KR930024130A

KR930024130A - 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼(mapper)

Info

Publication number: KR930024130A
Application number: KR1019920025702A
Authority: KR
Inventors: 알. 파우어스 라일; 크릴 릭크
Original assignee: 알. 파우어스 라일; 아발론 엔지니어링 인코포레이티드
Priority date: 1992-05-18
Filing date: 1992-12-28
Publication date: 1993-12-22
Also published as: KR100290217B1; US5225691A

Abstract

반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼가 웨이퍼 카세트 특정된 상응하는 슬롯쌍내에 반도체 웨이퍼가 존재하는 지의 여부뿐 아니라 웨이퍼가 상응하는 한 슬롯쌍내에 정렬되 있지않은 크로스 슬롯트된 상태를 탐지한다. 이같은 웨이퍼 카세트 맵퍼는 스텐다드의 슬롯에 끼워진 웨이퍼 카세트 수용하기 위한 베이스 부재를 포함하며, 이 베이스부재는 그 맞은편 측면에서 송신기와 수신기 모듈을 포함한다. 송신기와 수신기 모듈은 같은 다수의 내향하여 마주하여 정렬된 광선구멍을 포함한다. 송신기 모듈내의 광선구멍 각각은 광 방출 적외선 송신기를 포함하며, 송신기 모듈내의 광선구멍 각각은 하나의 적외선 수신기를 포함한다.

제어회로는 선택적으로 일정한 시간동안 광방출 송신기를 작동시키며 특정 수신기가 선택된 송신기에 의해 송신된 광선을 수신하였는가를 결정하도록 그와 같은 일정 시간동안 적외선 수신기를 조사한다. 다음에 논리회로가 이같은 정보를 처리하여 특정된 웨이퍼 위치가 비어있는지 그리고 크로스 슬롯트된(cross slotted) 상태가 존재하는가를 결정하도록 한다.

Description

반도체 웨이퍼 카세트(mapper)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제4A-C도는 제1-3도의 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼에서 사용된 광선노리의 광선 흔적도표이며 카세트의 특정슬롯에서 웨이퍼의 존재 또는 부재를 탐지하도록하고 특정 슬롯이 카세트의 맞은편 측면들상에서 상응하는 슬롯내의 수평으로 정돈되어 있지 않은 크로스 슬롯상태를 탬지하도록 사용되는 도표.

Claims

웨이퍼 카세트의 맞은편 측면을 따라 다수의 상응하는 슬롯쌍 각각내에 반도체 웨이퍼의 존재 혹은 부재를 탐지하기 위해; 웨이퍼 카세트의 맞은편 측면을 따라 상응하여 위치하며 균등한 간격으로 떨어져 있는 다수의 슬릇들을 가지며 이와 같이 상응하여 균등하게 떨어져 있는 슬롯 각각이 단일의 반도체 웨이퍼를 수용하고 보유하도록 되는 하나의 웨이퍼 카세트를 받쳐주기 위한 베이스부재로서 이 베이스부재가 웨이퍼 카세트의 맞은편 측면에 위치하는 송신기 및 수신기 하우징을 포함하며, 송신기 및 수신기 하우징 각각이 다수의 내향하여 마주하는 광선구멍을 포함하고, 송신기 하우징내에 포함된 광선 각각은 수신기 하우징내에 포함된 다수의 광선구멍중 상응하는 것과 정렬이 되고 웨이퍼 카세트내 슬롯의 상응하는 것과 관계를 갖게되는 베이스부재; 송신기 하우징내에 포함된 다수의 광선구멍내에 위치한 다수의 적외선 광선방출 송신기로서 적외선 방출 송신기 각각이 작동되는때에 적외선 광선을 발생시키도록 동작되는 바의 적외선 방출송신기; 다수의 적외선 방출 송신기에 의해 방출된 적외선을 탐지하기 위해 수신기 하우징내에 포함된 다수의 광선 구멍내에 위치한 다수의 적외선 수신기; 다수의 적외선 방출 송신기와 다수의 적외선 수신기에 결합되어 예정된 시간동안 다수의 광방출 송신기를 선택적으로 작동시키도록 하며 이로부터의 상채정보를 획득하기 위해 그같은 시간중에 다수의 적외선 수신기를 선택적으로 조사하도록 하는 제어 수단으로서 한 선택된 적외선 수신기로부터 획득된 상태 정보에 응답하여 상기 웨이퍼 카세트의 한 특정된 상응하는 슬롯쌍내에 반도체 웨이퍼가 존재 또는 부재하는지를 결정하도록 하는 제어수단을 포함하는 바의 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼.
제1항에 있어서, 상기 논리수단이 한 선택된 적외선 수신기로부터 획득된 상태 성보에 더욱더 응답하여 특정된 반도체 웨이퍼가 웨이퍼 카세트의 상응하는 슬롯쌍내엥 정렬되지 않은 크로스 슬롯트된 상태의 존재를 결정하도록 하는 바의 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼.
제2항에 있어서, 상기 제어수단이 웨이퍼 카세트의 상응하는 슬롯트쌍 각각에 반도체 웨이퍼가 존재하는지 혹은 부재하는지를 대표하는 카세트 맵정보와 결정되어진 각 크로스 슬롯트된 상태의 존재를 대표하는 정보를 발생시키도록 동작될 수 있는 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼.
제3항에 있어서, 사용자가 카세트 맵 정보에 대한 요구를 입력시키고 상기 카세트 맵정보의 가시적 영상을 발생시키도록 하기위한 주 컴퓨터 수단; 그리고 상기 제어수단과 주 컴퓨터에 결합되러 상기 카세트 맵정보를 위한 사용자의 요구를 제어수단으로 전달시키고 그리고 제어 수단으로부터의 요구된 카세트 맵정보를 상기 주컴퓨터로 전달시키기 위한 결합성의 수신기 수단을 더욱더 포함하는 바의 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼.
제3항에 있어서, 상기 다수의 웨이퍼 카세트 맵퍼중 선택된 하나 또는 둘이상의 맵퍼로 부터의 카세트 맵정보에 대한 요구를 사용자가 입력시킬 수 있도록 하고 요구된 카세트 맵정보의 가시적 영상을 발생시키기 위한 주컴퓨터 수단; 그리고 다수의 웨이퍼 카세트 맵퍼 각각과 주 컴퓨터에 결합되어 카세트 맵정보에 대한 사용자요구를 상기의 다수 카세트 맵퍼중 하나 또는 둘이상의 맵퍼로 전달시키도록 하고 요구된 카세트 맵정보를 주컴퓨터 수단으로 전달하기 위한 결합성의 수신기 수단을 더욱더 포함하는 바의 반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼.
웨이퍼 카세트의 첫번째와 두번째 맞은편 측면을 따라 상응하는 슬롯쌍내에 평면의 반도체 웨이퍼가 존재하는지 혹은 부재하는지를 탐지하기 위한 방법이: 상기 상응하는 슬롯쌍의 평면축 첫번째 측면으로 그리고 상기 웨이퍼 카세트의 첫번째 측면에 가장 가까운 곳으로 적외선 방출송신기 T1을 제공하고; 상기 상응하는 슬롯쌍의 평면축 두번째 측면으로 그리고 상기 웨이퍼 카세트의 첫번째 가장 가까운 곳으로 적외선 방출 송신기 T2를제공하며; 상기 웨이퍼 카세트의 두번째 측면에 가장 가까우며 송신기 T1와 정렬되 있는 한 적외선 수신기 R1을 제공하여 송신기 T1과 수신기 R1의 정렬축이 상응하는 슬롯쌍의 평면축과 평행하도록 하고; 상기 웨이퍼 카세트의 두번째 측면에 가장 가까우며 송신기 T2와 정렬되 있는 한 적외선 수신기 R2를 제공하여 송신기 T2와 수신기 R2의 정렬축이 상응하는 슬롯쌍의 평면축과 평행하도록 하고; 일정한 시간동안 송신기 T1을 작동시키어 이로부터 광 방출을 발생시키도록 하며; 송신기 T1이 작동되는동안 수신기 R1 과 R2를 조사하여 송신기 T1 으로부터 방출된 광선이 이에 의해 수신되었는가를 확인하도록 하고; 예정된 시간동안 송신기 T2를 작동시키어 이로부터 광방출을 발생시키도록 하며; 송신기 T2가 작동되는동안 수신기 R1 및 R2를 조사하여 송신기 T2로부터 방출된 광선이 이에 의해 수신되었는가를 확인하도록 하고; 만약 송신기 T1로부터 방출된 광선이 수신기 R1과 R2모두에 의해 수신되었고, 그리고 송신기 T2로부터 방출된 광선이 수신기 R1 및 R2 모두에 의해 수신되었다면 상기 상응하는 슬롯쌍내에 반도체 웨이퍼가 부재하다는 표시를 제공하도록 하며; 그리고 만약 수신기 R1이 송신기 T1 으로부터 방출된 광선을 수신하였고 그러나 송신기 T2로부터 방출되는 광선을 수신하지 않았으며 그리고 수신기 R2가 송신기 T2로부터 방출된 광선을 수신하였고 그러나 송신기 T1으로부터 방출된 광선을 수신하지 않았다면 상기 상응하는 슬롯쌍내에 반도체 웨이퍼가 존재한다는 표시를 제공하도록 하는 단계들을 포함하는 바의 웨이퍼 카세트내 반도체 웨이퍼 존재여부 탐지방법.
평면의 반도체 웨이퍼가 웨이퍼 카세트의 맞은편 측면들을 따라 상응하는 슬롯쌍내에 위치하지 않으며, 오히려 상응하지 않은 슬롯쌍내에 위치하는 크로스 슬롯트된 상태를 탐지하기 위한 방법이: 상응하는 슬롯쌍의 평면측 첫번째 측면과 웨이퍼 카세트의 이 첫번째 측면에 가장 인접해 있는 곳에 적외선 방출 송신기 T1을 제공하고; 상응하는 슬롯쌍의 평면축 두번째 측면과 웨이퍼 카세트의 첫번째 측면에 가장 인접해 있는 곳에 적외선 방출송신기 T2를 제공하며; 상기 웨이퍼 카세트의 두번째 측면 가장 까까운 곳에 송신기 T1과 정렬하여 적외선 수신기 R1을 제공하여 송신기 T1과 수신기 R1의 정렬축이 상기 상응하는 슬롯쌍의 평면축과 평행하도록 하고; 상기 웨이퍼 카세트의 두번째 측면 가장 가까운 곳에 송신기 T2와 정렬하여 적외선 수신기 R2를 제공하여 송신기 T2와 수신기 R2의 정렬축이 상응하는 슬롯쌍의 평면축과 평행하도록 하며; 일정 예정된 시간동안 송신기 T1을 작동시키어 이로부터 광방출을 발생시키도록 하고; 송신기 T1이 작동되는 시간동안 수신기 R1과 R2를 조사하여 송신기 T1으로부터 방출된 광선이 이에 의해 수신되었는가를 확인하도록 하며; 예정된 시간동안 송신기 T2를 작동시키어 이로부터 광방출을 발생시키도록 하고; 송신기 T2가 작동되는 시간동안 수신기 R2과 R2를 조사하여 송신기 T2로부터 방출된 광선이 이에 의해 수신되었는가를 확인하도록 하며; 만약 수신기 R1이 송신기 T1과 T2모두로부터 방출된 광선을 수신하였고 수신기 R2가 송신기 T1로부터 방출된 광선을 수신하지 않았으며 또한 송신기 T2로부터 방출된 광선도 수신하지 않았다면 크로스 슬롯트된 상태의 표시를 제공하도록 하고; 그리고 만약 수신기 R2가 송신기 T1과 T2 모드로부터 방출된 광선을 수신하였고 수신기 R1이 송신기 T1으로부터 방출된 광선을 수신하지 않았으며 또한 송신기 T2로부터 방출된 광선도 수신하지 않았다면 크로스 슬롯트된 상태의 표시를 제공하도록 하는 단계를 포함하는 바의 반도체 웨이퍼의 크로스 슬롯트된(cross slotted) 상태 탐지방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.