KR930702558A - 다수부분으로 구성된 지지용 도가니 - Google Patents
다수부분으로 구성된 지지용 도가니Info
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Abstract
결정인상장치내에 있는 용융을 도가니(1)용의 분절로 구성된 지지용 도가니 (3)이다. 분절(2)이 인접되는 분절과 경계를 이루는 면들이 적어도 도가니 외피 (11)의 영역내에서 서로 중첩된다. 이에 의하여 발열체로부터 나오는 열이 용융물도가니(11)의 벽에 직접으로 복사되는 것이 방지된다.
지지용 도가니(3)는 적당한 제조방법에 의하여 분할되지 아니한 도가니의 중앙축에 대하여 평행으로, 외피표면(11)에 대하여 일정한 각을 두고 시작하여, 도가니외피(11)에 있는 이러한 시작위치에서 나와 도가니의 중앙축까지 활모양으로 구부러져 안내되는 절단선에 의하여 만들어진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 및 제3a도는 도가니의 외피로부터 도가니의 중앙까지 활모양으로 슬릿이 뻗어 있는 본 발명에 의한 지지용 도가니를 도시한 수직단면도 및 평면도이다.
Claims (11)
- 적어도 2개의 분절(2,2´)로 구성되어 있고, 이 분절들이 도가니(3)의 측벽영역(11)내에서 도가니 바닥(12)까지 수직으로 연장되어 있는 동시에, 도가니 바닥(12)을 관통하는 슬릿(10)에 의하여 분리되어 있는 지지용 도가니(3)로서, 분절(2)이 인접분절(2´, 2˝)과 경계를 이루는 서로 대향하는 면들이 작동상태에 있을때 도가니(3)의 주변방향으로 항시 중첩되어 있고, 이러한 면들이 적어도 도가니(3)의 측벽영역(11)내에서 중앙측과 도가니의 가장 큰 외측반경에 의하여 그 범위가 한정되는 면을 절단하는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항에 있어서, 분절(2)이 인접분절과 경계를 이루는 서로 대향하는 면들이 서로 보완적으로 형성되어 있고, 이러한 면들이 도가니(3)의 외피표면에서, 도가니의 중앙축에 대하여 평행으로, 이지점에서 도가니(3)의 중앙축과 가장 큰 외측반경에 의하여 그 범위가 한정되는 편면에 대하여 일정한 각을 두고 시작하여, 도가니(3)의 중앙축에 대하여 활모양으로 구부러져 안내되는 절단선에 의하여 생기게 되고, 이러한 면들이 작동상태에서는 도가니(3)의 주변방향으로 항시 중첩되는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항에 있어서, 분절(2)이 인접분절(2´,2˝)과 경계를 이루는 서로 대향하는 면들이 서로 보완적으로 형성되어 있고, 작동상태에서는 도가니(3)의 주변방향으로 항시 중첩되는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 도가니(3)가 동일한 형상으로 된 3개의 분절(2, 2´,2˝)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항, 제2항, 제3항 또는 제4항에 있어서, 도가니(3)가 전기흑연으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항, 제2항, 제3항 또는 제4항에 있어서, 도가니(3)가 탄소섬유 보강의 탄소로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항, 제2항, 제3항 또는 제4항에 있어서, 도가니(3)가 유리와 같은 탄소로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 도가니(3)가 가스세정된 탄소공작물로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니.
- 결정을 제조하는 도가니인상법에 있어서, 특허청구범위 제1항 내지 제8항의 특징중 하나 또는 다수를 가진 지지요 도가니(3)의 응용.
- 도가니(11)의 측벽영역내에서, 도가니 바닥(12)까지 실질적으로 수직되게 연장되어 있는 동시에 도가니 바닥도 관통하는 슬릿(10,10´)에 의하여 분리되어 있는 적어도 2개의 분절(2, 2´)로 구성된 지지용 도가니(3)의 제조방법으로서, 도가니 분절(2,2´)이 아직 분절(2,2´)로 분할되지 아니한 도가니(3)의 외피표면(11)에서 도가니의 중앙축에 대하여 평행으로 도가니(3)의 중앙축과 도가니의 가장 큰 외측반경에 의하여 절단선의 시작위치에서 그 범위가 한정되는 일면과 일정한 각을 두고 시작하는 절단선에 의하여 절단선의 시작위치에서 그 범위가 한정되는 일면과 일정한 각을 두고 시작하는 절단선에 의하여 만들어지며, 이러한 절단선이 도가니외피(11)에 있는 시작지점에서 나와 도가니(3)의 중앙축까지 활모양으로 구부러지게 뻗어있는 것을 특징으로 하는 지지용 도가니의 제조방법.
- ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEP4130253.2 | 1991-09-12 | ||
DE4130253A DE4130253C2 (de) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | Mehrteiliger Stütztiegel und Verfahren zu seiner Herstellung |
PCT/EP1992/001956 WO1993005205A1 (de) | 1991-09-12 | 1992-08-26 | Mehrteiliger stütztiegel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR930702558A true KR930702558A (ko) | 1993-09-09 |
KR100198874B1 KR100198874B1 (en) | 1999-06-15 |
Family
ID=6440387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019930701136A KR100198874B1 (en) | 1991-09-12 | 1993-04-16 | Multipart supporting crucible |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5372090A (ko) |
EP (1) | EP0557480B1 (ko) |
KR (1) | KR100198874B1 (ko) |
CZ (1) | CZ286853B6 (ko) |
DE (1) | DE4130253C2 (ko) |
ES (1) | ES2064300T3 (ko) |
FI (1) | FI113378B (ko) |
WO (1) | WO1993005205A1 (ko) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19723070A1 (de) * | 1997-06-02 | 1998-12-03 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Schmelzen und Kristallisieren von Stoffen |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1991
- 1991-09-12 DE DE4130253A patent/DE4130253C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-08-26 ES ES92918008T patent/ES2064300T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1992-08-26 WO PCT/EP1992/001956 patent/WO1993005205A1/de active IP Right Grant
- 1992-08-26 CZ CZ1993642A patent/CZ286853B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1992-08-26 EP EP92918008A patent/EP0557480B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-04-16 KR KR1019930701136A patent/KR100198874B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1993-05-11 FI FI932128A patent/FI113378B/fi not_active IP Right Cessation
- 1993-05-12 US US08/060,729 patent/US5372090A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CZ64293A3 (en) | 1994-01-19 |
EP0557480B1 (de) | 1995-05-17 |
CZ286853B6 (cs) | 2000-07-12 |
FI932128A0 (fi) | 1993-05-11 |
EP0557480A1 (en) | 1993-09-01 |
ES2064300T3 (es) | 1995-08-01 |
DE4130253C2 (de) | 2001-10-04 |
FI932128A (fi) | 1993-05-11 |
FI113378B (fi) | 2004-04-15 |
KR100198874B1 (en) | 1999-06-15 |
US5372090A (en) | 1994-12-13 |
WO1993005205A1 (de) | 1993-03-18 |
ES2064300T1 (es) | 1995-02-01 |
DE4130253A1 (de) | 1993-03-18 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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