KR100239839B1 - 재료상의 층 또는 재료의 표면 구조 두께의 무접촉온-라인측정방법및측정장치 - Google Patents

재료상의 층 또는 재료의 표면 구조 두께의 무접촉온-라인측정방법및측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에서는 측정 동안 표면의 온도를 일정하게 유지하면서 적외선 방사기(2)에 의해 경사지게 입사되는 적외선으로 재료 표면상의 측정 영역(4)을 열적으로 조사한다. 반사된 적외선이 적외선 온도계의 측정 영역내로 입사되도록 측정 영역위에 배열된 적외선 온도계(3)에 의해 반사된 열적 방사선의 온도가 측정된다. 적외선 온도계의 측정 범위내에 위치된 재료 표면의 전체 영역은 열적으로 조사되게 된다. 재료의 표면 상태에 따라 반사된 적외선의 측정된 온도 변화는 비교 장치(7)에 저장된다. 상기 비교 장치(7)는 소정 표면 상태에 대한 설정값이 공급된다. 초기에는 알지 못했던 그 표면 상태에 관한 재료 표면의 적외선 온도가 측정되어 저장된 온도 변화와 비교되며, 표면 파라미터의 크기를 결정한다. 이에 따라 얻어진 값과 공급된 설정값으로부터 차이를 나타내는 신호가 형성되고, 비교 장치(7)의 출력부(8)를 경유하여 재료 처리 장치의 제어부(9)로 공급된다.

Description

재료상의 층 또는 재료의 표면 구조 두께의 무접점 온라인 측정 방법 및 측정 장치
제1도는 본 발명에 따른 측정 장치를 도시한 개략도.
제2도는 산화 알루미늄 표면으로부터 반사된 IR 방사선(infrared rays radiation)의 측정된 온도와, 조면화된 알루미늄 스트립상의 산화 알루미늄 층의 산화 알루미늄 웨이트(weight) 사이의 관계를 도시하는 다이아그램.
제3도는 투과성 플라스틱 필름으로부터 반사된 IR 방사선의 필름 두께에 따른 온도 변화를 도시하는 제2도와 유사한 다이아그램.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 측정 장치 2 : 적외선 방사기
3 : 적외선 온도계 4 : 측정 영역
5 : 재료 6 : 강철 롤
7 : 비교 장치 8 : 출력부
9 : 제어부
본 발명은 판이나 스트립 형상의 재료상의 층이나 재료의 두께 또는 표면 구조를 접촉하지 않은 상태에서 온라인(on-line) 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
질감 파라미터(texture parameter)는 금속 표면의 매우 중요한 특성이다. 이는 표면 조도(roughness)로 표현하는 것이 일반적이며, 실제 측정된 조도 프로파일 구획상의 광범위한 데이터는 예로서, 정점대 골 높이(pick-to-valley height ; Ra)및 평균 정점대 골 높이(Rz) 등의 몇몇 특성 변수로 정리된다.
조도 측정에 있어서, 전체 표면을 연속적으로 주사(scan) 및 측정할 필요는 없다. 적절한 통계적인 결과를 얻어낼 수 있을 정도의 측정치만 있으면 충분하다. 급속 이동 재료의 경우에는 온라인 측정으로 조도를 검출하는 것이 매우 곤란하다. 종래의 스타일러스 방법(stylus method)은 20m/min 이상의 속도에서는 만족스러운 결과를 얻어낼 수 없다. 따라서, 이런 온라인 측정은 광학적인 방법으로 수행되어 왔다.
예를 들면, 뮌헨의 메저즈. 지크 게엠베하 옵티크-일렉트로니크(Messrs. GmbH Optik-Elektronik)에서 발표한 "조름(SORM; Sick Optisches Rauheitsmess system)"에는 연속적인 공정 제어용 온라인 측정 기구로서 금속 가공 산업 분야에 사용되는 조도 측정 기구가 개시되어 있다. 상기 측정 기구는 반도체 레이저를 사용하여 재료 표면상에 미세한 레이저 측정빔을 발생시킨다. 광 스파트(spot)의 직경은 대략 10㎛이다. 표면 구조는 충돌되는 광을 표면 패시트(facet)의 플랭크 각도(flank angle)에 따라 소정의 방향으로 반사시킨다. 반사의 기본 방향이 레이저 다이오드 수신기에 의해 검출되고, 각도 의존 아날로그 신호로 변환된다. 상기 아날로그 신호는 디지털화되고, 플랭크 각도 데이터에 근거하여 상기 표면 레벨 프로파일이 재계산되어 결과적인 정보가 얻어진다. 따라서, 기계적 측정치에 유사한 프로파일 특성치가 원 데이터(raw data)로서 얻어진다. 그후, 이 원 데이터가 상용의 방식에 의해 평가되어 Ra, Rz 등의 표준화된 조도 변수가 결정되어 출력되게 된다. 이러한 측정의 경우에 있어서, 표면으로부터 후방 산란된(back-scattered) 강도 분포는 레이저광 둘레에 환형으로 배열된 광 수신기에 할당되어 있는 다수의 렌즈를 경유하여 산란빔 형태가 된다. 상기 광수신기 배열은 PSD 센서(position sensitive detector sensor) 형태로 연결된다. 산란빔의 수렴 방향은 각 측정지점에서 직접 측정된다. 따라서, 각 표면 패시트의 측면 경사도가 각 표면 측정 지점에서 광학적으로 결정된다. 측정 헤드 아래쪽의 측정면이 이동될 때, 표면 프로파일은 백-인테 그레이션(back-integration)에 의해 계산된다. 조도 측정 영역은 Ra 0.05에 대해 2.5㎛에 달하며, 재료의 속도는 0.3 내지 30m/sec 범위이다. 이러한 측정 기구는 광학적 측정 헤드가 반도체 레이저 뿐만 아니라 수신기 배열과, 광학적 측정 헤드를 교정하기 위한 자동 초점 장치와, 신호 처리 수단을 포함하여야 하기 때문에 매우 복잡해진다. 더욱이, 두 개의 플로피 디스크 드라이브와, 복수개의 광학적 측정 헤드용 인터페이스와, 중앙 처리 유닛을 구비한 평가 컴퓨터가 필요하다.
뮌휀의 메저스. 로덴스토크(Messrs. Rodenstock)에서 발표한 "프로필메쓰플라쯔 알엠 600 2-데(Profilmmessplatz RM 600 2-D; Profile Measuring Station RM 600 2-D)에는 0.02㎛에서 600㎛ 사이의 표면 구조를 신속하게 접촉하지 않은 상태로 검출할 수 있는 표면 측정 시스템인 RM 600이 개시되어 있다. 상기 측정 시스템은 세 개의 주 부품을 포함하고 있으며, 이는 컬러 스크린과 프린터 및 소프트웨어패키지를 구비한 제어 컴퓨터와, 광학적 거리 센서와, 선형 또는 X/Y 진행 유니트이다. 시스템의 가장 주된 부품은 광학적 센서이다. 상기 광학적 센서는 최소 0.002㎛에서 최대 600㎛ 사이의 거리에서 직경이 1 또는 2㎛인 레이저 초점에 의해 변화를 등록한다. 측정시에, 측정 대상물은 균일하게 센서를 통과하게 된다. 따라서, 측정값이 레벨 프로파일 형태를 형성하고, 이는 측정되어 제어 컴퓨터에 의해 그래픽으로서 출력될 수 있다. 적합한 중간 단계를 거쳐서 조도, 굴곡율 등의 독립적인 표면 파라미터를 파악하는 것이 가능하다.
상기 광학적 거리 센서는 적외선 레이저로 작동하고, 이 빔은 측정 대상물의 표면상에 초점 형성된다. 센서의 형태에 따라서, 직경이 1 또는 2㎛인 광 스파트가 측정면상에 생성되고, 센서에서 초점 검출기상으로 이미지 형성된다. 측정 표면으로부터의 거리가 변경된다면, 상기 검출기는 자동 초점 보정 수단에 대해 제어 신호를 공급한다. 그런 다음, 레이저 빔이 측정 목적의 표면상에 다시 정확히 초점형성될 때까지, 플런저 코일 시스템이 상기 목표물을 변위시킨다.
초점 거리가 일정하기 때문에, 상기 목표물의 운동은 측정 표면의 레벨 변화에 정확히 대응한다. 상기 목표물의 각 위치는 유도 센서에 의해 검출되어 측정 신호를 제공하며, 이는 측정면의 반사 특성에 대해 독립적이다.
이러한 표면 측정 시스템은 고속으로 이동하는 재료의 측정을 위해서는 적합하지 않다.
재료의 표면 구조와는 별개로, 그 표면 상태도 이런 재료의 가공 제어에 사용될 수 있는 품질 특성이다. 표면 상태는 특히, 자외선 또는 적외선 범위에서 입사선에 대한 표면의 확산 반사값 또는 반사율을 결정한다. 예를 들어, 알루미늄 스트립 또는 알루미늄 판의 표면상에 있는 알루미늄 산화층의 두께는 재료 표면상에 입사된 적외선의 반사율을 결정하는 파라미터이다.
또한, 이는 예로서, 판의 프린팅시에 알루미늄 스트립이나 알루미늄 판상에 피복되게 되는 감광성 물질층 등의 상이한 조성물층에도 동일한 방식으로 적용된다. 상기 표면상에 있는 상기 재료의 피복 두께가 증가될 때, 상기 표면은 반사 성능이 손실되고, 반사된 적외선 또는 열적 방사선이 감소된다.
예를 들어, 플라스틱 필름과 같은 투명 재료의 경우에는 재료의 두께가 증가할 때 상기 표면상의 반사율이 감소한다.
본 발명의 목적은 재료 표면을 향한 방사선의 반사 작용에 기초하여 단순한 방식으로 산화물 웨이트(weight)에 의해 결정되는 표면 상태를 결정하거나, 표면층의 층 두께 또는 재료의 두께를 결정할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은 본 발명에 따라서 재료를 측정 영역 전반에서 측정 지점을 일정한 온도로 유지하고, 상기 영역을 경사지게 입사되는 적외선에 노출시키며, 재료 표면상의 측정 영역으로부터 반사된 적외선의 온도를 측정함에 의해 달성된다.
본 발명의 방법에 있어서, 적외선 방사기의 온도를 일정하게 유지하면서 상이한 표면 구조에 대하여 상기 표면으로부터 반사된 적외선의 온도가 측정되고, 따라서, 반사된 적외선의 온도 변화가 재료의 표면 구조에 따라 결정된다.
본 발명에 따른 방법의 다른 변용에 있어서, 반사된 적외선의 측정된 온도는 온도의 설정값과 비교되고, 상기한 바와 같은 비교로부터 재료 표면의 처리를 제어하기 위한 신호가 얻어진다. 재료는 일정한 온도에서, 측정 지점이 적외선 방사기에 의해 조사되며, 그 온도 범위는 373 내지 393K인 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 방법의 다른 특징은 청구범위 제4항 내지 제8항의 형상으로부터 얻어진다.
표면 구조나 판 또는 스트립 형상의 재료층 또는 재료의 두께를 접촉하지 않은 상태로 온라인 측정하기 위한 장치는 적외선 방사기와, 적외선 온도계를 포함하는 것과, 적외선 방사기의 입사 적외선 경로가 측정 영역내의 재료의 표면상에 경사지게 안내된다는 것을 특징으로 한다. 상기 측정 장치는 재료가 그 위로 통과하는 강철 롤 위에 설치되고, 상기 강철 롤 자체는 가열된다. 부가적으로, 상기 측정 장치는 비교 장치를 포함하며, 상기 비교장치에는 재료 표면에서 반사된 적외선의 온도 변화가 저장되며, 상기 온도 변화는 층 두께, 산화물 웨이트 등의 표면구조에 종속하거나, 재료 두께에 종속한다. 온도의 설정값은 비교 장치로 공급되며, 각각의 온도 측정값과 비교되어, 상이한 신호로부터 제어 신호를 획득하게 되며, 상기 비교 장치의 출력부는 재료 처리 장치에 연결되어 있다.
본 발명을 첨부된 도면을 참조로 하여 하기에 상세히 설명한다.
판 또는 스트립 형상 재료(5)상의 층의 두께 또는 표면 구조에 대한 무접점 온라인 측정 장치(1)는 적외선 방사기(2)와 적외선 온도계(3)를 포함한다. 적외선 방사기(2)의 입사 적외선(10) 경로는 측정 영역(4) 내의 재료 표면상에 경사지게 안내된다. 측정 영역(4)은 강철 롤(6) 상부에 배치되고, 강철 롤 상부로 재료(5)가 통과한다. 강철 롤(6)은 100℃(373K) 이상의 온도로 가열되어 유지되고, 상기 온도는 100℃(373K) 내지 120℃(393K)의 온도 범위인 것이 바람직하다.
적외선 온도계(3)는 비교 장치(7)에 전기적으로 연결되어 있고, 층 두께, 산화물 웨이트 등의 표면 구조에 종속하는, 또는 재료 두께에 종속하는 재료 표면으로부터 반사된 적외선(11)의 온도 변화가 저장된다. 비교장치(7)의 출력부(8)는 재료(5) 처리 장치의 제어기(9)에 연결되어 있다. 도시되어 있지 않은 처리 장치는 예를 들어, 알루미늄 스트립이 통과하는 산성 전해조(acid bath)일 수 있다. 비교 장치(7)의 출력 신호에 의하여 산성 전해조내의 산 농도를 규제함으로써, 조면화가공(roughening), 궁극적으로는 스트립의 알루미늄 표면상에 발생되는 산화물 층의 산화물 웨이트를 현저히 일정하게 유지할 수 있다.
비교 장치(7)로 공급된 온도 측정값은 온도의 설정값과 비교되고, 일치하는 경우에는 출력부(8)를 경유하여 출력 신호가 얻어지지 않는다. 설정값과 순간적인 온도 측정값이 상이한 경우에만 비교 장치(7)로부터 출력 신호가 얻어지며, 그후, 상기 출력 신호는 재료 처리 장치를 제어하도록 사용된다.
예로서, 전류 변화 또는 알루미늄 스트립이 통과하는 산성 전해조의 농도 변화나, 상이한 속도 또는 재료의 상이함으로 인해 알루미늄 표면상에 상이한 조도가 발생된다면, 재료 표면의 확산 반사율이 변화된다. 이 변화는 적외선 온도계에 의해 온도 변화로서 검출되고, 처리 장치를 제어하기 위해 사용된다. 이러한 측정 방법을 위한 선행 조건은 면의 조도 또는 표면상에 적용된 감광성층(5b)의 두께, 즉, 표면상에 전개된 산화물층(5b)의 산화물 웨이트에 관련하여 상이한 표면 상태를 나타내는 특정 재료(5)에 대하여, 표면 상태 또는 표면 구조의 함수로써의 온도 변화가 경험적으로 결정되어야 한다는 것이다. 이런 온도 변화는 표면 상태나 표면 구조가 상이한 경우에 재료 표면의 확산 반사율과 동일하다. 상기 층(5b)은 기판(5a)상에 위치되어 있다.
적외선 방사기(2)의 표면 온도는 측정 동안에 일정하게 예를 들어, 200℃(473K)로 유지된다. 측정 영역(4)내의 측정면 상의 열적 방사선이나 경사지게 입사된 적외선은 입사 적외선(10)의 경로내에서 반사되며, 적외선 온도계(3)의 측정 범위 영역내에 있는 표면의 전체 측정 영역은 373 내지 393K 범위로 열적으로 조사된다.
측정 방법은 적외선 방사기(2)의 반사된 열적 방사선은 방사선이 충돌하는 재료 표면의 표면 상태나 표면 구조에 종속한다는 사상을 기초로 한다. 예로서, 비산화면은 산화 알루미늄 면보다 열적 방사선을 많이 반사한다. 알루미늄 표면상에 산화물 층이 두꺼울 때는 충돌하는 열적 방사선을 덜 반사한다. 따라서, 산화물층의 두께는 재료 표면의 확산 반사율 또는 반사율을 결정한다. 측정 방법은 알루미늄 표면상에 있는 알루미늄 산화층을 결정하는 것 뿐만 아니라, 피복되지 않은 상태에서 적외선을 양호하게 반사하는 표면을 가진 모든 재료, 즉, 모든 파장에 대해 흡수성을 가지고 있는 것으로 공지되어 있는 흑체(black-body)를 제외한 재료로 구성되는 재료에 사용될 수 있다. 이런 재료가 더 큰 반사계수나 확산 반사값을 가지는 층에 피복되는 경우, 즉, 표면상의 이런 층의 두께가 증가되는 경우에, 표면의 반사율 및 반사된 열적 방사선은 감소된다. 즉, 측정된 온도는 감소된다. 알루미늄 스트립에 감광성 층이 적용되는 프린팅 플레이트의 생산시에는 예로서, 감광성 층도포 유닛 이후에 드라잉 영역의 하류에서 측정된다. 피복 두께가 증가함에 따라 측정된 적외선의 온도는 감소된다.
또한, 상기 측정 방법은 투과성 필름 웨브(web)의 두께를 결정하기 위해서도 사용될 수 있다. 이를 위해, 측정 장치는 강철 롤(6) 위에 설치되고, 상기 강철 롤(6)은 필름 신장 설비내에서 거울처럼 매끄러운 면을 가지고, 매우 낮은 흡수율을 가지며, 생산 공정시에 그 위로 상기 필름 웨브가 운송되게 되어 있다.
제2도 및 제3도는 알루미늄 스트립의 산화 알루미늄 웨이트(g/㎡)와 폴리에스테르 필름의 필름 두께(㎛)에 대한 반사 온도(℃)를 참조로한 반사된 적외선의 측정 온도의 종속을 도시한 다이아그램이다. 제2도에 따른 다이아그램의 경우에, 측정 설비의 적외선 방사기(2)의 온도는 200℃에서 일정하게 유지되고, 알루미늄 스트립은 염화수소산의 산성 전해조를 통과한다.
상기 다이아그램에 도시된 바와 같이, 반사 적외선의 온도는 산화물 웨이트가 증가할 때 감소된다. 이러한 온도 변화는 특정 조성의 알루미늄 스트립에 대하여 특성 변수 또는 칼리브레이팅 곡선(calibrating curve)으로서 상기 비교 장치(7)에 저장된다. 적외선 온도와 알루미늄 스트립상에 있는 알루미늄 산화층의 반사된 적외선 방출 온도가 측정된다면, 산화층의 두께는 저장된 온도 변수와 비교에 의해 결정된다. 산화층 두께의 값이 필요한 설정값으로부터 벗어난다면, 상향 또는 하향으로 편차의 측정을 표현하는 비교 장치의 출력 신호가 처리 장치를 제어하기 위해 사용된다. 필요에 따라, 산 농도가 증가 또는 감소되거나, 또는 산성 전해조를 통과하는 알루미늄 스트립의 주행 속도가 변경된다. 필요한 산화층 두께를 위한 값이 달성될 때까지 적합한 산성 전해조에서 전극에 적용되는 전류를 변경할 수도 있다.
제3도의 다이아그램은 필름 두께(㎛)에 대한 폴리에스테르 필름으로부터 반사된 적외선 방출 온도의 종속에 관한 것으로, 제2도의 다이아그램과 유사한 변화를 도시한 것이다. 이 경우에, 폴리에스테르 필름은 반사성(bright) 강철 롤위로 이동된다.폴리에스테르 필름은 예를 들어, 적외선 방출에 의해 373K 내지 393K의 온도로 유지된다. 필름 두께가 증가함에 따라, 반사 적외선의 측정 온도는 감소된다. 이러한 온도 변화는 동일한 측정 조건하에서 경사지게 투사된 적외선에 노출되는 상이한 두께의 폴리에스테르 필름에 대해 기록되고, 반사 적외선의 온도는 적외선 온도계(3)에 의해 기록된다. 그런 다음 이러한 측정 온도 곡선은 특성 곡선을 형성하고, 이는 반사된 적외선(11)의 측정 온도에 기초하여 측정된 폴리에스테르 필름의 두께를 결정하도록 사용될 수 있다. 이러한 두께가 입력부(12)를 경유하여 비교 장치(7)로 공급된 설정값과 상이한 경우에, 차이를 나타내는 신호가 필름 장치를 위한 제어 신호로써 비교장치(7)의 출력부(8)에서 산출된다. 이러한 제어 신호의 작동 명령에 의존하여, 상기 필름은 종방향과 횡방향으로 또는 종방향으로만 대량 또는 소량 신장된다.
본 발명의 장점은 투과성 필름의 경우에, 산화물 층 웨이트, 적용된 층 두께 또는 재료 두께로 인한 표면 상태와 열적 방사선에 대한 재료 표면의 반사율 사이의 관게가 적은 비용 및 간단한 방법으로 장치에 사용될 수 있다는 것이다. 사용된 적외선 방사기와 적외선 온도계는 모두 상업적으로 이용 가능한 장치이다.

Claims (11)

  1. (정정) 반사된 적외선을 측정하는 측정 장치(3)의 측정 범위내에 위치된 재료 표면의 소정 측정 영역(4)을 일정한 온도로 유지하면서 적외선 방사기(2)의 경사진 입사 적외선(10)에 대해 노출시키고, 재료 표면상의 측정 영역으로부터 반사된 적외선(11)의 온도를 측정하고, 적외선 방사기(2)의 온도를 일정하게 유지하면서 재료(5)의 상이한 표면 구조 또는 두께에 대하여 상기 표면으로부터 반사된 적외선의 온도를 측정하여 설정된 칼리브레이팅 곡선(calibrating curve)과, 상기 측정된 온도를 비교하는 재료상의 층(5b) 또는 재료(5)의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  2. (정정) 제1항에 있어서, 상기 반사 적외선(11)의 측정된 온도는 온도의 설정값과 비교되고, 상기 비교로부터, 재료 표면의 처리를 제어하는 신호가 얻어지는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  3. (정정) 제1항에 있어서, 상기 측정 영역(4)내의 재료(5)는 적외선 방사기(2)에 의해 일정한 온도의 적외선(10)으로 조사되며, 상기 일정한 온도는 373 내지 393K 범위인 것이 바람직한 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  4. (정정) 제1항에 있어서, 상기 재료 표면의 측정 영역(4)을 입사 적외선(10)으로 경사지게 조사하는 적외선 방사기(2)의 표면 온도는 측정 작업 동안 일정하게 유지되게 되는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  5. (정정) 제1항에 있어서, 표면이 피복되지 않은 상태에서 적외선에 대해 높은 반사율을 가지는 재료(5)상의 층(5b) 두께를 측정하는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  6. (정정) 제5항에 있어서, 상기 재료(5)는 표면에 산화 알루미늄 층이 있는 알루미늄을 포함하고, 상기 재료의 표면 상태를 결정하는 상기 산화 알루미늄 층의 두께를 측정하는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  7. (정정) 제5항에 있어서, 상기 재료(5)는 표면에 감광성 층이 피복된 알루미늄이고, 상기 감광성 층의 두께를 측정하는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  8. (정정) 제1항에 있어서, 상기 재료(5)는 플라스틱 필름을 포함하고, 상기 플라스틱 필름의 두께를 측정하는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  9. (정정) 적외선 방사기(2)와, 적외선 온도계(3) 및 비교 장치(7)를 포함하고, 적외선 방사기의 입사 적외선(10)의 경로는 소정 측정 영역(4)내의 재료 표면상에 경사지게 안내되고, 적외선 온도계(3)의 측정 범위내에 위치된 재료 표면의 전체 측정 영역(4)이 373 내지 393K 범위의 적외선에 노출되고, 상기 비교 장치(7)에는 산화물 웨이트나 층 두께 등의 표면 구조나 재료 두께애 따른 재료 표면으로부터 반사된 적외선의 온도 변화량이 저장되어 있으며, 상기 비교 장치(7)에 의해 반사된 적외선(11)의 온도가 저장된 온도 변화량과 비교되어 측정된 온도에 대응하는 재료 두께나 표면 구조를 결정하는 재료 상의 층(5b) 또는 재료의 두께(5)나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  10. (정정) 제9항에 있어서, 반사성의 가열된 강철 롤(6; bright heated steel roll)을 포함하고, 상기 경사지게 입사되는 적외선에 노출되는 재료(5)는 상기 강철 롤(6) 위를 통과하는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 방법.
  11. (정정) 제9항에 있어서, 온도의 설정값은 측정 장치에 연결된 비교 장치(7)로 공급되고, 각 측정된 온도값과 비교되어 편차 신호로부터 제어 신호가 얻어지고, 상기 비교 장치(7)의 출력부(8)는 재료 처리 장치의 제어부(9)에 연결되어 있는 재료 상의 층 또는 재료의 두께나 표면 구조의 무접점 온라인 측정 장치.
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