SU868332A1 - Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к средствам активного контрол  качества пле нок в процессе их вакуумного нанесе ни  на различные подложки и может быть использовано дл  контрол  толщины и скорости при нанесении диэле рических, металлических или полупро водниковых пленок. . Известен преобразователь дл  контрол  толщины пленки в процессе нанесени , содержащий резонатор, устанавливаекый в зоне нанесени  пленки, и св занный с ним автогенератор Однако эксплуатационные возможно ти этого преобразовател  ограничены так как в большинстве случаев много кратное использование такого преобразовател  исключаетс . Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  термоэлектронный преобразователь . дл  КОНТРОЛЯ толщины пленки в пооцессе нанесени , содеожащий коопус с отверстием, ось которого ориентирована вдоль потока наносимото ма- териала, установленные в корпусе соосно с отверстием катод, охватывак чие его коллекторы и расположенный на заданном рассто нии от катода анод 2. Однако надежность известного преобразовател  недостаточна, так как по мере эапылени  анода и коллекторов приходитс  форсировать режим катода, что приводит к преждевременному выходу его из стро . Цель изобретени  - повышение надежности преобразовател . Поставленна  цель достигаетс  тем, что преобразователь снабжен диафрагмор, установленной перед отверстием соосно с ним, а форма отверсти  в диафрагме и ее рассто ние от отверсти  в корпусе выбраны из услови  исключени  попадани  наносимого материгша на анод и коллекторы. На фиг. 1 представлен преобразователь , вид сверху; на фиг. 2 - вид А на фиг.1. Преобразователь содержит катод 1 пр мого накала в Bli/te пр молинейного отрезка вольфрамовой проволоки, параллельно которому на некотором рассто нии располагаетс   чеистый анод 2, сигнальный коллектор 3 в эиде Г-образного электрода, внутренние поверхности которого параллельны катоду 1, и он противостоит аноду 2,

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Термоэлектронный преобразователь для контроля толщины пленки в процессе нанесения, содержащий корпус с отверстием, ось которого ориентирована вдоль потока наносимого материала, установленные в корпусе соосно с отверстием катод, охватывающие его коллекторы и расположенный на заданном расстоянии от катода анод, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности преобразователя, он снабжен диафрагмой, установленной перед отверстием соосно с ним, а форма отверстия в диафрагме и ее расстояние от отверстия в корпусе выбраны из условия исключения попадания наносимого материала на анод и коллекторы.