형 열 교환기(41)은 소형 경량이므로 레이저 가스 순화계(3)을 간소화할 수 있다. 또 방전관(21)등에 미치는 진동 등의 영향도 작아져서 플레이트형 열 교환기(41)을 레이저 가스 출구부(20)에 근접 설치 가능함으로 마찰 저항 저감에 의한 레이저 가스의 유량을 증가시킬 수 있어서 레이저 출력을 고출력화할 수 있다.

Description

레이저 발진 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 레이저 발진 장치의 전체 구성이 개략도, 제2도는 플레이트형 열 교환기의 내부 구조의 개략도, 제3도는 플레이트형 열 교환기를 방전관의 레이저 가스 출구측에 설치한 상태도.

Claims (7)

  1. 송풍기 및 냉각기로 강제 냉각된 레이저 가스를 방전관 내에서 여기시켜 레이저를 발진하는 레이저 발진 장치에 있어서, 방전관의 레이저 가스 출구에 설치되어 상기 방전관 내에서 여기된 레이저 가수를 냉각하는 플레이트형 열 교환기 및 상기 플레이트형 열 교환기의 레이저 가스 출구에 설치되어, 상기 플레이트형 열교환기로 냉각된 레이저 가스를 송풍하는 송풍기를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 플레이트형 열 교환기는 상기 방전관의 레이저 가스 출구에 근접 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 발진장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 플레이트형 열교환기는 진공으로 또는 H2로와 같은 환원로 또는 불활성 가스로 중에서 일체로 접속되어 제조되는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 플레이트형 열 교환기는 레이저 가승층과 냉각수층이 박판을 끼워서 교대로 적충되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 레이저 가스의 출구에도 상기 플레이드형 열 교환기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 발진 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 플레이트형 열 교환기는 복수의 레이저 가스 입구 또는 출구가 설치되어 레이저가스 분기 통합 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 발전 장치.
  7. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930701556A 1991-10-04 1992-09-30 레이저 발진 장치 KR930702803A (ko)

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JP3257734A JPH05102575A (ja) 1991-10-04 1991-10-04 レーザ発振装置
JP91-257734 1991-10-04
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EP0565729B1 (en) 1995-12-06
US5742627A (en) 1998-04-21
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WO1993007663A1 (en) 1993-04-15
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