SU868332A1 - Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени - Google Patents
Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени Download PDFInfo
- Publication number
- SU868332A1 SU868332A1 SU802872517A SU2872517A SU868332A1 SU 868332 A1 SU868332 A1 SU 868332A1 SU 802872517 A SU802872517 A SU 802872517A SU 2872517 A SU2872517 A SU 2872517A SU 868332 A1 SU868332 A1 SU 868332A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- transducer
- thickness
- hole
- monitoring
- thermoionic
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
Изобретение относитс к средствам активного контрол качества пле нок в процессе их вакуумного нанесе ни на различные подложки и может быть использовано дл контрол толщины и скорости при нанесении диэле рических, металлических или полупро водниковых пленок. . Известен преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени , содержащий резонатор, устанавливаекый в зоне нанесени пленки, и св занный с ним автогенератор Однако эксплуатационные возможно ти этого преобразовател ограничены так как в большинстве случаев много кратное использование такого преобразовател исключаетс . Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс термоэлектронный преобразователь . дл КОНТРОЛЯ толщины пленки в пооцессе нанесени , содеожащий коопус с отверстием, ось которого ориентирована вдоль потока наносимото ма- териала, установленные в корпусе соосно с отверстием катод, охватывак чие его коллекторы и расположенный на заданном рассто нии от катода анод 2. Однако надежность известного преобразовател недостаточна, так как по мере эапылени анода и коллекторов приходитс форсировать режим катода, что приводит к преждевременному выходу его из стро . Цель изобретени - повышение надежности преобразовател . Поставленна цель достигаетс тем, что преобразователь снабжен диафрагмор, установленной перед отверстием соосно с ним, а форма отверсти в диафрагме и ее рассто ние от отверсти в корпусе выбраны из услови исключени попадани наносимого материгша на анод и коллекторы. На фиг. 1 представлен преобразователь , вид сверху; на фиг. 2 - вид А на фиг.1. Преобразователь содержит катод 1 пр мого накала в Bli/te пр молинейного отрезка вольфрамовой проволоки, параллельно которому на некотором рассто нии располагаетс чеистый анод 2, сигнальный коллектор 3 в эиде Г-образного электрода, внутренние поверхности которого параллельны катоду 1, и он противостоит аноду 2,
Claims (1)
- Формула изобретенияТермоэлектронный преобразователь для контроля толщины пленки в процессе нанесения, содержащий корпус с отверстием, ось которого ориентирована вдоль потока наносимого материала, установленные в корпусе соосно с отверстием катод, охватывающие его коллекторы и расположенный на заданном расстоянии от катода анод, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности преобразователя, он снабжен диафрагмой, установленной перед отверстием соосно с ним, а форма отверстия в диафрагме и ее расстояние от отверстия в корпусе выбраны из условия исключения попадания наносимого материала на анод и коллекторы.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802872517A SU868332A1 (ru) | 1980-01-18 | 1980-01-18 | Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802872517A SU868332A1 (ru) | 1980-01-18 | 1980-01-18 | Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU868332A1 true SU868332A1 (ru) | 1981-09-30 |
Family
ID=20873443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802872517A SU868332A1 (ru) | 1980-01-18 | 1980-01-18 | Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU868332A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5358333A (en) * | 1991-05-06 | 1994-10-25 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of and measuring arrangement for contactless on-line measurement |
-
1980
- 1980-01-18 SU SU802872517A patent/SU868332A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5358333A (en) * | 1991-05-06 | 1994-10-25 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of and measuring arrangement for contactless on-line measurement |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU868332A1 (ru) | Термоэлектронный преобразователь дл контрол толщины пленки в процессе нанесени | |
US2881340A (en) | Photoconductive television pickup tube | |
US4243852A (en) | Membrane switch with means for impeding silver migration | |
US2343379A (en) | Waterproof rectifier | |
US2963597A (en) | Means for compensating the static capacitance of piezo-electric crystals | |
US3727097A (en) | Magnetrons | |
US3119041A (en) | Bipotential cathode | |
US4307130A (en) | Method of making the cathode of a diode image intensifier tube | |
JPS5736758A (en) | Image tube | |
GB993494A (en) | Improvements relating to electron guns | |
US4356426A (en) | Thyratron having anode with low work function material | |
US2527552A (en) | Electric discharge tube | |
JPS6238872B2 (ru) | ||
JPS56149110A (en) | Elastic surface wave device | |
JPS5373095A (en) | Metallic vapor laser tube | |
JPH01188764A (ja) | 高真空用ガスケツト | |
JPS5930528Y2 (ja) | 固体電解コンデンサ | |
JPH0231699Y2 (ru) | ||
JPH087812A (ja) | X線蛍光増倍管 | |
JPS54133124A (en) | Piezoelectric type speaker | |
US4037178A (en) | Means for attaching a ferrite transducer to a disk resonator | |
GB1446592A (en) | Dynode structures | |
GB1145953A (en) | Improvements in or relating to an electron gun assembly | |
JPH07278785A (ja) | 薄膜パターン形成装置 | |
JPH03190312A (ja) | 弾性表面波装置 |