KR920021969A - 무접촉 온-라인 측정 방법 및 측정 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 측정 장치를 도시한 개략도,
제2도는 알루미늄 산화면으로부터 반사된 방사 적외선의 측정 온도와 거친 알류미늄 스트립상에서 알루미늄 산화층의 알루미늄 산화물 사이의 관계를 도시한 다이아그램.
Claims (13)
- 판 또는 스트립 형상재료 또는 재료층의 두께 또는 표면 구조에 대한 무접촉 온-라인 측정 방법에 있어서, 측정 지점에서 상기 재료는 측정 면적에 걸쳐 일정 온도로 유지되고, 상기 측정 면적은 경사지게 투사되는 방사 적외선에 노출되며, 재료 표면상의 측정 면적으로부터 반사된 적외선 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 적외선 라이에이터의 일정 온도에 대해 표면으로부터 반사된 적외선의 온도가 재료의 여러 다른 표면 구조에서 측정되고, 재료의 표면 구조에 따라 반사 적외선의 온도 변화가 결정되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정방법.
- 제2항에 있어서, 상기 반사 적외선의 측정 온도는 설정 온도와 비교되고, 상기 비교로부터 재료 표면 처리를 제어하기 위한 신호가 얻어지는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 재료는 일정 온도로, 적합하게는 373 내지 393k 범위에서 적외선 라이에이터에 의해 측정 지점에 방사되는 것은 특징으로 자는 무접촉 온-라인 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 재료 표면의 노출된 측정 면적에 방사 적외선을 경사지게 투사하는 적외선 라디에이터의 표면 온도는 측정중에 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 방사 적외선에 대한 반사율이 높은 비피복 표면을 갖는 재료충의 두께가 측정되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 재료는 알루미늄으로 구성되어 있고, 그 표면은 알루미늄 산화층을 지지하며, 상기 재료의 표면 상태를 결정하는 알류미늄 산화층의 두께가 측정되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정방법.
- 제6항에 있어서, 상기 재료는 알루미늄이고, 그 표면은 광 감지층에 의해 피복되어 있으며, 상기 광 감지층의 두께가 측정되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 재료는 플라스틱 필름으로 구성되어 있으며, 이 플라스틱 필름의 두께가 측정되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 방법.
- 제1항에 있어서, 측정 장치의 반사 적외선 적용 부분에 놓여 있는 재료 표면의 전체 측정 면적이 방사 적외선에 노출되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 방법,
- 판 또는 스트립 형상 재료 또는 재료층의 두께 또는 표면 구조에 대한 무접촉 온-라인 측정 장치에 있어서, 상기 측정 장치(1)는 적외선 라디에이터(2)와 적외선 온도계(3)를 포함하고, 상기 적외선 라디에이터의 광선 통로(10)는 측정 면걱적(4)내에 있는 재료 표면상으로 경사지게 향하는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 장치는 재료(5)가 통과하는 강철 콜(6) 상부에 위치하고, 강철 롤(6)은 가열되는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 장치.
- 제11항에 있어서, 층 두께 및 산화물 중량과 같은 표면 구조 또는 재료 두께에 따라 재료 표면으로부터 반사되는 적외선의 온도 변화가 저장되는 비교 장치(7)를 구비하고, 설정 온도값이 비교 장치로 공급되어 차등 신호로부터 제어 신호를 얻기 위하여 각각의 측정된 온도값과 비교되며, 비교 장치의 출력부(8)는 재료 표면처리 장치에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 무접촉 온-라인 측정 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100730606B1 (ko) * | 2004-04-26 | 2007-06-20 | 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 | 수평 방향으로 이동하는 편물 상에서 코팅 재료의 층 두께조정 방법 및 장치 |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2840181B2 (ja) * | 1993-08-20 | 1998-12-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 多層膜試料の膜厚測定方法 |
AT407197B (de) * | 1993-11-03 | 2001-01-25 | Johann Gigerl | Thermografisches messverfahren zur wandstärkemessung von schmelzwannen,-tiegeln, -kesseln oder -behältern unter beiziehung von hilfsmitteln bei vollem betrieb |
DE4343076C2 (de) * | 1993-12-16 | 1997-04-03 | Phototherm Dr Petry Gmbh | Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche eines insbesondere bewegten Gegenstandes |
DE19520788C2 (de) * | 1995-01-13 | 2001-08-16 | Optisense Ges Fuer Optische Pr | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
US5654977A (en) * | 1995-02-02 | 1997-08-05 | Teledyne Industries Inc. | Method and apparatus for real time defect inspection of metal at elevated temperature |
US6030117A (en) | 1996-11-12 | 2000-02-29 | Trutek, Inc. | Tympanic thermometer probe cover |
US5833367A (en) | 1996-11-12 | 1998-11-10 | Trutek, Inc. | Tympanic thermometer probe cover |
US6000844A (en) * | 1997-03-04 | 1999-12-14 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method and apparatus for the portable identification of material thickness and defects using spatially controlled heat application |
US6001066A (en) | 1997-06-03 | 1999-12-14 | Trutek, Inc. | Tympanic thermometer with modular sensing probe |
US6013915A (en) * | 1998-02-10 | 2000-01-11 | Philip Morris Incorporated | Process control by transient thermography |
US5967992A (en) | 1998-06-03 | 1999-10-19 | Trutex, Inc. | Radiometric temperature measurement based on empirical measurements and linear functions |
DE19832833C2 (de) * | 1998-07-21 | 2002-01-31 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur thermographischen Untersuchung eines Werkstückes und Vorrichtung hierfür |
DE19907804C1 (de) * | 1999-02-24 | 2000-03-09 | Phototherm Dr Petry Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern |
US6123454A (en) | 1999-06-11 | 2000-09-26 | Trutek, Inc. | Tympanic thermometer disposable probe cover with further stretching prevention structure |
US7401976B1 (en) * | 2000-08-25 | 2008-07-22 | Art Advanced Research Technologies Inc. | Detection of defects by thermographic analysis |
US6794651B2 (en) * | 2002-06-13 | 2004-09-21 | The Boeing Company | Method of measuring chromated conversion coating amount using infrared absorbance |
US6903339B2 (en) * | 2002-11-26 | 2005-06-07 | The Boeing Company | Method of measuring thickness of an opaque coating using infrared absorbance |
DE10322271A1 (de) * | 2003-05-19 | 2004-12-16 | Universität Duisburg-Essen | Vorichtung und Verfahren zur Untersuchung von Körpern |
US7220966B2 (en) * | 2003-07-29 | 2007-05-22 | Toyota Motor Manufacturing North America, Inc. | Systems and methods for inspecting coatings, surfaces and interfaces |
US7129492B2 (en) * | 2003-07-29 | 2006-10-31 | Toyota Motor Manufacturing North America, Inc. | Systems and methods for inspecting coatings |
US7075086B2 (en) * | 2003-08-28 | 2006-07-11 | The Boeing Company | Measurement of metal polish quality |
DE102004060235B4 (de) * | 2004-12-15 | 2006-12-21 | Jrw Technology + Engineering Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätsprüfung von Werkstücken |
US8204294B2 (en) * | 2009-11-25 | 2012-06-19 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Systems and methods for detecting defects in coatings utilizing color-based thermal mismatch |
KR101249168B1 (ko) * | 2009-12-18 | 2013-03-29 | 주식회사 포스코 | 냉간압연에서의 품질이상 예지 시스템과 그 방법 |
CN104007071A (zh) * | 2014-06-05 | 2014-08-27 | 常州艾瑞特电子有限公司 | 一种红外金属检测仪 |
FR3022621B1 (fr) * | 2014-06-19 | 2022-04-29 | Poncot Jean Claude | Dispositif de mesure d'un ensemble de donnees spatiales d'epaisseur d(x,y) d'une couche mince et procede de mesure utilisant ledit dispositif |
CN104931426A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-23 | 常州博美新材料科技有限公司 | 一种水下切粒机堵料检测装置 |
CN104949736A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-30 | 常州博美新材料科技有限公司 | 水下切粒机堵料检测装置 |
US11473900B2 (en) | 2016-07-21 | 2022-10-18 | Assan Aluminyum San. Ve Tic. A. S. | Measurement of oxide thickness on aluminum surface by FTIR spectroscopy and chemometrics method |
US20180292313A1 (en) * | 2017-04-11 | 2018-10-11 | Novelis Inc. | Systems and methods of detecting coatings on metal substrates |
US10899089B2 (en) * | 2018-03-30 | 2021-01-26 | The Boeing Company | Automated fiber placement end effector with laminar gas cooling jet and infrared image processor for in-situ inspection |
CN111322933B (zh) * | 2020-03-18 | 2021-05-18 | 唐山学院 | 一种自动化平面度检测装置 |
CN112432582B (zh) * | 2020-11-06 | 2022-05-27 | 山东诚信工程建设监理有限公司 | 一种基于互联网的建筑工程用检测装置及其检测方法 |
CN114740045B (zh) * | 2022-06-10 | 2023-03-24 | 江苏满星测评信息技术有限公司 | 一种用于监测全季节控温薄膜材料控温性能的系统 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3206603A (en) * | 1962-08-16 | 1965-09-14 | Gen Electric | Infrared flaw detector method and apparatus |
US3433052A (en) * | 1965-07-26 | 1969-03-18 | Automation Ind Inc | Material tester |
US3667846A (en) * | 1969-07-28 | 1972-06-06 | Charles Nater | Optical surface inspection apparatus |
US3973122A (en) * | 1974-06-17 | 1976-08-03 | Ixcon Inc. | Measuring apparatus |
US3978713A (en) * | 1975-05-27 | 1976-09-07 | General Electric Company | Laser generation of ultrasonic waves for nondestructive testing |
SU857821A1 (ru) * | 1979-03-11 | 1981-08-23 | Научно-Исследовательский Институт Прикладной Математики И Механики При Томском Государственном Университете Им. В.В.Куйбышева | Способ определени термической стойкости полимерных материалов |
SU868332A1 (ru) * | 1980-01-18 | 1981-09-30 | Рязанский Радиотехнический Институт | Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени |
US4513384A (en) * | 1982-06-18 | 1985-04-23 | Therma-Wave, Inc. | Thin film thickness measurements and depth profiling utilizing a thermal wave detection system |
US4522510A (en) * | 1982-07-26 | 1985-06-11 | Therma-Wave, Inc. | Thin film thickness measurement with thermal waves |
US4521118A (en) * | 1982-07-26 | 1985-06-04 | Therma-Wave, Inc. | Method for detection of thermal waves with a laser probe |
US4543486A (en) * | 1983-05-20 | 1985-09-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method and apparatus for using a photoacoustic effect for controlling various processes utilizing laser and ion beams, and the like |
US4634290A (en) * | 1984-05-21 | 1987-01-06 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for detecting thermal waves |
US4679946A (en) * | 1984-05-21 | 1987-07-14 | Therma-Wave, Inc. | Evaluating both thickness and compositional variables in a thin film sample |
US4579463A (en) * | 1984-05-21 | 1986-04-01 | Therma-Wave Partners | Detecting thermal waves to evaluate thermal parameters |
US4634291A (en) * | 1984-11-26 | 1987-01-06 | General Electric Company | Coating thickness measurement |
US4818118A (en) * | 1984-11-26 | 1989-04-04 | General Electric Company | Coating thickness measurement |
JPS62198707A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 非接触塗装検査装置 |
SU1395939A1 (ru) * | 1986-05-26 | 1988-05-15 | Харьковский авиационный институт им.Н.Е.Жуковского | Способ измерени толщины листового материала |
GB8813423D0 (en) * | 1988-06-07 | 1988-07-13 | Atomic Energy Authority Uk | Coating inspection |
DE3913474A1 (de) * | 1989-04-24 | 1990-10-25 | Siemens Ag | Photothermisches untersuchungsverfahren, einrichtung zu seiner durchfuehrung und verwendung des verfahrens |
US5166080A (en) * | 1991-04-29 | 1992-11-24 | Luxtron Corporation | Techniques for measuring the thickness of a film formed on a substrate |
-
1991
- 1991-05-06 DE DE4114672A patent/DE4114672A1/de not_active Withdrawn
-
1992
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-
1993
- 1993-06-04 US US08/072,877 patent/US5358333A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100730606B1 (ko) * | 2004-04-26 | 2007-06-20 | 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게 | 수평 방향으로 이동하는 편물 상에서 코팅 재료의 층 두께조정 방법 및 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5358333A (en) | 1994-10-25 |
EP0512313B1 (de) | 1995-11-08 |
ES2080981T3 (es) | 1996-02-16 |
CA2067999A1 (en) | 1992-11-07 |
EP0512313A3 (en) | 1993-04-07 |
KR100239839B1 (ko) | 2000-01-15 |
DE4114672A1 (de) | 1992-11-12 |
JPH06201358A (ja) | 1994-07-19 |
DE59204228D1 (de) | 1995-12-14 |
EP0512313A2 (de) | 1992-11-11 |
BR9201682A (pt) | 1992-12-15 |
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---|---|---|
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