DE19832833C2 - Verfahren zur thermographischen Untersuchung eines Werkstückes und Vorrichtung hierfür - Google Patents

Verfahren zur thermographischen Untersuchung eines Werkstückes und Vorrichtung hierfür

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur thermographischen Untersuchung eines Werk­ stückes sowie eine Thermographievorrichtung hierfür.
Eine Thermographievorrichtung und ein Thermographieverfahren ist aus R. Porten in "Sensor Magazin", Nr. 3, 1990, Seiten 13-17, bekannt.
In technischen Anwendungsfällen, in denen die Wärme eine Einflußgröße ist, können Untersuchungen durch Messung der Wärmestrahlungsdichte mit Hilfe der Pyrometrie oder Thermographie Aufschluß über technisch relevante Parameter des untersuchten Objektes geben. Es ist aber bekannt, daß eine Temperaturbestimmung aufgrund der gemessenen Strahlungsdichte die Kenntnis des Emissionsfaktors voraussetzt, dessen Bestimmung regelmäßig erhebliche Probleme bereitet.
Diese Probleme sind im wesentlichen in den spezifischen Materialeigenschaften, der vorhandenen Oberflächenbeschaffenheit und nicht zuletzt in der Abhängigkeit des Emissionsfaktors von der absoluten Temperatur und der betrachteten Wellenlänge der Strahlung begründet.
Besondere Schwierigkeiten ergeben sich, wenn aufgrund spezifischer Eigenschaften des interessierenden Prozesses mit instationären Veränderungen der Oberfläche ei­ nes untersuchten Werkstückes und dadurch mit einem wechselnden Emissionsfaktor zu rechnen ist.
Typisch sind solche Problemstellungen vor allem für nicht kontinuierliche Verfahren, wie beispielsweise in der Warm- und Halbwarmformtechnik. Aufgrund zunehmender Hubzahlen und der dadurch erhöhten Reibungsenergie treten diese Problemstellun­ gen zukünftig auch verstärkt bei Kaltformprozessen auf.
Die Vorgeschichte des Werkstoffes, die Auswirkung der unterschiedlichen Aufheiz­ verfahren, die Verzunderung der Oberfläche zwischen den einzelnen Bearbeitungs­ stufen und nicht zuletzt der Einfluß der Werkzeuge auf die Werkstückoberfläche können vorab nicht exakt bestimmt werden und lassen deshalb eine genaue Messung der Werkstücktemperatur ohne Kenntnis des aktuellen Emissionsfaktors nicht zu.
Wie in der eingangs genannten Publikation von Rainer Porten in "Sensor Magazin" Nr. 3, 1990, Seiten 13-17, beschrieben ist, verliefen Versuche, mit Hilfe der Quotientenpyrometrie den Einfluß des Emissionsfaktors zu eliminieren, nicht zufriedenstellend. Hier wirkt sich die Tatsa­ che aus, daß weder Metalle noch ihre Oxidationsprodukte der idealisierten Vorstellung von grauen Strahlern entsprechen. Das ist jedoch eine unabdingbare Voraussetzung beim Einsatz von Verhältnispyrometern.
Durch den Einsatz von lasergesteuerten Pyrometern, sogenannte Pyrolaser, können bei der Messung erstmals die wahre Temperatur und der genaue Emissionsfaktor des Meßortes online bestimmt werden. Diese Technik hat ihr bevorzugtes Einsatzgebiet bei der Qualitätsüberprüfung, z. B. von Radial-Axial-Ringwalzen. Die in dem zuvor ge­ nannten Artikel beschriebene Apparatur umfaßt ein punktuell messendes Pyrometer, das zusätzlich mit einem Laser bestückt ist, mit dessen Hilfe der Reflexionsfaktor an der Meßstelle im gleichen Spektralbereich wie die Wärmestrahlung gemessen wird. Aus dem gemessenen Reflexionsfaktor wird der örtliche Emissionskoeffizient berech­ net und auf dessen Basis die wahre Temperatur bestimmt.
Dieses bekannte punktuell messende Laserpyrometer muß, wenn größere Flächen eines Werkstücks untersucht werden sollen, über die Werkstückfläche gescannt wer­ den, was zusätzliche optische und mechanische Einrichtungen für die Thermogra­ phievorrichtung notwendig macht. Außerdem dauern solche Messungen über größere Werkstückoberflächen verhältnismäßig lang.
Aus der DE 693 12 894 T2 (EP 0 605 055 B1) ist ein Pyrometer mit Emissionsmesser bekannt. Hierbei wird ein optischer Integrator im Strahlengang der Meßstrahlung zwi­ schen Strahlungsquelle und Detektor verwendet. Auf diese Weise können jedoch lo­ kale Emissionsfaktoren für die Bestimmung eines Oberflächentemperaturprofiles nicht ermittelt werden.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur thermographi­ schen Untersuchung eines Werkstückes sowie eine Vorrichtung hierfür zu schaffen, womit eine schnelle thermographische Untersuchung einer ausgedehnten Werkstückober­ fläche möglich ist, ohne daß über die Werkstückoberfläche wechselnde Emissionsfakto­ ren zu einer Verfälschung der Meßergebnisse führen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Thermographieverfahren und eine Thermographievorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 3 gelöst.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung können für größere thermo­ graphisch inspizierte Flächen die lokalen Emissionskoeffizienten innerhalb dieser Flä­ chen berechnet werden. Die Berechnung erfolgt durch die Quotientenbildung der In­ frarotreflexion zur Referenzstrahlung eines Flächenstrahlers. Die Aufnahme der Infra­ rotreflexion erfolgt durch eine konventionelle Infrarot-Thermographiekamera. Durch die entsprechende Anordnung der Einrichtung lassen sich mit zwei einzelnen Infrarot­ aufnahmen für alle auf einer Werkstückoberfläche befindlichen Punkte (i, j) die lokalen Emissionskoeffizienten ε(i,j) bestimmen. Diese Koeffizienten lassen sich zweifach nutzen.
Einerseits sind die Emissionskoeffizienten charakteristisch für die unterschiedlichen Oberflächenbeschaffenheiten von Werkstücken. In der Praxis kann damit der Ober­ flächenzustand von Werkstücken begutachtet werden, insbesondere hinsichtlich par­ tieller Kontaminationen.
Andererseits eignen sich die exakten Werte auch zur Bestimmung der wahren Ober­ flächentemperaturen von Werkstücken mittels IR-Strahlung. Bei einer gemessenen IR-Strahlung ist die daraus berechnete Temperatur nur dann richtig, wenn der Emissi­ onskoeffizient richtig angegeben wurde. Mit der Kenntnis aller lokalen Emissionskoef­ fizienten ε(i,j) läßt sich ein IR-Bild pixelweise korrigieren.
Im Gegensatz zum Stand der Technik wird erfindungsgemäß nicht eine punktuelle Laserquelle als Strahlungsquelle zur Verursachung einer Reflexion auf einem Werk­ stück verwendet, sondern eine Flächenstrahlungseinrichtung.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung besteht diese Flächenstrahlungs­ einrichtung aus einer schwarz gefärbten Metallplatte, die ihrerseits indirekt durch eine Vielzahl einzelner IR-Strahler oder wahlweise auch über Heizmatten erwärmbar sein kann.
Während bei der bisherigen Methode ein Werkstück punktuell abgetastet werden muß, reichen erfindungsgemäß für die Ermittlung der örtlichen Emissionskoeffizienten innerhalb einer Meßfläche und der Bestimmung der wahren Temperaturen bereits zwei einzelne Infrarotaufnahmen aus. Bisher konnten mit zwei pyrometrischen Mes­ sungen nur der Emissionskoeffizient und die wahre Temperatur für einen Meßpunkt ermittelt werden. Mit der der Erfindung zugrundeliegenden Thermographievorrichtung können mit zwei IR-thermographischen Aufnahmen prinzipiell für alle Einzelpunkte in­ nerhalb der Meßfläche die Emissionskoeffizienten und die wahren Temperaturen be­ stimmt werden. Die Anzahl der Einzelpunkte wird durch die Pixelanzahl der verwende­ ten Kamera bestimmt.
Durch die flächenhafte Messung ergibt sich gegenüber der punktuellen Messung ein enormer Zeitgewinn bei gleichzeitigem Wegfall des mechanischen Aufwandes der bisherigen Scan-Einrichtungen.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind aus den abhängigen Ansprüchen er­ sichtlich.
Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung beispielhaft anhand einer bevorzugten Ausführungsform in Verbindung mit den Zeichnungen näher erläutert und beschrie­ ben. In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Thermographievor­ richtung;
Fig. 2 eine Schemaskizze zur Veranschaulichung der Strahlungsanteile bei dem Thermographieverfahren;
Fig. 3 ein Kontur- und Intensitätsprofildiagramm eines aufgenommenen Oberflä­ chentemperaturprofils ohne Berücksichtigung der lokalen Emissionskoeffizi­ enten; und
Fig. 4 ein der Fig. 3 entsprechendes Kontur- und Intensitätsdiagramm unter Darstel­ lung der durch die korrekten Oberflächenemissionskoeffizienten korrigierten Temperaturverteilung auf einer untersuchten Werkstückoberfläche.
In Fig. 1 wird die Thermographievorrichtung dargestellt. Ein Werkstück 10 ist im Abstrahlungsbereich einer Infrarotstrahlungsquelle 12 angeordnet und wird durch diese angestrahlt. Die Infrarotstrahlungsquelle 12 umfaßt in der ge­ zeigten Ausführungsform eine vorzugsweise geschwärzte Heizplatte, die ihrerseits über ein Heizelement als Heizvorrichtung 13, wie z. B. eine Glühwendel, aufheizbar ist. Die der Infrarotstrahlungsquelle 12 zugewandte Oberfläche des Werkstücks 10 ist wiederum im Sichtfeld ei­ ner Infrarotstrahlungskamera 14 vorgesehen. Die Infrarotstrahlungskamera 14 ist mit einer Verarbeitungs- und Steuerungseinheit 16, beispielsweise einem Auswertecomputer, verbunden. Zwischen der Infrarotstrahlungsquelle 12 und dem Werkstück 10 ist eine schwenkbare Blende 20 vorgesehen, die in eine das Werkstück 10 von der Infra­ rotstrahlungsquelle 12 abschaffende Position und eine andererseits das Werkstück 10 vollständig der Infrarotstrahlung von der Infrarotstrahlungsquelle 12 aussetzende Position hin- und herschwenkbar ist.
Nachfolgend werden das Thermographieverfahren, nach dem die Vorrichtung betrieben wird, sowie die der Thermographiemessung nach dem Verfahren zugrundeliegenden physikalischen Vorgänge und Zusam­ menhänge genau erläutert und beschrieben.
Die beschriebene Vorrichtung mit einer IR-Flächenstrahlungseinrichtung mit ei­ ner IR-Thermographiekamera dient gleichzeitig zur Kalibrierung, Vermessung und Korrektur der Emissivitäten an großflächigen Teilen. Die Thermographieeinrichtung wird unmittelbar dort zum Einsatz kommen, wo die thermisch zu vermessenden Werkstücke beispielsweise über ein Förderband oder eine Transfereinrichtung im er­ wärmten Zustand nach dem Umformprozeß ausgegeben werden. Durch einen extern angebrachten Infrarotflächenstrahler wird eine Infrarotstrahlung auf das Werkstück gestrahlt. Diese Strahlung wird vom Werkstück reflektiert und mit einer konventionel­ len Infrarotkamera aufgenommen. Im nächsten Schritt wird der Infrarotflächenstrahler über eine Blende ausgeblendet und nur die vom Werkstück abgestrahlte Wär­ mestrahlung und reflektierte Störstrahlung mit der Infrarotkamera gemessen. Durch eine einmalig durchzuführende Kalibrierung der Vorrichtung und eine Subtraktion mit und ohne eingeschobene Blende der Strahlungsanteile können die lokalen Emissivitä­ ten bestimmt werden.
Die Bestimmung der Emissivitäten erfolgt nach der folgenden Berechnungsvorschrift.
Nachfolgend werden die verwendeten Kurzbezeichnungen definiert.
T(i,j) wahre Kelvintemperatur an der Stelle (i, j)
T(i,j),ref bekannte Referenz-Kelvintemperatur an der Stelle (i, j)
T(i,j),ref,ang angezeigte Referenz-Kelvintemperatur an der Stelle (i, j) bei homogenem Emissionskoeffizienten
ε(i,j) spektraler Emissionskoeffizient an der Stelle (i, j)
ε(i,j),ref spektraler Referenz-Emissionskoeffizient an der Stelle (i, j)
ρ(i,j) spektraler Reflexionskoeffizient an der Stelle (i, j)
Pr,(i,j) reflektierter, raumwinkelabhängiger Strahlungsanteil
Pr,(i,j),ref reflektierter, raumwinkelabhängiger Referenz-Strahlungsanteil
Pe,(i,j) eingestrahlter Strahlungsanteil
Po,(i,j) Strahlungsanteil verursacht durch Oberflächentemperatur T(i,j)
Po,(i,j),ref Referenzstrahlungsanteil verursacht durch Oberflächentemperatur T(i,j)
σ Stefan-Bolzmann-Konstante
εk Emissionskoeffizient (an Kamera eingestellt)
Dem Berechnungsverfahren liegt folgender physikalischer Zusammenhang zugrunde.
Für nicht transparente Flächen gilt:
ε(i,j) = 1 - ρ(i,j) (1)
mit
Pr,(i,j) ist der unter einem bestimmten Raumwinkel beobachtete, an der Stelle (i, j) re­ flektierte Strahlungsanteil der bei (i, j) eingestrahlten Strahlungsleistung Pe(i,j).
Ist aus einer Kalibrierung der Strahlungsanteil Pe,(i,j) bekannt und wird der von den Oberflächeneigenschaften der Stelle (i, j) abhängige reflektierte Anteil Pr(i,j) gemessen, so kann leicht der örtliche Emissionskoeffizient ε(i,j) nach den Gleichungen (1) und (2) errechnet werden.
Wird in einer zweiten Messung im gleichen Spektralbereich wie Pr,(i,j) nur der von der Oberflächentemperatur verursachte Strahlungsanteil P0,(i,j) gemessen, so kann über die Stefan-Boltzmannsche Beziehung:
die wahre Temperatur T(i,j) an der Stelle (i, j) berechnet werden.
Die Messung des Reflexionsanteils Pr,(i,j) und des Temperaturstrahlungsanteils Po,(i,j) im gleichen Spektralbereich ist automatisch gegeben, wenn beide Anteile z. B. mit ei­ ner gleichen Kamera gemessen werden.
Wie bereits erwähnt, ist es notwendig, den vom Meßaufbau und den Eigenschaften des Flächenstrahlers abhängigen Strahlungsanteil Pe,(i,j) durch eine einmalige - für den Meßaufbau dann immer gültige - Kalibriermessung zu ermitteln. Hierzu wird bei gegebenem Meßaufbau in der Ebene des Meßobjektes eine Referenzoberfläche mit bekannter homogener Oberflächentemperatur T(i,j),ref und einem homogenen Emissi­ onskoeffizienten ε(i,j),ref angeordnet. Mittels der Thermographiekamera wird zuerst bei ausge­ schaltetem Flächenstrahler der Temperaturstrahlungsanteil Po,(i,j),ref für alle Flächen­ punkte (i, j) bestimmt. Dazu wird ein Thermographiebild aufgenommen. Nach (3) gilt:
Aufgrund der Kenntnis von T(i,j),ref kann ε(i,j),ref und letztlich Po,(i,j),ref ermittelt werden. Ist der Koeffizient ε(i,j),ref a priori bekannt, kann auf das Thermobild verzichtet werden. Nach Zuschalten des Flächenstrahlers wird ein zweites Thermobild aufgenommen. Die in diesem Thermobild angezeigte Temperatur T(i,j),ang resultiert aus der Bezie­ hung:
Daraus kann die Summe der Strahlungsanteile:
Po(i,j),ref + Pr(i,j),ref (6)
berechnet und, da Po(i,j),ref bekannt ist, kann der Reflexionsanteil Pr,(i,j),ref für alle Pi­ xel bestimmt werden. Der durch diesen Kalibriervorgang zu bestimmende eingestrahl­ te Strahlungsanteil Pe,(i,j) ergibt sich dann aus (1) und (2) zu:
Bei der Messung wird wie folgt verfahren:
Es werden nacheinander von der zu inspizierenden Oberfläche zwei Thermobilder aufgenommen, eines bei ausgeschaltetem und eines bei eingeschaltetem Flächen­ strahler.
In Fig. 2 sind die bei eingeschaltetem Flächenstrahler auftretenden Strahlungsleistun­ gen veranschaulicht. Wenn der Flächenstrahler ausgeschaltet oder abgeschaltet wird, entfallen die Anteile Pe,(i,j) und Pr(i,j).
An der Kamera wird ein beliebiger, aber für beide Aufnahmen gleicher Emissionskoef­ fizient εk eingestellt.
Die im ersten Thermographiebild angezeigten Temperaturen ohne Einstrahlung der IR-Strahlung folgen der Beziehung:
Daraus kann für alle Pixel Po,(i,j) berechnet werden.
Die im zweiten Thermographiebild angezeigten Temperaturen folgen der Beziehung:
Daraus kann für alle Pixel der Wert Po,(i,j) + Pr,(i,j) berechnet werden.
Durch die Subtraktion der Strahlungsanteile ergibt sich Pr,(i,j).
Der gesuchte örtliche Emissionskoeffizient ε(i,j) kann dann unter Verwendung des aus der Kalibrierung bekannten eingestrahlten Strahlleistungsanteils Pe,(i,j) nach (1) und (2) bestimmt werden zu:
In einem Versuch wurden die Emissionskoeffizienten und berichtigten Oberflächen­ temperaturen ortsaufgelöst für ein Werkstück ermittelt. Die Ergebnisse sind jeweils in den Fig. 3 und 4 dargestellt.
In Fig. 3 ist in dem zweidimensionalen Darstellungsfeld eine Konturauftragung der un­ korrigierten Temperaturverteilung vor Bestimmung der lokalen Emissionkoeffizienten der Werkstückoberfläche gezeigt. Oberhalb bzw. rechts von der Konturauftragung sind eindimensionale Temperaturprofile entlang einer senkrechten bzw. horizontalen Schnittlinie durch die Konturauftragung entlang der Linien S1 bzw. S2 dargestellt.
In Fig. 4 ist ein ähnliches Diagramm wie in Fig. 3 gezeigt, bei dem jedoch die lokalen Temperaturen der Werkstückoberfläche durch Berücksichtigung der korrekten Emis­ sionskoeffizienten korrigiert sind.
Bei der Versuchsmessung wurde ein Tiefziehteil mit der Bezeichnung ST14, das ca. 1 bis 2 m von der Infrarotstrahlungsquelle und der Thermographiekamera entfernt angeordnet war, untersucht. Es wurden die Emissionskoeffizienten ortsaufgelöst über eine Fläche von 140 mm × 140 mm des Werkstücks ermittelt. Auf dem Werkstück waren mit ver­ schiedenen Materialien behandelte Bereiche vorhanden. In einem Bereich B1 war die Oberfläche des unbehandelten Werkstücks freiliegend. Der Emissionskoeffizient für das Werkstück ergibt sich aus der Literatur zu ε = 0,143. In einem Bereich B2 war ein schwarzes Kunststoffband auf dem Werkstück aufgeklebt, das einen nominellen Emissionskoeffizienten von ε = 0,95 aufweist. In einem Bereich 83 war ein Schmier­ stoff der Bezeichnung "Pro-Stanz 2000" vorhanden. In einem Bereich B4 war ein ähn­ licher Schmierstoff mit der Bezeichnung "Raziol ECLF 100" aufgetragen. In einem Be­ reich B5 war schließlich Graphitstaub auf dem Werkstück vorgesehen.
Durch Vergrößerung des Abstands der IR-Strahlungsquelle vom Meßobjekt läßt sich die Meßfläche erhöhen. Die zuvor dargestellte Versuchsmessung mit der Korrektur in den Emissionskoeffizienten läßt sich am besten im Temperaturbereich von 300 bis 400 Kelvin durchführen. Bei vorhandener Kalibrierung ist das Verfahren unempfind­ lich gegen Temperaturschwankungen der Werkstückoberfläche.
In Fig. 3 ist der Praxisfall dargestellt, der zeigt, welche Temperaturfehler auftreten können, wenn beispielsweise für die gesamte Werkstückoberfläche der konstante Emissionskoeffizient von 0,9 eingestellt wird. Die Spannweite der Oberflächentempe­ ratur beträgt hier 27 Kelvin.
In Fig. 4 ist das Meßfeld nach der hier dargestellten Methode bezüglich der lokalen Emissivität korrigiert worden. Das Ergebnis ist ein Thermographiebild mit einer nahezu konstanten Oberflächentemperatur. Die Spannweite der Oberflächentemperatur be­ trägt nur noch 5 Kelvin. Das in Fig. 4 dargestellte Temperaturprofil gibt ein wesentlich realistischeres Bild der wahren Temperaturverteilung wieder.

Claims (9)

1. Verfahren zur thermographischen Untersuchung eines Werkstückes mit den Schrit­ ten:
  • - Bestrahlen des Werkstückes mit einem Strahlungsanteil Pe(i,j) einer flächigen Infra­ rotstrahlungsquelle,
  • - Flächiges, pixelweises Erfassen der vom Werkstück emittierten Infrarotstrahlung, zum einen bei unterbrochener Einstrahlung von der Infrarotstrahlungsquelle zum Er­ halt des von der Oberflächentemperatur T(i,j) herrührenden Strahlungsanteiles Po,(i,j), zum anderen bei anliegender Einstrahlung von der Infrarotstrahlungsquelle zum Er­ halt des von der Oberflächentemperatur T(i,j) herrührenden Strahlungsanteiles Pe(i,j), und des von der Oberfläche des Werkstückes reflektierten, raumwinkelabhängigen Strahlungsanteiles Pr(i,j),
  • - Bestimmung des reflektierten, raumwinkelabhängigen Strahlungsanteiles Pr(i,j) durch Differenzbildung der beiden vorstehend erfaßten Strahlungsanteile,
  • - Pixelweises Bestimmen des Emissionskoeffizienten ε(i,j) nach
    wobei Pe(i,j) der aus einem vorgeschalteten Kalibriervorgang bekannte, eingestrahlte Strahlungsanteil ist, und
  • - Berechnen der wahren Temperatur T(i,j) nach
    wobei σ die Stefan-Boltzmann Konstante ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück eine Kalibrierprobe mit bekannten Eigenschaften ist.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit:
einer flächigen Infrarotstrahlungsquelle (12),
einer zweidimensional-ortsauflösenden Thermographiekamera (14),
einer Verarbeitungs- und Steuereinheit (16) mit Mitteln (Blende 20) zum Unterbrechen der von der Infrarotstrahlungsquelle (12) herrührenden Infrarotstrahlung, zum Speichern und zur mathematischen Auswertung.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungs- und Steuereinheit (16) eine Unterbrechungsvorrichtung (Blende 20) ansteuert, die den Wärmestrahlungsfluß zwischen der Infrarotstrahlungsquelle (12) und dem Werkstück (10) über die gesamte zu bestrahlende Werkstückoberfläche freigibt oder abschaltet.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbei­ tungs- und Steuereinheit (16) ein Speichermittel zur Speicherung erfaßter Thermo­ graphiebilder enthält und eine Vorrichtung zur Kalibrierung einer von der Infrarot­ strahlungsquelle (12) eingestrahlten Infrarotstrahlungsdichteverteilung.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Infrarotstrahlungsquelle (12) einen flächigen massiven Körper zur Aussendung von Infrarotflächenstrahlung aufweist, der durch eine elektrische Heizvorrichtung (13) erwärmbar ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterbrechungsvorrichtung eine Blende (20) ist, die zwischen der Infrarotstrahlungs­ quelle (12) und dem Werkstück (10) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterbrechungs­ vorrichtung die elektrische Heizvorrichtung (13) wahlweise ein- oder ausschaltet.
9. Verwendung des Verfahrens nach Anspruch 1 und der Vorrichtung nach Anspruch 3 zur Ermittlung nicht stationärer Veränderungen der Werkstückoberfläche, insbeson­ dere bei Warm-, Halbwarm- und Kaltformprozessen.
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