KR930012138B1 - 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지 방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

[발명의 명칭]

웨이퍼 디스크들의 프로세서 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지 방법

[도면의 간단한 설명]

제1도는 전형적인 운반구에 부분 분해 사시도.

제2도는 바-코드 모니터링 시스템에 대한 블럭 다이아그램.

제3도는 전형적인 공장설비의 구성 배치도.

제4도는 본 발명에 따른 바-코드 태그가 부착된 제1도와 같은 전형적인 운반구의 사시도.

제5도는 본 발명의 다른 일실시예로서 운반구의 표면상에 부착된 바-코드 태그를 갖는 커버의 형상도.

제6도는 제5도의 커버를 사용하여 그 표면에 바-코드를 부착한 상태를 나타낸 프로세스 운반구의 사시도.

[발명의 상세한 설명]

발명의 배경

1. 발명의 분야

본 발명은 바-코드(bar code) 원격 감지 시스템을 이용하여 공장설비 내에서 또는 서로 다른 공장설비 사이의 다양한 위치로부터 이들 설비내에 이송되는 세미 콘닥터 웨이퍼들 혹은 메모리 디스크들을 내장하여 운반시켜주는 프로세서 운반구들의 이송상태를 감지하고, 추적하며, 모니터링(monitoring)을 실시하기 위한 시스템에 관한 것이다.

2. 종래 기술의 설명

세미콘닥터(semiconductor)산업분야에서 세미콘닥터 웨이퍼들을 내장하는 프로세스 운반구들은 세미콘닥터 웨이퍼들의 다양한 작업 공정을 위하여 여러곳의 공정작업 설비들을 지나게 된다. 이와 같은 공정작업은 옛칭, 세척, 사진식각작업, 기타 다양한 여러가지의 작업들 그리고 검사나 시험가동등을 포함한다. 메모리 디스크들의 공정은 하나의 작업설비내에서 혹은 서로다른 설비들 사이에 복잡한 작업공정순서에 따른 작업을 실시하게 된다. 이와 같은 산업분야에서, 웨이퍼들이나 메모리 디스크들은 특별하게 디자인되어져, 웨이퍼나 디스크들의 작업공정과 공정설비를 위해 적절한 위치상태를 유지시켜 주는 운반구내로 저장되고, 이와 같은 상태에서 핸들링되거나 또는 운반구로부터 작업설비로 옮겨져 작업을 실시한후, 다시 운반구내로 복귀하는 과정등을 거치게 된다.

이하, '한벌'이라고 하는 것은 세미콘닥터 웨이퍼들이나 메모리 디스크들의 하나 혹은 그 이상(운반구의 용량까지)을 나타내는 말이다. 한벌의 웨이퍼 혹은 메모리 디스크를 저장하는 프로세서 운반구는 제작공정을 통과하면서, 제작과 공정설비의 작업공정에 따라 작업이 진행되어진다. 일반적으로 이것은 매뉴얼을 기초로하여 작업을 수행하는 것으로서, 여러가지의 다양한 작업상태를 통과하는 한벌이 내장된 프로세스 운반구들의 진행과정을, 레코드된 작업용지를 통하거나, 혹은 매뉴얼 키보드 입력과 같은 반자동 시스템을 이용하는 것이다.

웨이퍼 디스크가, 저장된 프로세스 운반구들의 위치를 모니터링 하기위한 방법이나 장치는, 1987년 6월 11자로 출원된 미국특허 출원번호 07/061,935호에 기술되어 있으며, 기술내용으로는 웨이퍼들이나 메모리 디스크들을 위한 운반구들에게 코우드된 표면 음파 응답기 구조로된 RF 인터로게이션(Interrogation)을 사용하여, 응답기를 구동시키는 신호조합을 통해 이들을 식별하도록 한 것이다.

그렇지만, 디스크들의 위치나 이들을 저장시킨 운반구들의 위치에 대한 모니터링 방법은, 적은 투자비용을 가지고, 공장내에 다른 조립 지역에서도 모니터링과 추적 시스템이 상호 유기적인 복합기능을 수행하여야 하며, 빠르고 신뢰성을 가지면서 상호 비접촉 모니터링과 함께, 웨이퍼 디스크들의 작업공정중에 사용하는 다양한 화학약품에 대해서는 견딜 수 있어야 한다.

따라서, 본 발명은 상기의 같은 요구사항을 만족시키기 위한 위치 모니터링 시스템을 공급하고자 하는 것이다.

바-코드 표시를 사용하여 식별하고, 추적하며, 물품조사등을 시시하는 방법은 약 15년전부터 사용되어왔다.

일반적으로 바-코드 표시는 다양한 폭을 갖는 평행하는 다수의 라인으로 구성된다.

데이타는 라인들의 폭과 사이 간격크기에 의하여 코우드되어지며, 광학 프로브(probe)가 라인을 따라 지나면서 프로브의 광빔이 특이한 바-코드를 감지하게 되는 것이다.

감지한 광빔은 전자-광학 디렉터를 통해 전환되는 시그날 결과가 컴퓨터로 보내지고 저장된다.

시간의 길이 변화에 따른 바-코드 특성에 의하여 발생하는 바-코드 판독은, 작업공정을 따라 작업을 실시하는 세미콘닥터 웨이퍼들과 메모리 디스크를 갖는 운반구의 위치나 작업상태를 모니터링 하면서, 이를 식별하고, 추적하며, 조사작업의 각종기능을 수행하게 되는 것이다.

웨이퍼나 디스크 프로세스 운반구에 대한 바-코드 시스템의 적용은 그동안 원활하지 못하였으며, 그 이유로는 운반구의 정상적인 작업상태에서 화학적 또는 온도의 각종변화가 발생하며, 이들이 바-코드 태그(tag)의 사용을 방해하는 제약요소로 작용하였기 때문이다.

최초까지의 가능한 바-코드 태그 사용은 접착제로서 태그를 표면상에 부착하는 것이었다.

이들 태그나 혹은 접착제의 사용은 화학약품의 작용에 의하여 그 사용이 방해를 받게되었다.

또한, 테프론 등으로 형성된 새로운 접착제로서 프로세스 운반구 상에 획기적인 접착을 실시하게 되는 경우에 있어서도, 이들 새로운 접착제는 작업중에 사용하는 화학약품에 의하여 곧 사용에 대한 제약을 받게되었다.

프로세스 운반구를 위한 바-코드는, 필수적으로 운반구를 사용하는 동안에 화학약품의 영향을 거의 받지 않아야하며, 화학공정상에서 발생하는 오염전달이 이루어지지 않아야 한다.

본 발명은 프로세스 운반구상에 바-코드 태그를 부착하기 위한 봉합 시스템으로서, 바-코드 태그가 가혹한 여러가지 화학 조건하에서 보호가 이루어지고, 이와 동시에 바-코드를 일반적인 바-코드 스캐너, 바람직하게는 레이저 스캐너를 통하여 정확하게 바-코드 표시내용을 판독할 수 있도록 한 것이다.

[발명의 간단한 설명]

본 발명은 복잡한 작업공정내의 세미콘닥터 웨이퍼들이나 메모리 디스크들을 갖는 프로세스 운반구들의 위치나 작업상태를 모니터링 하기위한 방법에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼들이나 메모리 디스크들이 일정간격을 가지고 이를 지지하도록 형성된 지지편을 통하여 운반구내에 평행적으로 저장되는 것을 포함한다.

운반구는 운반구로부터 세미콘닥터 웨이퍼들과 메모리 디스크들을 꺼내지 않은 상태로서 공장내의 여러지역을 작업공정에 따라 이동하면서 작업을 수행하게 된다.

각 운반구에는 코우드된 바-코드 표시 태그가 여러가지의 화학조건하에서 보호될 수 있도록 효과적으로 부착된다.

바-코드 태그에는 운반구와 이에 내장되는 웨이퍼들과 디스크들에 따라 각각 독특한 표식이 코우드 된다.

작업공정을 따라 여러위치로 이동하는 각 운반구는, 각각 정해진 위치에 설치되어 운반구상에 부착된 각각의 독특한 바-코드의 입력상태를 감지하는 바-코드 표시 리더 유니트에 의하여 그 식별이 이루어지게 된다.

작업공정을 통하여 디스크를 저장한 프로세스 운반구의 흐름은, 바-코드 표시 리더 유니트로부터 입수되는 정보에 의하여 컴퓨터로 저장되고 보정되는 것에따라 운반구의 모니터링이 이루어진다.

[본 발명의 구체예에 따른 상세한 설명]

도면 제1도는 세미콘닥터 웨이퍼들이나 혹은 메모리 디스크(17)들을 첨부도면과 같이 일반적인 저장골격 형상을 갖는 박스형상의 운반구내에 일정간격을 유지하도록 평행 적치시켜주는 전형적인 웨이퍼나 디스크 운반구를 나타낸 것이다.

이하, ＂디스크＂라고 하는것은 세미콘닥터 웨이퍼나 컴퓨터 메모리 디스크를 복합적으로 나타내는 용어로서, 이들은 기술적으로 유사하게 생산될뿐만 아니라 그 형상도 비슷한 형태를 갖고 있다.

이와 같은 운반구들은 최근에 미네소타주 55318, 챠스카, 죠나단 보울레바아드 노오쓰 102에 소재하는 플루로 웨어 인크에서 상업적으로 생산하고 있는 것으로서, 세미콘닥터 산업분야에서는 일반적으로 광범위하게 사용되고 있다.

일반적으로, 이와 같은 운반구들은 운반구와 웨이퍼 및 디스크들의 이동에 따라 연관 작동하는 페이퍼 기록들을 통하거나 또는 이와 같은 조작을 매뉴얼 키보드 조작에 따른 반자동 시스템을 통해서 작업공정 내의 운반상태가 감지된다.

성형된 운반구(12)에는 삽입흠(14)이 형성되고, 이 삽입흠은 운반구의 측벽상부 개방측의 테두리(15) 근처로 바-코드 태그(16)를 붙일 수 있는 크기로 형성된다.

바-코드 태그(16)를 삽입용(14)내에 부착한 후에는 삽입홈(14)으로 이 크기가 일치하는 투명커버(18)를 덮은 상태로, 운반구(12)상에 열융착으로 커버를 붙여주게 된다.

투명커버(18)는 테프론과 같은 합성수지 재질로서 운반구 몸체와 동일한 재질을 갖도록 형성할 수 있다.

밀봉식의 열융착에 따라 커버내로 부착된 바-코드 태그는 디스크 공정작업중에 사용되는 여러가지의 화학약품에 대한 보호를 받게 된다.

운반구의 일측벽 개방상부측 근처의 돌출 테두리(15)의 직하방에 바-코드 태그가 위치하도록 한것은, 운반구(12)의 정상적인 작업이나 이송 공정작업중에 이로인한 간섭이 일어나지 않도록 하기 위한 것이다.

도면 제4도는, 본 발명에 따라 제1도에 도시된 바와 같은 바-코드 태그가 붙여진 프로세스 운반구를 나타낸 사시도이다.

바-코드 유니트는 사용에 적합하도록 식별이 가능하고, 화학약품으로부터 바-코드를 안전하게 보호할 수 있는 다양한 여러가지의 커버수단이 고려될 수 있다.

아울러, 바-코드 태그는 웨이퍼 운반구의 어느곳에나 바-코드 태그의 부착이 용이한 지점으로변경을 하여 부착을 실시할 수 있다.

웨이퍼 운반구에 부착되는 바-코드의 위치선정은, 웨이퍼 운반구가 다른 어떠한 작업공정이나 기계장치에 방해를 끼치지 않고, 특수한 감지 설비의 감식에 가장 장점을 부여할 수 있는 위치로 선택하면 된다.

예를 들면, 제6도에 도시한 바와 같이, 태그(54)의 부착을 위한 별도의 삽입홈을 형성할 필요없이 운반구(50)의 일측 평면상에 바-코드 태그(54)를 밀봉시킨 상태로 부착시킬 수도 있다.

태그(54)의 부착을 위한 바-코드 커버(52)는 열융착을 실시하는 동안 운반구(50)의 평판에 밀봉되는 태그(54)의 위치설정을 위하여 형성된 지지탭(56)을 갖는다.

바-코드 커버(52)는 바-코드 커버(18)와 같은 동일재료로 만들어지며, 일반적으로 운반구(50)(12)와 같은 동일재료를 갖는다.

본 발명에 따른 어떤 특정 재료는 특히 바-코드 태그에 적합하도록 기선정하였다.

전기분해된 알루미늄, 스테인레스 스틸, ??톤(KAPTON)과 같은 폴리마이드 합성수지, 테프론과 같은 불소화 합성수지, 폴리에스터 합성수지와 세라믹의 바-코드 태그 재질들은 대표적으로 사용 상태하에서 혹독한 화학 조건에 견딜 수 있는 선택범위를 갖는다.

본 발명에 따른 밀봉된 바-코드 태그들의 테스팅을 통상적으로 사용되는 아래와 같은 세미콘닥터 공정용 화학 약품들을 사용하여 실시하였다.

모든 비율과 퍼센트는 볼륨으로 표현된 것이다.

캡톤의 바-코드 태그들은 PC-100 시리즈로 명명되어 미조리주, 성 루이스에 소재하는 왓트슨 라벨 프로닥트(Watson Label Products)로부터 구입가능하며, 모든 화학제에 적절하게 사용된다.

전기분해된 알루미늄의 바-코드 태그는, 아이오와주, 메이슨 시에 소재하는 메탈 크래프트(Metal Craft)로부터 구입가능하며, 플루오르화 수소산, 염산, 질산을 함유하는 것을 제외하고는 모든 화학제에 우수하게 사용된다. 세라믹 바-코드 태그는 컴퓨-세라믹(COMPU-Cermic)으로 명명되어 미네소타주, 미네아 폴리스에 소재하는 컴퓨타입(Computype)으로부터 구입가능하고, 폴리 플루오르 카본 필름(테들라(TEDLAR))으로 적층피복된 폴리에스터 태그는 IDP-200 시리즈로서 왓트슨 라벨 프로닥트사로부터 구입가능하며, 그 성능도 우수하다.

바-코드 표시는 정확한 판독성을 부여하기 위하여 바-코드 재료에 인쇄된다. 테스트 조건으로서, 레이저 바-코드 스캐너는 약 0.090인치 두께를 갖는 테프론 피 에프 에이(TEFLON PFA)로 열융착된 투명커버를 통하여 바-코드 태그를 정확하게 판독할 수 있었다.

바-코드 태그(16)(54)는 다양한 폭을 갖는 다수의 평행선으로 구성되어 있다. 일반적으로 밝은 배경상에 도식된 어두은 선들이나 어두은 배경상에 도식된 밝은 선들이 사용된다.

데이타는 선들의 폭이나 이들 사이공간을 통하여 코우딩되어, 광학리더의 빔이 이들 선들을 지남에 따라 바-코드 마다의 코우딩된 특성에 따라서 이를 읽을 수 있게된다.

판독작업은 수작업 또는 자동으로 실시할 수 있다.

변조된 광빔은 포토다이오드나 포토트랜지스터와 같은 전자-광학 디텍터를 통해 전달되고 탐지된다.

이들의 결과 시그날은 컴퓨터측으로 전달되어 저장된다.

컴퓨터는 운반구와 관련되는 물품명세, 식별, 이송정보를 구별할 수 있도록 프로그래밍 되어있다.

일반적으로 전자-광학 프로브 디텍터나 혹은 바-코드 판독기(23)는 적어도 2가지의 필수적 인 컴포넌트를 갖고서 바-코드 식별작업을 실시하게 된다. 이들은 광주사기(illuminator)와 광수신기이다.

광주사기는 일반적으로, 예를 들면 백열등이나 광 이미팅(emitting) 다이오드와 같은 비 조준(non-collimated)광원, 혹은 최근에는 비 간섭 조준(non-coberent collimated)레이저 광원을 사용한다. 광주사기는 렌즈와 결합되어 광원이 바-코드 표면상에 주사된후 다시 반사되어 오는것을 광수신기를 통하여 모으게된다.

광수신기에는 전자-광학 디텍터상에 광빔의 촛점이 모이도록 하는 2차 렌즈가 설치된다.

광원과 광 디텍터는 관련되는 렌즈에 조점위치하고, 이들은 전자요소들 혹은 광섬유를 통하여 렌즈들과 원격적인 연결이 이루어진다. 전자광학 디텍터로부터 결과 시그널이 컴퓨터(38)에 전달되고 저장된다.

본 발명의 목적을 위해, 레이저 혹은 비 간섭광을 기초로 하는 바-코드 스캐너들이 바-코드의 비접촉 판득에 대한 빠른 신뢰성을 부여하기 때문에 이를 선택적으로 고려하였다.

바-코드 리더는, 일정거리에서 바-코드를 충분한 폭으로서 판독할 수 있도록 레이저 스캐너에 따른 광원으로 레이저 튜브를 갖는다.

이와 같은 레이저 스캐너는 일반적으로 회전하는 드럼, 다면 거울, 홀로그램을 통하여 바-코드로 레이저빔을 주사하도록 작동하는 기술이 일반적으로 알려져 있다.

반사광은 광전지에 투사하여 관련되는 전압을 발생시킴에 따라, 바-코드의 간격 및 길이 변화에 따른 전압 패턴을 형성하게 된다.

드럼, 다면거울, 또는 홀로그램의 회전속도는 이미 알려져있고, 반사길이에 대한 연관성이 전압-시간의 연관성으로 전환됨에 따라, 바-코드에 기록되어진 정보를 해독하게 되는 것이다.

본 발명에 따른 레이저 바-코드 스캐닝의 이용은, 컨베이어 혹은 계속되는 작업라인상의 고정 또는 수동식의 리더를 통해 디스크 운반구가 지남에 따라 디스크 운반구의 바-코드를 일정거리에서 판독하게 되는 것이다. 이미 기술한 바와 같이, 레이저 광원을 기초로한 고정식과 수작업식 바-코드 리더 또는 스캐너의 이용은 현재 그 사용이 가능하다.

예로서, 미국특허번호 제4,560,862호, 제4,500,776호, 제4,460,120호, 제4,450,350호, 제4,431,912호, 제4,387,297호, 제4,333,006호 들을 들 수 있다.

또한, 포타블 레이저 스캐너들은 바-코드 표시를 지나가거나 스캐닝 헤드를 바-코드측에 위치시킴에 따라서 코우딩된 바-코드의 판독이 이루어진다. 예로서, 미국특허번호, 제4,369,361호를 들 수 있다.

운반구상의 바-코드 심벌은, 작동중에 심벌이 스캐너를 지날때 스캐너헤드의 레이저 광빔을 통하여 정해진 바-코드 심벌을 판독하게 된다.

바-코드 표시가 컴퓨터로 전달되면, 컴퓨터에 연결되어 있는 여러가지 다양한 장치들, 예를 들면 프로터, 키보드, 커뮤니케이션 폿트, 시청각 기재, 데이타 디스플레이, 그리고 유사한 주변기기들을 통하여 운반구와 디스크들에 대한 정보를 판독하게 되는 것이다.

제2도에 도시된 시스템 블럭 다이아그램은, 다양한 바-코드 리더와 스캐너들과 관련되어 작동하는 바-코드 태그의 작동상태를 도식화 시킨 것이다.

상기 도면에서, 바-코드(16)(54)를 갖는 하나의 운반구(12)(50)만이 도시되어있으나, 이것은 다양한 동일형상 또는 다른 형상을 갖는 운반구들이 어느 특정한 작업설비나 혹은 작업설비 사이를 이동 또는 정지하고 있는 상태를 나타내는 것이라고 해석하면 된다.

바-코드 리더 혹은 스캐너(23)는 바-코드 태그(16)(54)의 표면상에 광빔을 주사하게 된다.

스캐너(23)를 통하여 일정거리를 유지한 상태로 관련된 운반구의 바-코드를 판독하게 된다.

바-코드(16)(54)는 운반구(12)(50)의 식별을 위해 스캐너 측을 항상 향하고 있어야 한다.

다수의 바-코드 표시 리더(23)는 공정설비 내의 각 공정라인에 조립 설치되어 진다.

바-코드 리더의 출력은 이에 연결되어진 컨버어티나 디지타이저(30)로 전달되어, 바-코드 리더나 스캐너(23)로 부터의 시그날을 전환시켜준다.

본 실시예로서, 바-코드 리더들의 출력시그날은 디지타이저(30)나 혹은 컴퓨터(38) 내에서 아날로그 신호로부터 디지탈 신호로 바뀌게되고, 이것은 바-코드(16)(54)의 각 독특한 형상에 따라 디지탈 숫자로 기록되어져, 운반구와 세미콘닥터 웨이퍼 혹은 메모리 디스크의 관련 정보를 인식하게 된다.

바-코드(16)(54)에 관련된 특수한 식별 숫자와 각각의 바-코드 리더로 부터의 출력 시그날들은 마스터 컴퓨터를 통하여 관련된 공정내에 운반구에 어느위치에 존재하는가를 어느시점이나 어느경우에 있어서도 식별이 가능하게 해준다.

제3도는, 전형적인 설비 상태를 참고예로서 도시한 것으로서, 다수의 리모트 바-코드 리더(23)들이 Ⅰ로부터 Ⅷ로 표시된 작업공정라인의 적절한 위치상에 고정설치되어 있다.

하나 혹은 그 이상의 바-코드 리더(23)들이 이동하는 운반구에 근접하여 이들을 모니터링 하기위해 특정 위치상에 설치된다.

바-코드 리더들(23A)-(23H)의 출력은 이들과 각각 연결되어진 연결선(28)을 통하여, 컨버어터(30)를 경유해 설비의 내측이나 혹은 외측으로 적절한 위치를 갖고있는 컴퓨터(38)로 바-코드 태그(16)를 갖는 각 운반구(12)(50)들을 공정라인을 따라 이동하게 되고, 각각 리더들(23A)-(23H)을 통해 컴퓨터(38)로서 운반구의 위치나 각각의 필요한 정보를 입수하게 된다.

상기한 바와 같은 본 발명의 기술사상 이외에 하기와 같은 청구범위의 기술사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변경이나 방법 및 시스템의 추가를 실시할 수 있는 것이다.

Claims (11)

1. 운반구의 부수적인 정렬편을 통해 일정간격을 가지고 평형상태로 지지 적치되도록 한벌의 디스크들을 성형된 프로세스 운반구 내로 각가 삽입하고; 표면상에 운반구의 식별이나 작업상태를 위하여 코우딩된 바-코드 태그가 운반구상에 밀봉식으로 부착된 각 운반구를 구비하고; 바-코드 리더들을 작업공정상에 운반구의 바-코드를 식별할 수 있는 범위내로 각각의 위치상에 조립설치시켜, 바-코드의 인식범위내에서 이를 지나는 바-코드의 표시를 판독하고; 리더 유니트로부터 전달받은 정보를 보완하고 저장시킴에 따라 여러위치를 지나는 디스크들의 공정 작업상태를 모니터링 하도록 하는; 상기의 각 스탭으로 여러 위치상에서 다양한 작업공정을 실시하는 디스크들의 작업공정을 모니터링 함을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지 방법.
2. 제1항에 있어서, 각각의 바-코드 표시 리더들이 각각의 감지범위 내에서 광원으로부터 광빔을 바-코드 태그상에 주사하고, 바-코드 태그는 이 광빔을 받아 다시 운반구상에 부착된 바-코드 태그의 독특한 식별상태를 반사 광빔으로서 광수신기 측으로 반사시켜 주도록 함을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지 방법.
3. 제2항에 있어서, 운반구는 과불소화 합성수지재로 성형되고, 바-코드 태그는 전기분해된 알루미늄, 폴리마이드 합성수지, 스테인레스 스틸, 과불소화 합성수지, 세라믹 혹은 폴리에스터 합성수지로 형성되며, 바-코드 태그는 과불소화 합성수지 재질의 투명커버내로 열융착에 의하여 운반구 표면상에 부착됨을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지방법.
4. 운반구의 수직벽 외측면상에 라인의 폭과 이들 간격에 따라 데이타를 기입하는 독특한 다수의 라인들이 형성된 바-코드 태그를 식별 가능하게 봉합하고, 적어도 하나 이상의 디스크 운반을 위한 다수의 운반구들과; 바-코드를 대향하여 바-코드 측으로 광빔을 주사하고 독특한 바-코드의 성격에 따라 반사되는 반사광빔을 받기 위한 적어도 하나 이상의 리모트 바-코드 리더와; 바-코드 리더들로부터의 출력을 받고, 바-코드 리더와 범위내에 있는 운반구로 컨트롤 신호의 지시를 받도록 하기 위한 컨트롤 수단; 으로 구성하여 다양한 작업공정을 지나는 디스크들을 추적하도록 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지장치.
5. 제4항에 있어서, 바-코드 리더 유니트의 각각의 그들 감지 범위내에서 바-코드 측에 레이저 광빔으로부터 레이저빔을 주사하고, 바-코드는 이를 받아 운반구에 부착된 바-코드의 독특한 성격에 따른 반사광빔을 반사시켜 주도록 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지장치.
6. 제4항에 있어서, 운반구에 부착되는 바-코드 태그가; 운반구상에 바-코드의 지지를 위해 형성된 삽입홈내로 삽입되고; 바-코드 태그의 커버링과 실링을 위해 형성된 투명 커버를 삽입홈내의 바-코드 태그 상부로 씌워 실링하도록; 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지장치.
7. 제4항에 있어서, 운반구가 과불소화 합성수지로 형성되고, 바-코드 태그는 전기분해된 알루미늄, 스테인레스 스틸, 과불소화 합성수지, 세라믹 폴리에스터 합성수지, 폴리마이드 합성수지로 형성되며, 바-코드는 운반구의 평면상에 과불소화 합성수지 재질의 투명 커버를 통하여 열융착으로 봉합하도록 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격감지 장치.
8. 바-코드로된 프로세스 운반구는 일정공간 유지를 위한 지지편을, 통해 적어도 하나이상의 디스크들을 평행상태로 배치하여 저장할 수 있도록 형성되고, 바-코드 태그를 식별 가능하도록 운반구상에 부착시키도록 하며, 바-코드는 운반구의 식별을 위하여 제작, 배치, 코우딩 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지 장치.
9. 제8항에 있어서, 바-코드 태그가 디스크 작업 공정상에 사용되는 여러가지의 화학약품 사용조건에 대해 보호될 수 있도록 운반구상에 봉합되어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격감지 장치.
10. 제9항에 있어서, 바-코드 태그는 전기분해된 알루미늄, 스테인레스 스틸, 과불소화 합성수지, 폴리마이드 합성수지, 세라믹 혹은 폴리에스터 합성수지 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지 장치.
11. 제10항에 있어서, 프로세스 운반구가 과불소화 합성수지로 형성되고, 바-코드 태그가 과불소화 합성수지 재질로 된 투명 커버를 통하여 운반구상에 열봉합에 따라 부착되어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 디스크들의 프로세스 운반구들을 위한 바-코드 원격 감지장치.