JPS60167483A - レ−ザ発振装置 - Google Patents

レ−ザ発振装置

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Publication number
JPS60167483A
JPS60167483A JP2172084A JP2172084A JPS60167483A JP S60167483 A JPS60167483 A JP S60167483A JP 2172084 A JP2172084 A JP 2172084A JP 2172084 A JP2172084 A JP 2172084A JP S60167483 A JPS60167483 A JP S60167483A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling
water
optical system
condensation
temperature
Prior art date
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Pending
Application number
JP2172084A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Yamaguchi
力 山口
Minoru Suzuki
実 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS60167483A publication Critical patent/JPS60167483A/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water

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  • Lasers (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガスレーザ装置のガス、及び光学部の冷却装置
に関する。
〔発明の背景〕
ガスを冷却する熱交換器は冷却水温度を十分に低くした
い（数℃）。しかし、光学系を冷却する水の温度は室温
近傍の温度とし、冷却水による結露を避けたい。第１図
、第２図に示す従来技術では、レーザ光出方向上のため
に、レーザガス冷却用の熱交換器１０の水温を下げると
、光学部５０の出力鏡等に結露し、出力鏡を損傷する恐
れがあるため、乾燥空気等を吹付けて、結露を防止した
り、あるいは、止むなく水温を高く設定する等の（１） 欠点があった。
なお、図中２０はブロク、３０はガス流路、６０はレー
ザ出力光、１．５，５５．８５は冷却水である。
〔発明の目的〕
本発明の目的はレーザガス冷却用の熱交換器の水温を低
くし、レーザ発振器を高効率で使用し、光学系での結露
を防止するにある。
〔発明の概要〕
本発明の要点は、光学系の冷却を安定抵抗器を経由した
冷却水で行なうことにより、光学系の冷却水温度を高く
して、結露を防止するにある。
〔発明の実施例〕
本発明の実施例を第３図に示す。水冷却装置７０で冷却
した水をポンプ７２で、ガス冷却用熱交換器１０に流す
回路と並列に、安定抵抗器８０を経由して、光学系のミ
ラー類５０を冷却する回路を構成する。安定抵抗器８０
は分割電極の放電を安定化させるための抵抗器で、電極
数数十ヶをもち、各々に１ケの抵抗器を接続している。
この（２） 抵抗器１ヶ当り１００〜２００Ｗの熱量を発生するため
、水冷方式を採用している。光学系５０の冷却に、安定
抵抗器８０を経由させているため、抵抗器より発生する
熱量より、水冷却装置７０で数℃に制御された冷水は昇
温（１５〜２０℃）されて、ミラ一部を通る。
この冷却の構成にすることにより、光学部５０の冷却水
の温度は１５〜２０℃となり光学部５０のミラー類、及
びその周辺の結露発生を防止することができ、出力鏡の
損傷、及び、その周辺の結露により、発錆等を防止する
ことができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、安価で、設置面積を小さくでき、かつ
、レーザ装置の性能を高効率で発揮することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図はレーザ発振器の系統図、第２図は従来の冷却系
統図、第３図は本発明の冷却系統図である。 １０・・・熱交換器、５０・・光学部、７０・・・水冷
却袋（３） 置、７２・・ポンプ。 代理人　弁理士　高橋明夫 （４） 寥１０ 茅２　目 第３　口 ０υ　８０

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ガスレーザ装置において、冷却器で光学系のミラー類に
    通す冷却水は、安定抵抗器を経由した回路と、ガス冷却
    用熱交換器に冷却水を通す回路とに分岐したことを特徴
    とするレーザ発信装置。
JP2172084A 1984-02-10 1984-02-10 レ−ザ発振装置 Pending JPS60167483A (ja)

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JP2172084A JPS60167483A (ja) 1984-02-10 1984-02-10 レ−ザ発振装置

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JP2172084A JPS60167483A (ja) 1984-02-10 1984-02-10 レ−ザ発振装置

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JP (1) JPS60167483A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02101782A (ja) * 1988-10-08 1990-04-13 Fanuc Ltd ガスレーザ装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02101782A (ja) * 1988-10-08 1990-04-13 Fanuc Ltd ガスレーザ装置

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