JP2739072B2 - エッチング廃液処理方法 - Google Patents
エッチング廃液処理方法Info
- Publication number
- JP2739072B2 JP2739072B2 JP2093086A JP9308690A JP2739072B2 JP 2739072 B2 JP2739072 B2 JP 2739072B2 JP 2093086 A JP2093086 A JP 2093086A JP 9308690 A JP9308690 A JP 9308690A JP 2739072 B2 JP2739072 B2 JP 2739072B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chloride
- iron
- nickel
- waste liquid
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はNi−Fe合金、例えば不変鋼のエッチング廃液
からニッケル分を除去して再生する廃液の処理方法に関
する。
からニッケル分を除去して再生する廃液の処理方法に関
する。
近年テレビジョンやOA機器、コンピューター等の発達
に伴い、CRTが多用されるようになり、しかも高感度の
ものの要求が高まって来ている。これに伴ってシャドウ
マスクも不変鋼（インバー）のような高ニッケル合金が
広く用いられる傾向にある。このような合金膜のエッチ
ングには、作用が温和かつ確実で、水素ガスなどの発生
がないところから、高濃度の塩化鉄（III）の水溶液が
蝕刻剤として用いられている。エッチングによってニッ
ケルや鉄等の素材である金属が部分的に溶解すると、塩
化鉄（III）は還元されて塩化鉄（II）となる。一方鉄
及びニッケルはそれぞれ塩化鉄（II）及び塩化ニッケル
（II）になって溶解する。生成した塩化鉄（II）は、塩
素ガスによって、あるいは塩酸の存在下に過酸化水素を
用いること等によって容易に元の塩化鉄（III）に酸化
される。
に伴い、CRTが多用されるようになり、しかも高感度の
ものの要求が高まって来ている。これに伴ってシャドウ
マスクも不変鋼（インバー）のような高ニッケル合金が
広く用いられる傾向にある。このような合金膜のエッチ
ングには、作用が温和かつ確実で、水素ガスなどの発生
がないところから、高濃度の塩化鉄（III）の水溶液が
蝕刻剤として用いられている。エッチングによってニッ
ケルや鉄等の素材である金属が部分的に溶解すると、塩
化鉄（III）は還元されて塩化鉄（II）となる。一方鉄
及びニッケルはそれぞれ塩化鉄（II）及び塩化ニッケル
（II）になって溶解する。生成した塩化鉄（II）は、塩
素ガスによって、あるいは塩酸の存在下に過酸化水素を
用いること等によって容易に元の塩化鉄（III）に酸化
される。
しかしながらこのような方法のみによっては系内に塩
化ニッケルが蓄積し、遂には反応速度や平衡の点からみ
て使用不能に陥る。従ってエッチング液を循環使用する
ためには少なくともその一部をエッチング廃液として抜
き取ってニッケル成分を除去した後、系内に戻すことが
必要となる。このようなエッチング廃液からニッケル分
を除去する方法として種々の手段が提案されている。す
なわち、（ａ）廃液を電解してカソード還元により、金
属ニッケルを析出させる方法（特開昭59−31868）、
（ｂ）グリオキシムのようなニッケルに選択的な錯化剤
を用いて錯体として沈澱分離する方法（特開昭59−1903
67）、（ｃ）金属鉄を用いてニッケルを置換析出させ、
次いで塩素を用いてFe2+をFe3+に酸化する方法（特公昭
61−44814）、（ｄ）エッチング廃液を加熱濃縮してか
ら冷却し、先ずFeCl2・4H2Oの結晶を除き、母液を５〜
−10℃に冷却しつつ塩化水素ガスを導入してニッケルの
みをNiCl2結晶として析出させて回収する一方、被処理
液より塩化水素をストリップすることにより、被処理液
をFeCl3の濃厚液として回収すると共に、ストリップし
回収した塩化水素を前記の冷却晶析工程にリサイクルす
る方法（特公昭63−10097）等が主なものである。
化ニッケルが蓄積し、遂には反応速度や平衡の点からみ
て使用不能に陥る。従ってエッチング液を循環使用する
ためには少なくともその一部をエッチング廃液として抜
き取ってニッケル成分を除去した後、系内に戻すことが
必要となる。このようなエッチング廃液からニッケル分
を除去する方法として種々の手段が提案されている。す
なわち、（ａ）廃液を電解してカソード還元により、金
属ニッケルを析出させる方法（特開昭59−31868）、
（ｂ）グリオキシムのようなニッケルに選択的な錯化剤
を用いて錯体として沈澱分離する方法（特開昭59−1903
67）、（ｃ）金属鉄を用いてニッケルを置換析出させ、
次いで塩素を用いてFe2+をFe3+に酸化する方法（特公昭
61−44814）、（ｄ）エッチング廃液を加熱濃縮してか
ら冷却し、先ずFeCl2・4H2Oの結晶を除き、母液を５〜
−10℃に冷却しつつ塩化水素ガスを導入してニッケルの
みをNiCl2結晶として析出させて回収する一方、被処理
液より塩化水素をストリップすることにより、被処理液
をFeCl3の濃厚液として回収すると共に、ストリップし
回収した塩化水素を前記の冷却晶析工程にリサイクルす
る方法（特公昭63−10097）等が主なものである。
上記従来法の（ａ）はFe2+とNi2+がそれぞれ金属とな
るための標準電極電位が近い上、ニッケルは過電圧を生
じ易く、ニッケルのみを選択的に還元析出させることが
困難であり、Fe3+も還元されるので経済的でない。
（ｂ）は脱ニッケル率を極めて高くできるが、錯化剤が
高価であり、一般にニッケルを完全に除去する必要はな
いのでメリットは少ない。（ｃ）はFe3+がすべてFe2+に
還元された後ニッケルが析出するため、多量の塩化鉄
（II）が生成するので塩化鉄（III）を回収するために
は必ずしも良い方法ではない。（ｄ）は最も好ましい方
法の一つであるが、２段の晶析を行う必要があるし、５
〜−10℃の低温に冷却する必要があり、動力費が嵩み、
装置も複雑となる。
るための標準電極電位が近い上、ニッケルは過電圧を生
じ易く、ニッケルのみを選択的に還元析出させることが
困難であり、Fe3+も還元されるので経済的でない。
（ｂ）は脱ニッケル率を極めて高くできるが、錯化剤が
高価であり、一般にニッケルを完全に除去する必要はな
いのでメリットは少ない。（ｃ）はFe3+がすべてFe2+に
還元された後ニッケルが析出するため、多量の塩化鉄
（II）が生成するので塩化鉄（III）を回収するために
は必ずしも良い方法ではない。（ｄ）は最も好ましい方
法の一つであるが、２段の晶析を行う必要があるし、５
〜−10℃の低温に冷却する必要があり、動力費が嵩み、
装置も複雑となる。
本発明は上記のような課題を解決しようとするもので
その方法は、塩化鉄（III）の水溶液を用いる主として
シャドウマスク用のNi−Fe合金のエッチングによって生
成する塩化鉄（III）約40〜50wt％、塩化鉄（II）を約
０〜10wt％、塩化ニッケルを２〜5wt％程度含有する廃
液に塩化水素含有ガスを吸収させて塩酸溶液中の溶解度
の差によって、塩化ニッケルを晶析分離除去するに際し
て、廃液の温度を15乃至30℃に保ちながら塩化水素を含
有するガスを吸収させて塩化ニッケルと共に塩化鉄（II
I）あるいは塩化鉄（III）と塩化鉄（II）を晶析させる
エッチング廃液の処理方法である。
その方法は、塩化鉄（III）の水溶液を用いる主として
シャドウマスク用のNi−Fe合金のエッチングによって生
成する塩化鉄（III）約40〜50wt％、塩化鉄（II）を約
０〜10wt％、塩化ニッケルを２〜5wt％程度含有する廃
液に塩化水素含有ガスを吸収させて塩酸溶液中の溶解度
の差によって、塩化ニッケルを晶析分離除去するに際し
て、廃液の温度を15乃至30℃に保ちながら塩化水素を含
有するガスを吸収させて塩化ニッケルと共に塩化鉄（II
I）あるいは塩化鉄（III）と塩化鉄（II）を晶析させる
エッチング廃液の処理方法である。
本来、塩化ニッケルの水溶液に塩化水素を高濃度に吸
収させるときは塩化ニッケルの溶解度が下り（例えば20
℃で38％の溶解度が36％の塩酸中では約１％となる）、
一方塩化鉄（III）は、HFeCl4となって溶解度は数倍と
なるため、濃厚塩酸中からは沈澱し難いとされ、塩化ニ
ッケルをより良く除去するために前述のように５〜−10
℃という低温冷却が提案されたものと考えられる。
収させるときは塩化ニッケルの溶解度が下り（例えば20
℃で38％の溶解度が36％の塩酸中では約１％となる）、
一方塩化鉄（III）は、HFeCl4となって溶解度は数倍と
なるため、濃厚塩酸中からは沈澱し難いとされ、塩化ニ
ッケルをより良く除去するために前述のように５〜−10
℃という低温冷却が提案されたものと考えられる。
本発明者らは上記の如きエッチング廃液から効率よく
塩化ニッケルを除去するべく鋭意研究の結果、比較的高
濃度の塩化鉄（III）を含むエッチング廃液に15〜30℃
という室温付近において塩化水素を吸収させることによ
って、従来のFeCl2、NiCl2、FeCl3、HCl、H2Oを主成分
とする系に関する溶解度表（例えばLinke,Seidel;Solub
ilities,Inorganic and Metal−Organic Compounds,P.V
an Nortrand Co,Inc,参照）からは予想できない実験結
果を得て本発明に到達したのである。すなわち塩化鉄
（III）によるニッケル合金の精密エッチングは室温付
近における飽和溶解度に近い40〜50wt％濃度で使用する
ことが効率がよいとされている。従って廃液も上記の範
囲の塩化鉄（III）と塩化鉄（II）は、それが酸化され
ているか、いないかに応じて０〜10wt％、塩化ニッケル
は反応速度や平衡的関係等から２〜5wt％程度含まれて
いる。一般的に言って共通イオンであるCl-の影響によ
って溶液中の各成分の溶解度は単独成分の溶解度よりも
下るといえる。エッチング中に晶出が起こると蝕刻パタ
ーンが不規則になるので、この面からも塩類濃度は規制
される。このようなかなり高濃度ともいえる廃液に、塩
化水素を吸収させると溶解度表からみても常識的には塩
化水素のCl-の影響によって塩化ニッケル（II）と塩化
鉄（II）の溶解度は下る（例えば20℃において、H2O100
g当り、NiCl262.0gの溶解度がHCl64gの吸収でNiCl20.6g
に下る。FeCl2は同条件で62g→1.5gとなる）が、塩化鉄
（III）は上記２成分と異なって、 FeCl＋HClHFeCl4 の反応によってクロロ第２鉄酸が生成し、陰イオンFeCl
- 4となり、溶解度は飛躍的に増大する（例えば25℃でH2
O100g当りFeCl398gの溶解度はHCl63gの吸収により、370
gの溶解度となる）。このため３価の鉄の沈澱はHClの吸
収によって起こらない筈であると考えられた。しかるに
本発明者らが上記の如き組成のエッチング廃液に塩化水
素を15乃至30℃の温度で吸収させると、廃液が沈澱する
のに充分な塩化鉄（II）を含むときは塩化鉄（II）を含
めて、塩化ニッケル（II）と共に予想外の塩化鉄（II
I）の結晶が沈澱する。この際より低温で塩化水素を吹
き込む場合よりも、沈澱の結晶は粗く、固液の分離性が
数段優れていることが認められた。就中母液中に残存す
るニッケルは予想外に少量であることが認められた。塩
化水素吸収時の温度が30℃を超えると塩化水素の吸収が
遅くなり、塩化ニッケルの溶解度も高くなり好ましくな
い。温度を15℃未満にすると塩化水素の吸収は良くなる
が、同時にクロロ鉄酸の生成も早くなるためか、塩化鉄
（III）の沈澱は減るか、あるいは生成しなくなり、母
液中の塩化ニッケル濃度は逆に上昇する。
塩化ニッケルを除去するべく鋭意研究の結果、比較的高
濃度の塩化鉄（III）を含むエッチング廃液に15〜30℃
という室温付近において塩化水素を吸収させることによ
って、従来のFeCl2、NiCl2、FeCl3、HCl、H2Oを主成分
とする系に関する溶解度表（例えばLinke,Seidel;Solub
ilities,Inorganic and Metal−Organic Compounds,P.V
an Nortrand Co,Inc,参照）からは予想できない実験結
果を得て本発明に到達したのである。すなわち塩化鉄
（III）によるニッケル合金の精密エッチングは室温付
近における飽和溶解度に近い40〜50wt％濃度で使用する
ことが効率がよいとされている。従って廃液も上記の範
囲の塩化鉄（III）と塩化鉄（II）は、それが酸化され
ているか、いないかに応じて０〜10wt％、塩化ニッケル
は反応速度や平衡的関係等から２〜5wt％程度含まれて
いる。一般的に言って共通イオンであるCl-の影響によ
って溶液中の各成分の溶解度は単独成分の溶解度よりも
下るといえる。エッチング中に晶出が起こると蝕刻パタ
ーンが不規則になるので、この面からも塩類濃度は規制
される。このようなかなり高濃度ともいえる廃液に、塩
化水素を吸収させると溶解度表からみても常識的には塩
化水素のCl-の影響によって塩化ニッケル（II）と塩化
鉄（II）の溶解度は下る（例えば20℃において、H2O100
g当り、NiCl262.0gの溶解度がHCl64gの吸収でNiCl20.6g
に下る。FeCl2は同条件で62g→1.5gとなる）が、塩化鉄
（III）は上記２成分と異なって、 FeCl＋HClHFeCl4 の反応によってクロロ第２鉄酸が生成し、陰イオンFeCl
- 4となり、溶解度は飛躍的に増大する（例えば25℃でH2
O100g当りFeCl398gの溶解度はHCl63gの吸収により、370
gの溶解度となる）。このため３価の鉄の沈澱はHClの吸
収によって起こらない筈であると考えられた。しかるに
本発明者らが上記の如き組成のエッチング廃液に塩化水
素を15乃至30℃の温度で吸収させると、廃液が沈澱する
のに充分な塩化鉄（II）を含むときは塩化鉄（II）を含
めて、塩化ニッケル（II）と共に予想外の塩化鉄（II
I）の結晶が沈澱する。この際より低温で塩化水素を吹
き込む場合よりも、沈澱の結晶は粗く、固液の分離性が
数段優れていることが認められた。就中母液中に残存す
るニッケルは予想外に少量であることが認められた。塩
化水素吸収時の温度が30℃を超えると塩化水素の吸収が
遅くなり、塩化ニッケルの溶解度も高くなり好ましくな
い。温度を15℃未満にすると塩化水素の吸収は良くなる
が、同時にクロロ鉄酸の生成も早くなるためか、塩化鉄
（III）の沈澱は減るか、あるいは生成しなくなり、母
液中の塩化ニッケル濃度は逆に上昇する。
本発明の場合、塩化鉄（III）の沈澱は塩化鉄（II）
の溶解度には影響を与えないことが認められた。ニッケ
ル合金のエッチングにおいては通常Fe2+→Fe3+のための
酸化槽を保有しているから、循環によって液中における
溶解鉄分の増大は避けられないので、鉄塩の総沈澱量が
溶解増分を超えないよう注意すれば塩化鉄（III）の補
給は不要である。本発明ではこの要求も容易に満たされ
ることが判明した。
の溶解度には影響を与えないことが認められた。ニッケ
ル合金のエッチングにおいては通常Fe2+→Fe3+のための
酸化槽を保有しているから、循環によって液中における
溶解鉄分の増大は避けられないので、鉄塩の総沈澱量が
溶解増分を超えないよう注意すれば塩化鉄（III）の補
給は不要である。本発明ではこの要求も容易に満たされ
ることが判明した。
ニッケルを分離した母液は常法によって塩化水素を回
収後、必要に応じて遊離塩酸を化学反応によって塩化鉄
（II）又は塩化鉄（III）に転化すれば回収塩化鉄（II
I）をエッチングのために循環使用することができる。
収後、必要に応じて遊離塩酸を化学反応によって塩化鉄
（II）又は塩化鉄（III）に転化すれば回収塩化鉄（II
I）をエッチングのために循環使用することができる。
ニッケル合金膜（Ni36％、Fe64％）を塩化鉄（III）
溶液を用いてエッチングを行うことによって生成した塩
化鉄（II）を塩素で酸化し塩化鉄（III）に再生し、液
を循環使用する方式のエッチング装置からのエッチング
廃液を攪拌機つきの丸底フラスコに採り、冷却しながら
塩化水素を温度20±５℃に保ちながら吹き込んで吸収さ
せた。温度の急激な上昇を避けるため、始めは乾燥窒素
で1:1程度に希釈したガラスを用い、次第に100％塩化水
素に濃度を上げ、温度上昇があまり認められなくなった
時点で吸収を停止した。析出した結晶を分離し、結晶部
分及び母液部分について分析した結果を以下の表に示
す。
溶液を用いてエッチングを行うことによって生成した塩
化鉄（II）を塩素で酸化し塩化鉄（III）に再生し、液
を循環使用する方式のエッチング装置からのエッチング
廃液を攪拌機つきの丸底フラスコに採り、冷却しながら
塩化水素を温度20±５℃に保ちながら吹き込んで吸収さ
せた。温度の急激な上昇を避けるため、始めは乾燥窒素
で1:1程度に希釈したガラスを用い、次第に100％塩化水
素に濃度を上げ、温度上昇があまり認められなくなった
時点で吸収を停止した。析出した結晶を分離し、結晶部
分及び母液部分について分析した結果を以下の表に示
す。
なお比較のためLinke,Seidel（前出）の溶解度表から
推定した20℃における塩化水素濃度64g/100gH2O付近の
塩酸に対する各塩類の溶解度を示すとH2O100g当り次の
とおりである。
推定した20℃における塩化水素濃度64g/100gH2O付近の
塩酸に対する各塩類の溶解度を示すとH2O100g当り次の
とおりである。
FeCl2:1.5g,NiCl2:0.6g,FeCl3:366.8g すなわち本発明の方法によれば塩化ニッケルの母液中
の残存量は予想されるニッケルの溶解度と比較して約1/
4となつていることが判る。一方塩化鉄（II）の溶解量
は略々予想通りである。
の残存量は予想されるニッケルの溶解度と比較して約1/
4となつていることが判る。一方塩化鉄（II）の溶解量
は略々予想通りである。
結晶中のFe/Ni重量比は約15/16であり、合金比よりも
小さい。又得られた結晶の粒径も従来法に比べて大き
く、母液の炉過性は極めて良好であった。
小さい。又得られた結晶の粒径も従来法に比べて大き
く、母液の炉過性は極めて良好であった。
なお10℃で塩化水素濃度64.4g/100gH2Oの場合の塩化
ニッケルの母液中の残存量は1.2g/100gH2Oと実施例の約
7.5倍であった。
ニッケルの母液中の残存量は1.2g/100gH2Oと実施例の約
7.5倍であった。
本発明によれば従来法の如く０℃付近もしくはそれ以
下に冷却する必要がなく、室温付近の冷却によって、ま
た特に多量の塩化水素の吸収を行わせる必要もなく、充
分なニッケルの除去効果が得られる。又結晶粒径も従来
法と比較して大きくサラサラとしたものであり、固液の
分離性が極めて良好であり取り扱い易い。従って必要エ
ネルギーも少なく、脱ニッケルができるので産業上極め
て有用である。
下に冷却する必要がなく、室温付近の冷却によって、ま
た特に多量の塩化水素の吸収を行わせる必要もなく、充
分なニッケルの除去効果が得られる。又結晶粒径も従来
法と比較して大きくサラサラとしたものであり、固液の
分離性が極めて良好であり取り扱い易い。従って必要エ
ネルギーも少なく、脱ニッケルができるので産業上極め
て有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−222087（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】ニッケル−鉄合金の塩化鉄（III）を用い
たエッチングで生成する廃液に塩化水素を吸収させ、塩
化ニッケルを晶析させて分離除去するエッチング廃液の
再生方法において、廃液の温度を15乃至30℃に保ちつつ
塩化水素もしくは塩化水素含有ガスを廃液に接触させ、
塩化水素を吸収させることにより、塩化ニッケルと共に
塩化鉄（III）あるいは塩化鉄（III）と塩化鉄（II）と
を同時に晶析させることを特徴とするエッチング廃液の
処理方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093086A JP2739072B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | エッチング廃液処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2093086A JP2739072B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | エッチング廃液処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03291388A JPH03291388A (ja) | 1991-12-20 |
| JP2739072B2 true JP2739072B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=14072718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2093086A Expired - Fee Related JP2739072B2 (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | エッチング廃液処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2739072B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2714594B2 (ja) * | 1990-04-18 | 1998-02-16 | 日鉄化工機株式会社 | ＦｅＣｌ▲下３▼液の再生方法 |
| JPH0673564A (ja) * | 1991-03-22 | 1994-03-15 | Nittetsu Kakoki Kk | ニッケル含有エッチング廃液を処理する方法 |
| US5853692A (en) * | 1993-07-02 | 1998-12-29 | Pohang Iron & Steel Co., Ltd. | Process for manufacturing high purity nickel chloride by recycling waste nickel anode |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222087A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-30 | Osaka Soda Co Ltd | エツチング廃液の再生方法 |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP2093086A patent/JP2739072B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03291388A (ja) | 1991-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4131455A (en) | Silver recovery | |
| JP2000234130A (ja) | 酸化鉱石から有価金属を回収する方法 | |
| JP2000313928A (ja) | 酸化鉱石からニッケルとスカンジウムを回収する方法 | |
| JPH07187618A (ja) | 濃硫酸溶液の精製方法 | |
| US3252791A (en) | Separation of metal carbonyls by forming a cobalt complex salt that is insoluble in liquid nickel and iron carbonyl | |
| JP2739072B2 (ja) | エッチング廃液処理方法 | |
| US5284633A (en) | Solvent extraction of precious metals with hydroxyquinoline and stripping with acidified thiourea | |
| US4314976A (en) | Purification of nickel sulfate | |
| US3399090A (en) | Process of etching metal with ammonium persulfate with recovery and recycling | |
| JPS59145739A (ja) | 金属電極からルテニウム及びイリジウムを回収する方法 | |
| JP2003266065A (ja) | 塩化鉄水溶液中のコバルトおよび／または亜鉛の除去方法並びに回収方法 | |
| JP2714594B2 (ja) | ＦｅＣｌ▲下３▼液の再生方法 | |
| JP3492067B2 (ja) | エッチング廃液の再生処理方法 | |
| JPS6134125A (ja) | 銀の回収方法 | |
| CA2481729C (en) | Method for refining aqueous nickel chloride solution | |
| JP2002212650A (ja) | 金属電極からの白金族金属の回収方法 | |
| JP3206432B2 (ja) | 低α低酸素金属スカンジウムとその製造方法 | |
| US5573739A (en) | Selective bismuth and antimony removal from copper electrolyte | |
| JP3088884B2 (ja) | 銅を含む塩化鉄系廃液の再生方法 | |
| JPS6111891B2 (ja) | ||
| US2440612A (en) | Separation of copper | |
| JP2965457B2 (ja) | ニッケルを含む塩化鉄系廃液の再生方法 | |
| JP4505951B2 (ja) | 高純度塩化第二鉄水溶液の製造方法 | |
| JPS62222087A (ja) | エツチング廃液の再生方法 | |
| JPH06144802A (ja) | 有機沃素化合物を含有する廃液から沃素を回収する方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |