DE19907804C1 - Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern - Google Patents
Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von PrüfkörpernInfo
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Abstract
Bei einer Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern auf der Grundlage des photothermischen Effekts ist vorgesehen, Quotienten aus mittels Integraltransformation durch ein Integraltransformationsglied (25) bestimmten Frequenzmeßamplituden zu gemessenen zeitlichen Meßsignalen und auf der Grundlage einer Modellierung berechneten Frequenzmodellamplituden durch ein Optimierglied (32) über Parametervariation aneinander anzupassen. Dadurch lassen sich unbekannte, die thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften des jeweiligen Prüfkörpers bestimmende, insbesondere auch gekoppelte Parameter ermitteln.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung von thermo
sensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern mit
einem Meßsignalspeichermodul, in dem ein zu induzierter Wärme
strahlung zugeordnetes periodisches Meßsignal abspeicherbar ist, mit
einem Modulationssignalspeichermodul, in dem ein einem Intensitäts
modulator eingespeistes Ansteuersignal zur Intensitätsmodulation
einer Anregungsstrahlung zugeordnetes Modulationssignal ein
speicherbar ist, und mit einem Auswertemodul, mit dem über eine
Integraltransformation des Meßsignals thermosensitive und opto
sensitive Eigenschaften des jeweiligen Prüfkörpers bestimmbar sind.
Eine derartige Vorrichtung ist aus dem Artikel "Quantitative Photo
thermal Radiometric and FT-IR Photoacoustic Measurements of
Specialty Papers" von J. A. Garcia, A. Mandelis, M. Marinova et al. ,
erschienen in der Zeitschrift Applied Spectroscopy, Vol. 52, Nummer
9, Seiten 1222 bis 1229, aus dem Jahr 1998 bekannt. In diesem
Artikel ist eine Einrichtung zur Untersuchung eines als Spezialpapier
beispielsweise für Banknoten ausgebildeten Prüfkörpers auf der
Grundlage des photothermischen Effekts beschrieben, bei der zur
Bestimmung von thermischen Diffusivitäten und Leitfähigkeiten sowie
Absorptions- und Emissionskoeffizienten als thermosensitive und
optosensitive Eigenschaften des Spezialpapiers ein als akusto
optischer Modulator ausgebildeter Intensitätsmodulator vorgesehen
ist, mit dem Anregungsstrahlung über eine sinusförmige Ansteuerung
harmonisch intensitätsmodulierbar ist. Ein induziertes, durch die
Anregungsstrahlung hervorgerufener Wärmestrahlung zugeordnetes,
durch eine Detektionsanordnung gewonnenes periodisches Meßsignal
ist in einem Meßsignalspeichermodul einer als Signalverarbeitungs
einheit ausgebildeten Vorrichtung zur Bestimmung der oben ge
nannten thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften ab
speicherbar. Weiterhin verfügt die vorbekannte Signalverarbeitungs
einheit über ein Modulationssignalspeichermodul, dem ein dem
Intensitätsmodulator eingespeisten Ansteuersignal zugeordnetes
Modulationssignal einspeicherbar ist. Mit einem Auswertemodul der
Signalverarbeitungseinheit sind über eine Integraltransformation des
Meßsignals die oben genannten thermosensitiven und optosensitiven
Eigenschaften bei verhältnismäßig genauer Kenntnis experimenteller
Parameter wie beispielsweise der Dicke des Spezialpapiers, der
Ausgestaltung der Optik sowie des Frequenzgangs der Detektions
anordnung bestimmbar. Diese experimentellen Parameter müssen
allerdings verhältnismäßig aufwendig insbesondere auch bei jeder
Veränderung im Aufbau der Einrichtung bestimmt werden.
Aus dem Artikel "Laser photothermal diagnostics of genuine and
counterfeit British and Unites States banknotes" von A. Othonos, A.
Mandelis; M. Nestoros et al. , erschienen in Opt. Eng. 36 (2), Februar
1997, Seiten 400 bis 407, ist bekannt, zur Eliminierung der optischen
und elektrischen Eigenschaften einer Einrichtung zur Untersuchung
eines als Banknote ausgebildeten Prüfkörpers auf der Grundlage des
photothermischen Effekts bestimmenden Parameter ein normiertes
Meßsignal aus der Division der Meßsignale von einer Banknote und
einer als Stahlplatte ausgebildeten Referenzprobe zu bilden. Nunmehr
sind unter Eliminierung der Einflüsse gleichbleibender Geräte
parameter sowie Umgebungsbedingungen die hier interessierenden
thermischen Diffusivitäten und Leitfähigkeiten sowie Absorptions- und
Emissionskoeffizienten als thermosensitive und optosensitive Eigen
schaften bestimmbar. Nachteilig bei dieser Vorrichtung ist allerdings,
daß der Aufbau verhältnismäßig aufwendig ist sowie schwankende
Umgebungsbedingungen nicht erfaßbar sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der
eingangs genannten Art anzugeben, mit der thermosensitive und
optosensitive Eigenschaften, insbesondere die Schichtdicke einer
Deckschicht eines Prüfkörpers, ohne aufwendige Kalibrierarbeiten bei
einem einfachen Aufbau einer mit der Vorrichtung ausgestatteten
Einrichtung zur Untersuchung von Prüfkörpern auf der Grundlage des
photothermischen Effekts auch bei unvollständiger Kenntnis anderer,
nicht zu bestimmender thermosensitiver und optosensitiver Eigen
schaften verhältnismäßig genau bestimmbar sind.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art
erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Auswertemodul über ein
mit dem Modulationssignalspeichermodul und dem Meßsignal
speichermodul verbundenes Integraltransformationsglied, mit dem ein
wenigstens zwei Frequenzkomponenten aufweisendes Meßsignal in
einen Frequenzraum als Frequenzmeßamplituden integraltrans
formierbar ist, über ein dem Integraltransformationsglied nach
geordnetes Transformiertendivisionsglied, mit dem wenigstens ein
Quotient aus zwei Frequenzmeßamplituden bestimmbar ist, und über
ein dem Transformiertendivisionsglied nachgeordnetes Optimierglied
verfügt, mit dem durch eine Parametervariation wenigstens ein einem
Quotienten aus Frequenzmeßamplituden zugeordneter Quotient von
entsprechenden Frequenzmodellamplituden, die auf der Grundlage
eines parametrisierten Prüfkörpermodells berechnet worden sind, so
veränderbar ist, daß innerhalb vorbestimmter Fehlergrenzen durch
Vergleich der jeweiligen Quotienten ein Satz von thermosensitive und
optosensitive Eigenschaften des jeweiligen Prüfkörpers repräsen
tierender Parameter bestimmbar ist.
Dadurch, daß mittels des Optimierglieds über Vergleich von einander
entsprechenden Quotienten aus Frequenzmeßamplituden und
Frequenzmodellamplituden ein Satz von thermosensitive und opto
sensitive Eigenschaften des jeweiligen Prüfkörpers repräsentierender
Parameter unter Eliminierung von Geräteparametern und schwanken
den Umgebungsbedingungen bestimmbar ist, lassen sich bei einer
Messung unbekannte, insbesondere auch gekoppelte Parameter
bestimmen und zu Zwecken der Bestimmung anderer unbekannter
Parameter bei einer anderen Messung gleichen Typs als bekannte
Größen verwenden.
Beispielsweise ist bei einer Meßaufgabe, eine unbekannte Schicht
dicke einer als Lackschicht mit unbekannten thermosensitiven und
optosensitiven Eigenschaften hinsichtlich der Absorption und
Emission ausgebildeten Deckschicht eines Prüfkörpers zu bestimmen,
in einem Kalibriermodus zunächst eine Kalibrierprobe mit bekannter
Schichtdicke der Deckschicht zur Bestimmung der die Absorption und
Emission bestimmenden thermosensitiven und optosensitiven Eigen
schaften, insbesondere die Diffusivitäten, die optische Eindringtiefe
und die Effusivitätskontraste vermeßbar. Anschließend ist in einem
Prüfmodus der Vorrichtung eine Meßprobe mit einer unbekannten
Schichtdicke der Deckschicht als Prüfkörper zur Bestimmung dieser
Schichtdicke unter Verwendung der im Kalibriermodus bestimmten
Parameter vermeßbar.
Ein weiterer bemerkenswerter Vorteil liegt darin, daß bei Änderungen
an einer die erfindungsgemäße Vorrichtung aufweisenden Einrichtung
zur Untersuchung eines Prüfkörpers auf der Grundlage des photo
thermischen Effekts, beispielsweise bei Austausch von optischen oder
elektronischen Bauelementen, die unter Umständen eine herkömm
liche Auswertung des Meßsignals ohne aufwendige Nachkalibrierung
nachhaltig beeinflussen würden, keinerlei Nachkalibrierung aufgrund
geänderter Geräteparameter erforderlich ist, da sich diese bei der
Quotientenbildung selbst aufheben.
Bei einer zweckmäßigen Weiterbildung weist das Auswertemodul der
erfindungsgemäßen Vorrichtung ein Statistikglied auf, mit dem für
eine Anzahl von Perioden der Intensitätsmodulation während eines
Meßzyklus aus den oder jeden Quotienten von Frequenzmeß
amplituden jeweils eine Varianz berechenbar ist, die jeweils dem
Optimierglied einspeisbar ist. Durch die damit erzielte Gewichtung der
experimentell bestimmten Quotienten hinsichtlich ihrer Fehler wird die
Stabilität bei der Bestimmung der Parameter verbessert.
Weiterhin ist bei einer weiteren zweckmäßigen Ausgestaltung der
erfindungsgemäßen Vorrichtung beziehungsweise der oben ge
nannten Weiterbildung vorgesehen, daß Mittel zum Schalten zwischen
einem Kalibriermodus einem Prüfmodus vorgesehen sind. Dadurch ist
ein verhältnismäßig einfacher Aufbau zur Durchführung einer Be
stimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften
einerseits einer Kalibrierprobe als Prüfkörper zur Ermittlung eines
Satzes von unbekannten Parametern und andererseits einer Meß
probe als Prüfkörper zur Ermittlung eines anderen Satzes von un
bekannten Parametern unter Berücksichtigung der mit der Kalibrier
probe ermittelten Parameter ermöglicht.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der letztgenannten Aus
gestaltung verfügt das Auswertemodul über einen Kalibrierparameter
speicher, in dem Parameter und Schätzwerte einer Kalibrierprobe als
Prüfkörper abspeicherbar sind. Der Kalibrierparameterspeicher ist im
Kalibriermodus mit dem Optimierglied verbindbar. Dadurch ist im
Kalibriermodus in verhältnismäßig einfacher und stabiler Weise eine
Bestimmung der bei der Kalibrierprobe unbekannten Parameter
erreicht.
Bei der oben genannten Ausgestaltung beziehungsweise deren
vorteilhaften Weiterbildung ist vorteilhafterweise ein Kalibrierfrequenz
speicher vorgesehen, in dem zur Ansteuerung eines Intensitäts
modulators im Kalibriermodus vorgesehene Kalibrierfrequenzen
abspeicherbar sind. Dadurch erfolgt die Bestimmung der bei der
Kalibrierprobe unbekannten Parameter nach einem repetitiven
Schema. Dabei ist insbesondere bei in ihren thermosensitiven und
optosensitiven Eigenschaften verhältnismäßig wenig variierenden
Prüfkörpern vorgesehen, daß in dem Kalibrierfrequenzspeicher feste
Kalibrierfrequenzen abspeicherbar sind. Variieren voraussichtlich die
thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften der Prüfkörper
verhältnismäßig stark, ist zweckmäßig, daß ein dem Kalibrierfrequenz
speicher vorgeschaltetes Kalibrierintervallbestimmungsmodul vor
gesehen ist, mit dem im Kalibriermodus iterativ ein Frequenzbereich
bestimmbar ist, in dem die Kalibrierfrequenzen liegen. Vorzugsweise
weist dabei der in dem letzten Iterationsschritt festgelegte Frequenz
bereich ein Extremum und einen Wendepunkt in wenigstens einer aus
Quotienten von Frequenzmeßamplituden gebildeten Quotientenkurve
auf.
Besonders vorteilhaft ist es im Hinblick auf eine einfache Bestimmung
von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften, wenn bei der
erfindungsgemäßen Vorrichtung beziehungsweise einer der oben
genannten Weiterbildungen beziehungsweise Ausgestaltungen das
Integraltransformationsglied zur Durchführung einer Fouriertrans
formation eingerichtet ist.
Für ein gutes Signal/Rauschverhältnis ist zweckmäßig, daß wenig
stens die Quotienten aus Frequenzmeßamplituden beziehungsweise
Frequenzmodellamplituden bei der Grundfrequenz sowie einem
niedrigen Vielfachen der Grundfrequenz mit intensiven Frequenz
amplituden bildbar sind. Bei einer rechteckförmigen Intensitäts
modulation sind hierzu zweckmäßigerweise Quotienten aus Frequenz
meßamplituden beziehungsweise Frequenzmodellamplituden bei der
Grundfrequenz sowie dem Dreifachen, dem Fünffachen beziehungs
weise dem Siebenfachen der Grundfrequenz bildbar.
Bei der Vorrichtung erfindungsgemäßen Vorrichtung beziehungsweise
einer der zweckmäßigen Weiterbildungen beziehungsweise Aus
gestaltungen ist im Hinblick auf möglichst genaue Ergebnisse in
einem Prüfmodus vorteilhafterweise ein Prüffrequenzbestimmungs
modul vorgesehen, mit dem aus dem minimalen Wert von Be
stimmungswerten auf der Grundlage von Ableitungen von Quotienten
von Frequenzmeßamplituden eine optimale Prüffrequenz zur Be
stimmung der Schichtdicke einer Deckschicht des Prüfkörpers be
stimmbar ist.
Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegen
stand der Unteransprüche sowie der nachfolgenden Beschreibung
eines Ausführungsbeispiels unter Bezug auf die Figuren der
Zeichnung. Es zeigen:
Fig. 1 in einer schematischen Darstellung eine Einrichtung zur
Untersuchung von Prüfkörpern auf der Grundlage des
photothermischen Effekts mit einer als Signal
verarbeitungseinheit ausgebildeten Vorrichtung gemäß
der Erfindung,
Fig. 2 in einem Blockschaubild den Aufbau einer Signal
verarbeitungseinheit für eine Einrichtung gemäß Fig. 1
und
Fig. 3 in einem Blockschaubild eine Weiterbildung der Signal
verarbeitungseinheit gemäß Fig. 2.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Einrichtung zur
Untersuchung eines Prüfkörpers auf der Grundlage des photo
thermischen Effekts. Die Einrichtung gemäß Fig. 1 verfügt über eine
vorzugsweise als sogenannter Laser ausgebildete Lichtquelle 1 als
Wärmequelle, die in dem dargestellten Ausführungsbeispiel konti
nuierliche Anregungsstrahlung 2 emittiert. Die kontinuierliche
Anregungsstrahlung 2 beaufschlagt einen Intensitätsmodulator 3, mit
dem die Intensität der kontinuierlichen Anregungsstrahlung 2 bei ein
stellbaren Modulationsfrequenzen so modulierbar ist, daß den Inten
sitätsmodulator 3 passierende intensitätsmodulierte Anregungs
strahlung 4 im Frequenzraum wenigstens zwei dominante Frequenz
komponenten aufweist.
Beispielsweise ist der Intensitätsmodulator 3 als sogenannter
chopper, das heißt eine Drehscheibe mit regelmäßigen Aus
nehmungen, ausgebildet, mit dem intensitätsmodulierte Anregungs
strahlung 4 mit einem im wesentlichen rechteckförmigen zeitlichen
Intensitätsverlauf generierbar ist. In anderen Ausführungen ist der
Intensitätsmodulator 3 als elektrooptisch arbeitendes Bauelement
ausgeführt, mit dem beispielsweise intensitätsmodulierte Anregungs
strahlung 4 mit einem sägezahnartigen zeitlichen Intensitätsverlauf
erzeugbar ist.
Es versteht sich, daß insbesondere elektrooptisch arbeitende Inten
sitätsmodulatoren 3 auch innerhalb der Lichtquelle 1 angeordnet sein
können, so daß die Lichtquelle 1 unmittelbar intensitätsmodulierte
Anregungsstrahlung 4 emittiert. Weiterhin kann die Intensitäts
modulation durch eine Strommodulation bei der Energieversorgung
der Lichtquelle 1 erzeugt werden.
Die intensitätsmodulierte Anregungsstrahlung 4 beaufschlagt bei der
in Fig. 1 dargestellten bestimmungsgemäßen Verwendung der Ein
richtung einen Prüfkörper 5. Der Prüfkörper 5 ist beispielsweise aus
einem verhältnismäßig dicken Substrat 6, einer Zwischenschicht 7
sowie einer der intensitätsmodulierten Anregungsstrahlung 4 zu
gewandten und von dieser beaufschlagten Deckschicht 8 aufgebaut.
Bei einem weiteren typischen Aufbau eines Prüfkörpers 5 ist lediglich
ein verhältnismäßig dickes Substrat 6 sowie eine Deckschicht 8
vorgesehen. Eine typische Meßaufgabe besteht nunmehr darin, auf
der Grundlage des photothermischen Effekts die Dicke der beispiels
weise als Lackschicht von Automobilkarossen oder zugehörigen
Anbauteilen ausgebildeten Deckschicht 8 zu bestimmen.
Hierzu ist die Einrichtung gemäß Fig. 1 mit einer im infraroten
Spektralbereich sensitiven Detektionseinheit 9 ausgestattet, mit der
die Intensität von von dem Prüfkörper 5 rückgeworfener induzierter
Wärmestrahlung 10 erfaßbar und als zeitliche Meßsignale über einen
Verstärker 11 in einer Intensitätssignalleitung 12 einer als Signal
verarbeitungseinheit 13 ausgebildeten erfindungsgemäßen Vor
richtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven
Eigenschaften eines Prüfkörpers 5 einspeisbar ist. Die Signal
verarbeitungseinheit 13 ist weiterhin über eine Triggerleitung 14 an
den Intensitätsmodulator 3 angeschlossen, über die der Signal
verarbeitungseinheit 13 für den Intensitätsverlauf der intensitäts
modulierten Anregungsstrahlung 4 charakteristische Triggersignale
beispielsweise jeweils bei Beginn einer neuen Periode einspeisbar
sind. Über eine Frequenzleitung 15 ist die Signalverarbeitungseinheit
13 an eine mit dem Intensitätsmodulator 3 in Verbindung stehende
Modulatoransteuereinheit 16 angeschlossen. Mit der Modulator
ansteuereinheit 16 ist die Modulationsfrequenz des Intensitäts
modulators 3 einstellbar. Schließlich steht die Signalverarbeitungs
einheit 13 über eine Ein/Ausgabeleitung 17 mit einer
Ein/Ausgabeeinheit 18 in Verbindung.
Fig. 2 zeigt in einem Blockschaubild den Aufbau einer Signal
verarbeitungseinheit 13 für eine Einrichtung gemäß Fig. 1. Die
Signalverarbeitungseinheit 13 verfügt über einen Analog/Digital-
Wandler 19, an dessen Eingang die Intensitätssignalleitung 12 gelegt
ist. Mit dem Analog/Digital-Wandler 19 sind die zeitlichen Meßsignale
aus dem an die Detektionseinheit 9 angeschlossenen Verstärker 11
digitalisierbar. Der Ausgang des Analog/Digital-Wandlers 19 ist an ein
erstes Meßsignalschaltglied 20 gelegt, mit dem von einer in Fig. 2
nicht dargestellten Zentralsteuereinheit gesteuert die digitalisierten
zeitlichen Meßsignale bei Stellung in einem Kalibriermodus in einen
Kalibriersignalspeicher 21 oder bei Stellung in einem Prüfmodus
gemäß Fig. 2 in einen Prüfsignalspeicher 22 einspeicherbar sind, die
ein Meßsignalspeichermodul bilden. Die jeweiligen Ausgänge des
Kalibriersignalspeichers 21 beziehungsweise des Prüfsignalspeichers
22 sind über ein ebenfalls von der Zentralsteuereinheit gesteuertes
zweites Meßsignalschaltglied 23 auf einen ersten Eingang eines
Auswertemoduls 24 schaltbar.
Das Auswertemodul 24 verfügt über ein Integraltransformationsglied
25, dem über einen ersten Eingang die digitalisieren zeitlichen Meß
signale aus dem Kalibriersignalspeicher 21 beziehungsweise dem
Prüfsignalspeicher 22 einspeisbar sind. Über einen zweiten Eingang
sind dem Integraltransformationsglied 25 die in einem als Modula
tionssignalspeichermodul dienenden Periodenlängenspeicher 26
abspeicherbaren, für den Intensitätsverlauf der intensitätsmodulierten
Anregungsstrahlung 4 charakteristischen Triggersignale aus dem
Intensitätsmodulator 3 einspeisbar, die die Periodenlänge bei der
Intensitätsmodulation der kontinuierlichen Anregungsstrahlung 2
beinhalten. Mit dem Integraltransformationsglied 25 sind beispiels
weise unter Verwendung der Fouriertransformation die zeitlichen
Meßsignale für jede Periode der Intensitätsmodulation in als
Frequenzmeßamplituden in einen Frequenzraum integraltransformier
bar. Dem Integraltransformationsglied 25 ist ein Transformierten
speicher 27 nachgeordnet, im dem die Frequenzmeßamplituden für
jede Periode abspeicherbar sind.
Nach einem Meßzyklus bei einer Modulationsfrequenz mit einer
bestimmten Anzahl von Perioden ist von der Zentralsteuereinheit
gesteuert der Inhalt des Transformiertenspeichers 27 einem Trans
formiertendivisionsglied 28 des Auswertemoduls 24 einspeisbar. Mit
dem Transformiertendivisionsglied 28 sind Maxima der
Frequenzmeßamplituden an für die Intensitätsmodulation der inten
sitätsmodulierten Anregungsstrahlung 4 und damit der induzierten
Wärmestrahlung 10 charakteristischen Frequenzwerten unter Bildung
von Quotienten dividierbar. Im Hinblick auf ein gutes
Signal/Rauschverhältnis finden vorzugsweise bei jeder Quotienten
bildung die Frequenzmeßamplitude bei der Grundfrequenz, das heißt
die Frequenz der Intensitätsmodulation durch den Intensitäts
modulator 3, sowie weiterhin Frequenzmeßamplituden bei niedrigen
Vielfachen der Grundfrequenz Berücksichtigung. Bei einer im wesent
lichen rechteckförmigen Intensitätsmodulation sowie einer
Fouriertransformation durch das Integraltransformationsglied 25
werden somit beispielsweise Quotienten aus der Frequenzmeß
amplitude bei der Grundfrequenz sowie die Frequenzmeßamplitude
bei dem Dreifachen, dem Fünffachen und dem Siebenfachen der
Grundfrequenz gebildet.
Die ermittelten Quotienten sind von dem Transformiertendivisionsglied
28 zum einen unter Mittelung gleichartiger Quotienten einem Quo
tientenspeicher 29 zur Abspeicherung und zum anderen einzeln
einem Statistikglied 30 einspeisbar. Mit dem Statistikglied 30 sind für
die Anzahl von Perioden während eines Meßzyklus aus den oder
jeden gleichartigen Quotienten von Frequenzmeßamplituden jeweils
eine Varianz berechenbar und einem Varianzenspeicher 31 einspeisbar.
Das Auswertemodul 24 verfügt weiterhin über ein Optimierglied 32,
dem der oder jeder Quotient aus dem Quotientenspeicher 29 sowie
zur Berücksichtigung der Fehler aufgrund des Rauschens die oder
jede Varianz aus dem Varianzenspeicher 31 einspeisbar sind. Mit
dem Optimierglied 32 ist beispielsweise auf der Grundlage des Gauß-
Newton-Algorithmus bei einem sogenannten multi-parameter fitting,
das heißt einer Vielparameteroptimierung, unter Berechnung von für
die bei dem photothermischen Effekt ablaufenden physikalischen
Prozesse sowie für den Meßvorgang charakteristischen Parametern
ein Funktional minimierbar, das entsprechend der Anzahl von
Quotienten in dem Quotientenspeicher 29 Differenzen aus einem
Quotient von Frequenzmeßamplituden und einem entsprechenden
Quotient von Frequenzmodellamplituden enthält. Dabei sind die
Frequenzmodellamplituden auf der Grundlage einer mathematisch-
physikalischen Modellierung der bei dem photothermischen Effekt
ablaufenden physikalischen Prozesse sowie des Meßvorgangs bei der
Einrichtung gemäß Fig. 1 berechnet worden.
An das Optimierglied 32 sind von der Zentralsteuereinheit gesteuert
über ein Parameterschaltglied 33 an einem Eingang ein Kalibrier
parameterspeicher 34 beziehungsweise ein Prüfparameterspeicher 35
zuschaltbar. Weiterhin sind an das Optimierglied 32 die
Ein/Ausgabeleitung 17 sowie an einem Ausgang weiterhin ein Opti
mierschaltglied 36 angeschlossen, das im Kalibriermodus dem Prüf
parameterspeicher 35 die von dem Optimierglied 32 bei der Opti
mierung berechneten Parameter einspeist.
Im Kalibriermodus sind mit dem Optimierglied 32 auf der Grundlage
der im dem Kalibrierparameterspeicher 34 abgelegten Parameter,
beispielsweise der Anzahl der Schichten sowie Schätzwerte für eine
optische Eindringtiefe, thermischen Schichtdicken sowie Effusivitäts
kontrasten bei bekannter Schichtdicke der Deckschicht 8 einer Kali
brierprobe als Prüfkörper 5, für das mathematisch-physikalische
Modell sowie der mit der Kalibrierprobe bei verschiedenen Kalibrier
frequenzen aufgenommenen Meßsignalen in der Vielparameter
optimierung die freien Parameter verhältnismäßig genau berechenbar.
Als verhältnismäßig gute Schätzungen haben sich Parameter her
ausgestellt, die denen von Polyvinylchlorid (PVC) angenähert sind.
Die optimierten freien Parameter sind abschließend dem Optimier
parameterspeicher 35 einspeisbar.
Im Prüfmodus sind mit dem Optimierglied 32 auf der Grundlage von
bei einer bestimmten Prüffrequenz aufgenommenen zeitlichen Meß
signalen sowie der zuvor in dem Kalibriermodus optimierten freien
Parametern nunmehr unbekannte Schichtdicken von Deckschichten 8
von Meßproben als Prüfkörper 5 bestimmbar und beispielsweise der
Ein/Ausgabeeinheit 18 einspeisbar.
Die Signalverarbeitungseinheit 13 weist weiterhin ein Prüffrequenz
bestimmungsmodul 37 auf, das eingangsseitig mit dem Varianzen
speicher 31 und dem Optimierparameterspeicher 35 in Verbindung
steht. Mit dem Prüffrequenzbestimmungsmodul 37 ist in einer weiter
unten näher erläuterten Art und Weise eine optimale Prüffrequenz zur
Bestimmung von unbekannten Schichtdicken berechenbar. Diese
Prüffrequenz ist einem Prüffrequenzspeicher 38 einspeisbar.
Neben dem Prüffrequenzspeicher 38 weist die Signalverarbeitungs
einheit 13 einen Kalibrierfrequenzspeicher 39 auf, in dem eine Anzahl
von im Kalibriermodus einzustellenden Kalibrierfrequenzen ab
gespeichert sind.
Der Ausgang des Prüffrequenzspeichers 38 und der Ausgang des
Kalibrierfrequenzspeichers 39 sind Eingängen eines Modulations
frequenzschaltglieds 40 zugeführt, mit dem von der Zentralsteuer
einheit gesteuert einem Modulationsfrequenzgeber 41 der Signal
verarbeitungseinheit 13 entweder die Prüffrequenz oder die Kali
brierfrequenzen einspeisbar sind. Der Modulationsfrequenzgeber 41
ist über die Frequenzleitung 15 an die Modulatoransteuereinheit 16
zur Steuerung der Modulationsfrequenz des Intensitätsmodulators 3
angeschlossen.
Im Kalibriermodus wird von der Zentralsteuereinheit gesteuert der
Intensitätsmodulator 3 mit einer Abfolge von beispielsweise 30 Kali
brierfrequenzen mit Werten beispielsweise zwischen 1 Hertz und 300
Hertz beaufschlagt. Über wenigstens etwa 20 Perioden werden bei
jeder Kalibrierfrequenz Meßsignale aufgenommen und in dem Kali
briersignalspeicher 21 zwischengespeichert. Bei entsprechender
Synchronisation erfolgt im Kalibriermodus vorzugsweise bereits noch
während der Aufnahme von zeitlichen Meßsignalen die bereits oben
erläuterte Weiterverarbeitung in dem Auswertemodul 24.
Am Ende des Kalibriermodus erfolgt die oben bereits erwähnte Be
stimmung der Prüffrequenz. Hierzu wird bei den Kalibrierfrequenzen
jeweils die Ableitung eines Quotienten von Frequenzmeßamplituden,
beispielsweise aus dem Wert der Frequenzmeßamplitude bei der
Grundfrequenz zu dem Wert der Frequenzmeßamplitude bei dem je
nach Intensitätsmodulation auftretenden nächsthöheren Vielfachen
der Grundfrequenz, nach dem Parameter der bei der Kalibrierprobe
bekannten und bei den Meßproben zu bestimmenden Schichtdicke
multipliziert mit der Varianz des Quotienten bei der betreffenden
Kalibrierfrequenz als Bestimmungswert berechnet. Die optimale
Prüffrequenz liegt bei dem niedrigsten Bestimmungswert, der vorzugs
weise durch Interpolation zwischen den tatsächlich ermittelten Be
stimmungswerten ermittelt wird.
Als Randbedingung ist bei bewegten Meßproben als Prüfkörper 5 zu
beachten, daß als Prüffrequenz nur Frequenzen in Betracht kommen,
bei denen während einer Periode der Intensitätsmodulation der von
der Detektionseinheit 9 erfaßte Bereich vollständig innerhalb eines
durch die intensitätsmodulierte Anregungsstrahlung 4 beaufschlagten
Bereichs liegt. Liegt die ermittelte Prüffrequenz unterhalb einer ent
sprechenden Minimalfrequenz, wird die Prüffrequenz als niedrigster
Bestimmungwert aus den Frequenzen ermittelt, die größer als die
Minimalfrequenz sind.
Fig. 3 zeigt in einem Blockschaubild eine Weiterbildung der Signal
verarbeitungseinheit 13 gemäß Fig. 2, die zweckmäßigerweise in
Fällen zum Einsatz kommt, in denen die Materialien und/oder Dicken
insbesondere der oder jeder Zwischenschicht 7 beziehungsweise der
Deckschicht 8 von Prüfkörpern 5 variieren. Bei den Signal
verarbeitungseinheiten 13 sind sich entsprechende Bauelemente mit
den gleichen Bezugszeichen versehen und im Zusammenhang mit
der Beschreibung von Fig. 3 nicht näher erläutert. Die Signal
verarbeitungseinheit 13 gemäß Fig. 3 verfügt zusätzlich über ein
Kalibrierintervallschaltglied 42 und ein Kalibrierintervallbestimmungs
modul 43, die zwischen dem Quotientenspeicher 29 und dem Kali
brierfrequenzspeicher 39 angeordnet sind. Das Kalibrierintervallschalt
glied 42 und das Kalibrierintervallbestimmungsmodul 43 dienen im
Kalibriermodus zur Bestimmung eines durch eine niedrigste Modula
tionsfrequenz und eine höchste Modulationsfrequenz für die An
regungsstrahlung 4 gekennzeichneten optimierten Kalibrierintervalls.
Dabei ist ein optimiertes Kalibrierintervall dadurch definiert, daß es ein
Extremum und einen Wendepunkt in wenigstens einer aus Quotienten
von Frequenzmeßamplituden gebildeten Quotientenkurve mit be
stimmten, über die Frequenzwerte bei dem Extremum beziehungs
weise bei dem Wendepunkt hinausgehenden Frequenzabschnitten
aufweist.
Im Kalibriermodus erfolgt zunächst eine iterative Bestimmung des
Kalibrierintervalls. Ausgehend von in dem Kalibrierintervall
bestimmungsmodul 43 abgelegten Schätzwerten für eine niedrigste
Modulationsfrequenz und eine höchste Modulationsfrequenz erfolgt
zunächst die Ansteuerung des Intensitätsmodulators 3 mit einer
Abfolge von Kalibrierfrequenzen, die vorzugsweise äquidistant
zwischen den Schätzwerten für die niedrigste Modulationsfrequenz
beziehungsweise für die höchste Modulationsfrequenz liegen. An
schließend werden wie oben beschrieben die Quotienten aus den
Frequenzmeßamplituden bestimmt.
Mit dem Kalibrierintervallbestimmungsmodul 43 ist nunmehr bestimm
bar, ob innerhalb des durch die Schätzwerte für die niedrigste Modula
tionsfrequenz beziehungsweise für die höchste Modulationsfrequenz
begrenzten Frequenzbereichs in wenigstens einer Quotientenkurve
ein Extremum und ein Wendepunkt liegen. Ist dies der Fall, wird mit
der Kalibrierung gemäß der in Zusammenhang mit Fig. 2 erläuterten
Vorgehensweise zur Bestimmung der Prüffrequenz fortgefahren.
Liegen hingegen kein Extremum und kein Wendepunkt innerhalb des
durch die Schätzwerte für die niedrigste Modulationsfrequenz be
ziehungsweise die höchste Modulationsfrequenz bestimmten
Frequenzbereichs, so sind mit dem Kalibrierintervallbestimmungs
modul 43 in einem ersten Iterationsschritt erste Iterationswerte für die
niedrigste Modulationsfrequenz beziehungsweise die höchste Modula
tionsfrequenz beispielsweise durch Vergrößerung des Frequenz
bereichs über die bei dem vorgenannten Schritt verwendeten Schätz
werte für die niedrigste Modulationsfrequenz beziehungsweise die
höchste Modulationsfrequenz hinaus bestimmbar. Anschließend
erfolgt die Ansteuerung des Intensitätsmodulators 3 mit einer Abfolge
von dem Kalibrierfrequenzspeicher 39 einspeisbaren Kalibrier
frequenzen, die vorzugsweise äquidistant zwischen den ersten Itera
tionswerten für die niedrigste Modulationsfrequenz beziehungsweise
für die höchste Modulationsfrequenz liegen. In dem ersten Iterations
schritt ist nunmehr mit dem Kalibrierintervallbestimmungsmodul 43 die
Prüfung auf das Vorhandensein eines Extremums sowie eines
Wendepunkts in wenigstens einer Quotientenkurve zwischen den
ersten Iterationswerten für die niedrigste Modulationsfrequenz be
ziehungsweise die höchste Modulationsfrequenz durchführbar. Ist dies
der Fall, wird nunmehr mit der Kalibrierung gemäß der in Zusammen
hang mit Fig. 2 erläuterten Vorgehensweise zur Bestimmung der
Prüffrequenz fortgefahren.
Liegen hingegen auch nach dem ersten Iterationsschritt kein Ex
tremum und kein Wendepunkt innerhalb des durch die ersten Itera
tionswerte für die niedrigste Modulationsfrequenz beziehungsweise
die höchste Modulationsfrequenz bestimmten Frequenzbereichs, so
sind mit dem Kalibrierintervallbestimmungsmodul 43 in weiteren
Iterationsschritten weitere Iterationswerte für die niedrigste Modula
tionsfrequenz beziehungsweise die höchste Modulationsfrequenz
beispielsweise jeweils durch Vergrößerung des Frequenzbereichs
über die bei dem jeweils vorangehenden Iterationsschritt verwendeten
Iterationswerte für die niedrigste Modulationsfrequenz beziehungs
weise die höchste Modulationsfrequenz hinaus bestimmbar, bis
entweder innerhalb eines Frequenzbereichs ein Extremum sowie ein
Wendepunkt in wenigstens einer Quotientenkurve vorliegen und in der
im Zusammenhang mit der Erläuterung zu Fig. 2 beschriebenen Vor
gehensweise zur Bestimmung der Prüffrequenz fortgefahren werden
kann oder ein vorbestimmter Minimalwert beziehungsweise ein vor
bestimmter Maximalwert für die Modulationsfrequenzen überschritten
sind.
Sind der Minimalwert sowie der Maximalwert für die Modulations
frequenzen überschritten, wird mittels des Kalibrierintervall
bestimmungsmoduls 43 der durch Randwerte begrenzte Frequenz
bereich so festgelegt, daß an den Randwerten wenigstens eine
Quotientenkurve jeweils ein Extremum aufweist. Anschließend wird
mit der im Zusammenhang mit der Beschreibung zu Fig. 2 erläuterten
Vorgehensweise zur Bestimmung der Prüffrequenz fortgefahren.
Claims (12)
1. Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und opto
sensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern (5) mit einem
Meßsignalspeichermodul, in dem ein zu induzierter Wärme
strahlung (10) zugeordnetes periodisches Meßsignal ab
speicherbar ist, mit einem Modulationssignalspeichermodul, in
dem ein einem Intensitätsmodulator (3) eingespeistes An
steuersignal zur Intensitätsmodulation einer Anregungs
strahlung (2, 4) zugeordnetes Modulationssignal einspeicher
bar ist, und mit einem Auswertemodul, mit dem über eine
Integraltransformation des Meßsignals thermosensitive und
optosensitive Eigenschaften des jeweiligen Prüfkörpers (5)
bestimmbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Aus
wertemodul (24) über ein mit dem Modulationssignalspeicher
modul (26) und dem Meßsignalspeichermodul (21, 22) ver
bundenes Integraltransformationsglied (25), mit dem ein
wenigstens zwei Frequenzkomponenten aufweisendes Meß
signal in einen Frequenzraum als Frequenzmeßamplituden
integraltransformierbar ist, über ein dem Integraltrans
formationsglied (25) nachgeordnetes Transformierten
divisionsglied (27), mit dem wenigstens ein Quotient aus zwei
Frequenzmeßamplituden bestimmbar ist, und über ein dem
Transformiertendivisionsglied (27) nachgeordnetes Optimier
glied (32) verfügt, mit dem durch eine Parametervariation
wenigstens ein einem Quotienten aus Frequenzmeß
amplituden zugeordneter Quotient von entsprechenden
Frequenzmodellamplituden, die auf der Grundlage eines
parametrisierten Prüfkörpermodells berechnet worden sind,
so veränderbar ist, daß innerhalb vorbestimmter Fehler
grenzen durch Vergleich der jeweiligen Quotienten ein Satz
von thermosensitive und optosensitive Eigenschaften des
jeweiligen Prüfkörpers (5) repräsentierender Parameter be
stimmbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Auswertemodul (24) ein Statistikglied (30) aufweist, mit
dem für eine Anzahl von Perioden der Intensitätsmodulation
während eines Meßzyklus aus den oder jeden Quotienten von
Frequenzmeßamplituden jeweils eine Varianz berechenbar
ist, die jeweils dem Optimierglied (32) einspeisbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß Mittel (20, 23, 33, 36, 40) zum Schalten
zwischen einem Kalibriermodus einem Prüfmodus vor
gesehen sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
das Auswertemodul (24) über einen Kalibrierparameter
speicher (34) verfügt, in dem Parameter und Schätzwerte
einer Kalibrierprobe als Prüfkörper (5) abspeicherbar sind,
und daß der Kalibrierparameterspeicher (34) im Kalibrier
modus mit dem Optimierglied (32) verbindbar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein Kalibrierfrequenzspeicher (39) vorgesehen
ist, in dem zur Ansteuerung eines Intensitätsmodulators (3) im
Kalibriermodus vorgesehene Kalibrierfrequenzen abspeicher
bar sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
in dem Kalibrierfrequenzspeicher (39) feste Kalibrier
frequenzen abspeicherbar sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
ein dem Kalibrierfrequenzspeicher (39) vorgeschaltetes
Kalibrierintervallbestimmungsmodul (43) vorgesehen ist, mit
dem im Kalibriermodus iterativ ein Frequenzbereich bestimm
bar ist, in dem die Kalibrierfrequenzen liegen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
der in dem letzten Iterationsschritt festgelegte Frequenz
bereich ein Extremum und einen Wendepunkt in wenigstens
einer aus Quotienten von Frequenzmeßamplituden gebildeten
Quotientenkurve aufweist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß das Integraltransformationsglied (25) zur
Durchführung einer Fouriertransformation eingerichtet ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens die Quotienten aus
Frequenzmeßamplituden beziehungsweise Frequenzmodell
amplituden bei der Grundfrequenz sowie einem niedrigen
Vielfachen der Grundfrequenz mit intensiven Frequenz
amplituden bildbar sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
bei einer rechteckförmigen Intensitätsmodulation Quotienten
aus Frequenzmeßamplituden beziehungsweise Frequenz
modellamplituden bei der Grundfrequenz sowie dem Drei
fachen, dem Fünffachen beziehungsweise dem Siebenfachen
der Grundfrequenz bildbar sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Prüffrequenzbestimmungsmodul
(37) vorgesehen ist, mit dem aus dem minimalen Wert von
Bestimmungswerten auf der Grundlage von Ableitungen von
Quotienten von Frequenzmeßamplituden eine optimale Prüf
frequenz zur Bestimmung der Schichtdicke einer Deckschicht
(8) des Prüfkörpers (5) bestimmbar ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999107804 DE19907804C1 (de) | 1999-02-24 | 1999-02-24 | Vorrichtung zur Bestimmung von thermosensitiven und optosensitiven Eigenschaften von Prüfkörpern |
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Publications (2)
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---|---|
DE19907804C9 DE19907804C9 (de) | |
DE19907804C1 true DE19907804C1 (de) | 2000-03-09 |
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
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DE (1) | DE19907804C1 (de) |
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