KR920018246A - 니켈함유 에칭폐액을 처리하는 방법 - Google Patents

니켈함유 에칭폐액을 처리하는 방법 Download PDF

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요시유끼 이마가레
도시아끼 구리하라
에이이치 아기요시
료이찌 마에가와
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히사쯔네 다다시
닛데쯔 가고오기 가부시기가이샤
아오이 죠이찌
가부시기가이샤 도오시바
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Abstract

내용 없음

Description

니켈함유 에칭폐액을 처리하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시태양에 관한 에칭폐액 재생처리방법을 표시한 진행도.
제2도는 본 발명의 기타 실시태양에 관한 에칭폐액 재생처리방법을 표시한 진행도이다.

Claims (17)

  1. (a) Ni 또는 Ni합금을 FeCl3을 포함한 수용액으로 되는 에칭액을 사용하여 에칭처리해서 얻은 NiCl2, FeCl3및 FeCl2를 함유한 에칭페액에 20℃이상 50℃이하의 온도로 HCl개스를 용해시켜, NiCl2및 FeCl2의 결정을 정출분리하는 공정 ,(b)정출분리 후의 모액을 상압하에 증류하여 모액중의 HCl 농도를 감소시키는 공정, (c)이 상압하에서의 증류로 얻은 농축액을 감압하에서 증류하고 농축액중의 HCl농도를 다시 감소시켜 FeCl3를 포함한 수용액을 얻는 공정을 구비하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공정(c)는 접액부의 전열면 온도가 150℃이하, 더욱이 기상부분이 접하는 벽면을 거의 항상 젖어 있는 상태에서 액온이 120℃이하 더욱이 응고점 이상의 온도에서 가열하여 실시하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공정(c)는 액상의 수분이 FeCl3ㆍ2.5H2O 상당이하, FeCl3ㆍ2H2O 상당부근이 되도록 실시되는 에칭폐액의 재생처리방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 공정(b)는 모액중의 염농도에 대응한 염산의 공비점 부근까지 가열하여 실시하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 공정(b)에 의하여 얻어진 유출개스를 분출하여 고농도 HCl개스를 얻는 공정을 구비한 에칭폐액의 재생처리방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 고농도 HCl개스를 상기 정출분리 공정으로 리사이클하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 공정(a)에 의해 얻어진 NiCl2및 FeCl2의 결정을 열분해하여 Ni-Fe 계 복합산화물을 얻는 공정을 구비한 에칭폐액의 재생처리방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 NiCl2및 FeCl2의 결정을 열분해에 의해 발생한 HCl개스를 물에 흡수시키는 공정 및 HCl개스를 흡수한 물을 가압증류 또는 추출증류하에 고농도 HCl개스를 얻는 공정을 구비한 에칭폐액의 재생처리방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 고농도 HCl개스를 상기 공정(a)에 리사이클하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 공정(c)에 의해 얻은 유출개스를 응축하는 공정 및 이 응축액을 가압증류 또는 추출 증류하여 고농도 HCl개스를 얻는 공정을 다시 구비한 에칭폐액의 재생처리방법.
  11. (a) Ni 또는 Ni 합금을 FeCl3을 포함한 수용액으로서 에칭액을 사용하여 에칭처리해서 얻은 NiCl2, FeCl3및 FeCl2를 함유한 에칭페액에 20℃이상 50℃이하의 온도로 HCl개스를 용해시켜, NiCl2및 FeCl2의 결정을 정출분리하는 공정 ,(b) 정출분리 후의 모액을 상압하에 증류하여 모액중의 HCl농도를 감소시키는 공정, (c) 이 상압하에서의 증류로 얻은 농축액을 산화철과 접촉시킴으로서 농축액중의 HCl과 산화철등을 반응시켜 농축액중의 HCl농도를 다시 감소시켜 FeCl3를 포함한 수용액을 얻는 공정을 가진 에칭폐액의 재생처리방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 농축액과 산화철과의 접촉을 Cl2및 /또는 CIO2의 존재하에서 실시하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 산화철은 상기 정출분리후의 모액, 상압하에서의 증류로 얻어진 농축액, 및 농축액과 산화철과의 접촉으로 얻은 FeCl3을 포함한 수용액의 적어도 1종을 배소함으로서 얻은 것인 에칭폐액의 재생처리방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 배소에 의해 발생한 HCl함유개스를 물에 흡수시키는 공정 및 HCl함유개스를 흡수한 물을 가압증류 또는 추출증류하여 고농도 HCl개스를 얻는 공정을 다시 구비한 에칭폐액의 재생처리방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 공정(b)은 모액중의 염농도에 대응한 염산의 공비점 부근까지 가열하여 실시하는 에칭폐액의 재생처리방법.
  16. 제11항에 있어서, 상기 공정(b)에 의해 얻은 유출개스를 분류하여 고농도 HCl개스를 얻는 공정을 가진 에칭폐액의 재생처리방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 고농도 HCl개스를 상기 공정(a)에 리사이클하는 에칭폐액의 재생처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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