JPS60167483A - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS60167483A JPS60167483A JP2172084A JP2172084A JPS60167483A JP S60167483 A JPS60167483 A JP S60167483A JP 2172084 A JP2172084 A JP 2172084A JP 2172084 A JP2172084 A JP 2172084A JP S60167483 A JPS60167483 A JP S60167483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- water
- optical system
- condensation
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスレーザ装置のガス、及び光学部の冷却装置
に関する。
に関する。
ガスを冷却する熱交換器は冷却水温度を十分に低くした
い(数℃)。しかし、光学系を冷却する水の温度は室温
近傍の温度とし、冷却水による結露を避けたい。第1図
、第2図に示す従来技術では、レーザ光出方向上のため
に、レーザガス冷却用の熱交換器10の水温を下げると
、光学部50の出力鏡等に結露し、出力鏡を損傷する恐
れがあるため、乾燥空気等を吹付けて、結露を防止した
り、あるいは、止むなく水温を高く設定する等の(1) 欠点があった。
い(数℃)。しかし、光学系を冷却する水の温度は室温
近傍の温度とし、冷却水による結露を避けたい。第1図
、第2図に示す従来技術では、レーザ光出方向上のため
に、レーザガス冷却用の熱交換器10の水温を下げると
、光学部50の出力鏡等に結露し、出力鏡を損傷する恐
れがあるため、乾燥空気等を吹付けて、結露を防止した
り、あるいは、止むなく水温を高く設定する等の(1) 欠点があった。
なお、図中20はブロク、30はガス流路、60はレー
ザ出力光、1.5,55.85は冷却水である。
ザ出力光、1.5,55.85は冷却水である。
本発明の目的はレーザガス冷却用の熱交換器の水温を低
くし、レーザ発振器を高効率で使用し、光学系での結露
を防止するにある。
くし、レーザ発振器を高効率で使用し、光学系での結露
を防止するにある。
本発明の要点は、光学系の冷却を安定抵抗器を経由した
冷却水で行なうことにより、光学系の冷却水温度を高く
して、結露を防止するにある。
冷却水で行なうことにより、光学系の冷却水温度を高く
して、結露を防止するにある。
本発明の実施例を第3図に示す。水冷却装置70で冷却
した水をポンプ72で、ガス冷却用熱交換器10に流す
回路と並列に、安定抵抗器80を経由して、光学系のミ
ラー類50を冷却する回路を構成する。安定抵抗器80
は分割電極の放電を安定化させるための抵抗器で、電極
数数十ヶをもち、各々に1ケの抵抗器を接続している。
した水をポンプ72で、ガス冷却用熱交換器10に流す
回路と並列に、安定抵抗器80を経由して、光学系のミ
ラー類50を冷却する回路を構成する。安定抵抗器80
は分割電極の放電を安定化させるための抵抗器で、電極
数数十ヶをもち、各々に1ケの抵抗器を接続している。
この(2)
抵抗器1ヶ当り100〜200Wの熱量を発生するため
、水冷方式を採用している。光学系50の冷却に、安定
抵抗器80を経由させているため、抵抗器より発生する
熱量より、水冷却装置70で数℃に制御された冷水は昇
温(15〜20℃)されて、ミラ一部を通る。
、水冷方式を採用している。光学系50の冷却に、安定
抵抗器80を経由させているため、抵抗器より発生する
熱量より、水冷却装置70で数℃に制御された冷水は昇
温(15〜20℃)されて、ミラ一部を通る。
この冷却の構成にすることにより、光学部50の冷却水
の温度は15〜20℃となり光学部50のミラー類、及
びその周辺の結露発生を防止することができ、出力鏡の
損傷、及び、その周辺の結露により、発錆等を防止する
ことができる。
の温度は15〜20℃となり光学部50のミラー類、及
びその周辺の結露発生を防止することができ、出力鏡の
損傷、及び、その周辺の結露により、発錆等を防止する
ことができる。
本発明によれば、安価で、設置面積を小さくでき、かつ
、レーザ装置の性能を高効率で発揮することができる。
、レーザ装置の性能を高効率で発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はレーザ発振器の系統図、第2図は従来の冷却系
統図、第3図は本発明の冷却系統図である。 10・・・熱交換器、50・・光学部、70・・・水冷
却袋(3) 置、72・・ポンプ。 代理人 弁理士 高橋明夫 (4) 寥10 茅2 目 第3 口 0υ 80
統図、第3図は本発明の冷却系統図である。 10・・・熱交換器、50・・光学部、70・・・水冷
却袋(3) 置、72・・ポンプ。 代理人 弁理士 高橋明夫 (4) 寥10 茅2 目 第3 口 0υ 80
Claims (1)
- ガスレーザ装置において、冷却器で光学系のミラー類に
通す冷却水は、安定抵抗器を経由した回路と、ガス冷却
用熱交換器に冷却水を通す回路とに分岐したことを特徴
とするレーザ発信装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2172084A JPS60167483A (ja) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2172084A JPS60167483A (ja) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60167483A true JPS60167483A (ja) | 1985-08-30 |
Family
ID=12062911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2172084A Pending JPS60167483A (ja) | 1984-02-10 | 1984-02-10 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60167483A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02101782A (ja) * | 1988-10-08 | 1990-04-13 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置 |
-
1984
- 1984-02-10 JP JP2172084A patent/JPS60167483A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02101782A (ja) * | 1988-10-08 | 1990-04-13 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置 |
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